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悬空二维纳米材料的制备方法与流程

2019-08-06 23:43:00 来源:中国专利 TAG:悬空 制备 制备方法 纳米材料 材料

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种悬空二维纳米材料的制备方法,其具体包括以下步骤:提供一第一基底,所述第一基底表面形成有二维纳米材料;将一碳纳米管膜结构覆盖于所述第一基底形成有二维纳米材料的表面;用腐蚀液去除所述第一基底,将所述二维纳米材料与所述碳纳米管膜结构形成的二维纳米材料/碳纳米管膜结构复合结构置于一清洗液清洗;提供一目标基底,所述目标基底具有至少一个通孔,利用所述目标基底从清洗液中捞起所述二维纳米材料/碳纳米管膜结构复合结构,使所述二维纳米材料与所述目标基底贴合并覆盖所述目标基底的至少一个通孔;去除所述碳纳米管膜结构,所述二维纳米材料转移至所述目标基底的表面,并在所述通孔的位置悬空。

技术研发人员:丛琳;赵伟;张金;蔡裕谦;姜开利;范守善
受保护的技术使用者:清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
技术研发日:2018.01.27
技术公布日:2019.08.06
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