微机械传感器组件的制作方法

2019-04-03 05:19:00 来源：中国专利 TAG：微机传感器组件质量偏移

技术特征：

技术总结
本发明涉及一种微机械传感器组件，包括质量，该质量至少沿z方向可偏移，其中，在所述质量上在沿z方向取向的侧面的至少一个上通过连接装置布置有弹动地构造的止挡装置。

技术研发人员：B·P·赫措根拉特;D·古格尔;J·瓦尔德曼;M·雅克斯;M·科斯特
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2018.09.25
技术公布日：2019.04.02

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