技术特征：
技术总结
一种加载高温环境的超声波激励装置及其工作方法，其属于微型机械电子系统技术领域。该装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元。微结构激励单元包括第一手动三轴位移台和第二手动三轴位移台，在第二手动三轴位移台的垂直溜板上安装有第二连接板，在第二连接板底部中心通孔内通过紧定螺钉安装有超声波探头。光加热单元中使用了遮光片和遮光板，使得由光加热单元发出的平行光仅能照射在MEMS微结构上。该装置实现对MEMS微结构整体的同时加热，确保了微结构表面的温度分布均匀，降低了微结构表面的温度梯度，大幅提高了高温环境下微结构动态特性参数测试的准确性。
技术研发人员：田江平;崔泽川;隆武强;冯立岩;崔靖晨;田华
受保护的技术使用者：大连理工大学
技术研发日：2018.12.17
技术公布日：2019.03.08
再多了解一些
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