一种制备部分覆盖侧面电极的方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种制备部分覆盖侧面电极的方法，属于光电子技术领域。步骤包括：A．第一次清洗干燥，B．第一次光刻，C.第一次刻蚀，D．第二次清洗干燥，E．沉积钝化层，F．第二次光刻，G．第二次刻蚀，H．沉积电极，I．腐蚀，J．退火。通过增加预刻蚀台阶，在钝化层去除的同时，除去台面侧面的部分接触金属电极，实现侧面电极的部分覆盖，在保证良好的附着接触质量前提下，所制备电极结构满足低的接触非线性结电容和接触电阻；同时，本制备方法简单，电极可靠性高。

技术研发人员：王文杰;谢武泽;李舒啸;安宁;李倩;曾建平
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院电子工程研究所
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2018.12.21