板弹簧的制作方法

技术特征：

1.一种MEMS换能器，包括：

第一板和第二板；以及

弹簧，其大致位于所述第一板和所述第二板之间，所述弹簧包括第一弹簧臂和第二弹簧臂，所述第一弹簧臂和所述第二弹簧臂的尺寸被设计成使得所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配相对于在不依赖于所述弹簧的情况下所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配有所减少。

2.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，板包括压电层以及夹着所述压电层的一对电极层。

3.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，还包括基板，

其中，所述第一板包括第一板底、第一板体和第一板端；

所述第二板包括第二板底、第二板体和第二板端；以及

通过使所述第一板底和所述第二板底连结至所述基板来使所述第一板和所述第二板以悬臂布置的方式连接在所述基板上，所述第一板端和所述第二板端大致朝向公共点汇聚，其中所述第一板体和所述第二板体各自相对于所述基板是不受约束的，所述第一板端和所述第二板端各自是不受约束的且不连结。

4.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述第一板和所述第二板之间的间隙的大小相对于在不依赖于所述弹簧的情况下所述第一板和所述第二板之间的间隙的大小有所减小。

5.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述弹簧的尺寸被设计成使得所述弹簧的长度和宽度提供板的可接受量的面内刚度。

6.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，还包括：

所述第一板和所述第二板之间的间隙；

其中，所述弹簧沿着所述间隙定位在使得所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配减少的位置处。

7.根据权利要求6所述的MEMS换能器，其中，所述第一板和所述第二板之间的间隙与所述第一弹簧臂和所述第一板之间的间隙以及所述第二弹簧臂和所述第二板之间的间隙成比例。

8.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述MEMS换能器包括声换能器。

9.根据权利要求8所述的MEMS换能器，其中，所述声换能器是麦克风。

10.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，板包括锥形换能器梁。

11.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述弹簧包括多个应力消除端点。

12.根据权利要求11所述的MEMS换能器，其中，所述多个应力消除端点防止所述弹簧断裂。

13.根据权利要求11所述的MEMS换能器，其中，所述多个应力消除端点的尺寸是基于所述弹簧的扭转处计算出的应力值。

14.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述弹簧的尺寸被设计成使得所述弹簧的长度和宽度提供板的可接受量的面外刚度。

15.根据权利要求1所述的MEMS换能器，其中，所述弹簧的尺寸被设计成使得所述弹簧的长度和宽度是基于所述弹簧的最大主应力。

16.一种方法，包括：

使第一电极层沉积在基板上；

使第一压电层沉积在所述第一电极层上；

使第二电极层沉积在所述第一压电层上；

对所沉积的层进行蚀刻以定义第一板和第二板，所述第一板和所述第二板以悬臂布置的方式连接在所述基板上，所述第一板和所述第二板各自包括连结至所述基板的板底、相对于所述基板不受约束的板体、以及相对于所述基板不受约束的板端，所述第一板的板端和所述第二板的板端大致朝向公共点汇聚；以及

对所沉积的层进行蚀刻以定义与所述第一板和所述第二板相邻的弹簧，所述弹簧包括第一弹簧臂和第二弹簧臂，所述第一弹簧臂和所述第二弹簧臂的尺寸各自被设计成使得所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配相对于在不依赖于所述弹簧的情况下所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配有所减少。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述第一板和所述第二板之间的间隙的大小相对于在不依赖于所述弹簧的情况下所述第一板和所述第二板之间的间隙的大小有所减小。

18.根据权利要求16所述的方法，其中，所述弹簧的尺寸被设计成使得所述弹簧的长度和宽度提供板的可接受量的面内刚度。

19.根据权利要求16所述的方法，其中，所述弹簧包括多个应力消除端点。

20.根据权利要求16所述的方法，其中，所述弹簧沿着所述第一板和所述第二板之间的间隙被定位，所述弹簧被定位在使得所述第一板和所述第二板之间的垂直挠曲失配减少的位置处。