技术特征：
技术总结
本发明提供了一种金属玻璃箔材的电阻式应变传感器及其制备方法，所述传感器包括基底；位于所述基底上的金属玻璃敏感栅；覆盖于所述金属玻璃敏感栅上的覆盖层；其中：所述金属玻璃敏感栅由金属玻璃箔材制备得到。所述方法包括：制备胶膜基底；光刻制备金属玻璃敏感栅；覆盖保护膜；焊接引出线。本发明利用金属玻璃箔材作为敏感材料以提高商业化的传统箔式应变传感器的量程和性能，实现理想电阻式应变传感器；本发明制备工艺与现有箔式应变片生产工艺兼容，为其商业化推广带来便利。
技术研发人员：赵杨勇;王俊;高海燕;鞠江;康茂东
受保护的技术使用者：上海交通大学
技术研发日：2018.01.10
技术公布日：2018.07.27
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