技术特征：
技术总结
本发明涉及在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧。描述了微机电系统(MEMS)装置，包括：质量块，通过设置在质量块的相对侧上的折叠弹簧可移动地连接到基板，其中耦合器将折叠弹簧中的两个耦合在一起。在一些实施方式中，耦合器是棒并且可以是刚性的。因此，耦合器限制折叠弹簧相对于彼此的运动。按照这种方式，质量块的运动可能被限制在优选的类型和频率上。
技术研发人员：张谦;杨光隆;顾磊
受保护的技术使用者：美国亚德诺半导体公司
技术研发日：2017.09.27
技术公布日：2018.04.03
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