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用于MEMS开关器件的保护方案的制作方法

2021-10-26 12:49:14 来源:中国专利 TAG:耦合 微机 但不 限于 器件

技术特征:

技术总结
本公开涉及用于MEMS开关器件的保护方案。微机电开关(MEMS)器件可使用集成电路制造技术和材料制造。这种开关器件可以提供适用于广泛应用的循环寿命和插入损耗性能,包括例如,自动化测试设备(ATE)、切换测量仪器(如频谱分析仪、网络分析仪或通讯测试系统),并用于通信系统,如信号处理。MEMS器件可容易受到电气过压,例如与静电放电(ESD)瞬变事件相关联。固态箝位电路可以并入MEMS器件封装中,以保护一个或多个MEMS器件免受损坏的过压条件。箝位电路可包括具有互补电流‑电压关系的单个或多个阻断结结构,例如帮助钳位电路呈现的电容电压关系线性化。

技术研发人员:P·L·菲茨格罗德;S·帕萨萨拉希;J·A·萨塞多
受保护的技术使用者:亚德诺半导体集团
技术研发日:2017.09.19
技术公布日:2018.03.27
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