技术特征：
技术总结
提出一种具有主延伸平面的微机械结构元件，其中，所述微机械结构元件包围第一空腔并且包围第二空腔，其中，在所述第一空腔中存在第一压力并且在所述第二空腔中存在第二压力，其中，微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第一层在所述第一空腔与所述第二空腔之间基本上垂直于主延伸平面地伸入微机械结构元件的基本上平行于所述主延伸平面延伸的第二层中。
技术研发人员：A·布莱特林;C·施文克;H·屈佩尔斯;N·席滕黑尔姆;V·施米茨
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
技术研发日：2017.08.10
技术公布日：2018.02.23
再多了解一些
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