一种基于微针的外部传输的电喷射装置的制作方法

技术特征：

1.一种基于微针的外部传输的电喷射装置，其特征在于，该装置包括：

至少1个微针，所述微针是前端细而末端粗的锥形，在微针的表面具有微纳结构，微纳结构由微针的储液位置贯通到微针的尖端；所述微纳结构为微纳沟槽结构或微纳突起结构；

目标基底；

电源，用以在微针与目标基底之间施加电压。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括移动装置，用以控制微针与目标基底的相对位置。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括支架，在支架上直立地设有支撑杆，横杆的一端连接在支撑杆上，另一端连接微针，横杆能够相对支撑杆发生转动和上下移动，由此来对目标基底与微针的相对位置进行粗调；载物台通过载物台移动装置设置在支架上，目标基底置于载物台上，由载物台移动装置控制目标基底相对微针的上下、左右、前后位移的精细调节。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括微纳观察装置，用以观察微针相对目标基底的位置，以及喷射出的微液滴。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，该装置还包括固化装置，用以对液滴进行固化。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在微针的末端设有外套管，外套管的内表面与微针的外表面之间具有间隙，形成储液结构；所述储液结构与微纳结构连通。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，该装置还包括微量泵，用以向储液结构中输送液体。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微纳沟槽结构的平均宽度及平均深度分别为10纳米～50微米；所述微纳突起结构的外径为10纳米～50微米。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微纳沟槽结构沿轴向排布或与轴向呈小于45°的夹角。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微纳沟槽结构为直线型、交叉型或曲线型。

11.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述微针的尖端的曲率圆半径小于10微米。