一种表面跨尺度功能微纳结构的制造方法与流程

2021-10-26 12:36:09 来源：中国专利 TAG：尺度表面结构功能材料加工

技术总结
本发明公开了一种表面跨尺度功能微纳结构的制造方法，该制造方法步骤包括：首先，采用毫秒脉冲激光扫描基体表面，加工出微米级结构图形；然后，采用飞秒脉冲激光扫描已加工出的微米级结构图形，从而在微米级结构图形表面诱导加工出纳米级结构图形。本发明采用毫秒脉冲激光刻蚀和和飞秒激光诱导相结合的结构表面微纳结构功能制造方法，可以完成表面微米级和纳米级功能微结构的跨尺度、高效、低成本制造，加工效率远高于半导体工艺，具有更好的应用前景。

技术研发人员：曹生珠;何延春;张凯锋;吴敢;陈学康;王瑞;王虎;王兰喜
受保护的技术使用者：兰州空间技术物理研究所
文档号码：201710017428
技术研发日：2017.01.11
技术公布日：2017.05.31

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