用于应变放大的微型拾取阵列枢转安装件设计的制作方法

2021-10-26 12:34:30 来源：中国专利 TAG：

技术总结
本发明公开了用于将转移头组件与衬底对准的系统和方法。在实施方案中，枢转安装件被用于在闭环运动控制系统中生成反馈信号。在实施方案中，枢转安装件包括在枢转安装件的枢转平台和基座之间延伸的主弹簧臂和次弹簧臂。次弹簧臂的特征在于比主弹簧臂低的刚度，并且应变感测元件被沿着次弹簧臂定位。

技术研发人员：S·P·巴瑟斯特;P·A·帕克斯;N·A·莱特
受保护的技术使用者：苹果公司
文档号码：201580046311
技术研发日：2015.08.31
技术公布日：2017.05.31

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