在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器与流程

2021-10-26 12:34:23 来源：中国专利 TAG：过滤网方法传感微机传感器

技术总结
本发明公开了一种在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器。该方法包括以下步骤：在基材上设置可解离胶带，在可解离胶带的粘接面上形成过滤网；将所述过滤网转印到薄膜上，以形成自粘卷材；将位于所述自粘卷材上的所述过滤网转移粘接到MEMS传感器的采集孔上。该方法形成的过滤网，网孔细密、均匀，并且良品率高。此外，该方法适用于大规模、工业化生产。

技术研发人员：詹竣凱;周宗燐;邱冠勳;蔡孟錦
受保护的技术使用者：歌尔股份有限公司
文档号码：201611041741
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.05.31

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