具有两个振动轴线的微机械构件和用于微机械构件的制造方法与流程

技术总结
本发明涉及一种具有能关于保持件(10)调整的部件(12)的微机械构件，所述可调部件(12)至少通过悬挂结构(16)悬挂在所述保持件(10)上，其中，所述悬挂结构(16)的固有振动可以这样激励，使得所述可调部件(12)能关于所述保持件(10)借助进行固有振动的悬挂结构(16)来进行围绕第一转动轴线(34a)的谐振运动和围绕相对于所述第一转动轴线(34a)倾斜地定向的第二转动轴线(34b)的准静态振动运动，其中，所述可调部件(12)直接或通过至少一个弹簧(20)连接到所述悬挂结构(16)的至少一个被激励的固有振动的至少一个振动节点上。此外，本发明还涉及一种用于微机械构件的制造方法。

技术研发人员：S·平特
受保护的技术使用者：罗伯特·博世有限公司
文档号码：201580031111
技术研发日：2015.05.06
技术公布日：2017.02.22