用于流动影响的微电子模块、模块阵列和方法与流程

2021-10-26 12:32:26 来源：中国专利 TAG：流体模块流动用于影响

技术总结
本发明涉及用于流动影响的微电子模块、模块阵列和方法。说明用于影响流体的流动的微电子模块。所述模块具有至少一个电压转换器，所述电压转换器用于将所提供的第一电压转换成更高的、更低的或相同的第二电压。所述模块进一步具有至少一个主动流动影响元件，所述主动流动影响元件用于影响环流和/或溢流所述流动影响元件的流体的方向和/或速度。至少所述电压转换器和所述主动流动影响元件被布置在薄层的平面的衬底上。流体的方向和/或速度的影响依赖于根据由所述电压转换器提供给所述流动影响元件的第二电压的流体动力加速度。

技术研发人员：R.卡斯帕里;R.魏希瓦尔德;E.埃尔曼;K.鲍尔
受保护的技术使用者：空中客车防卫和太空有限责任公司
文档号码：201610658847
技术研发日：2016.08.12
技术公布日：2017.02.22

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