技术特征：
技术总结
本发明涉及用于快速加热和冷却循环的MEMS加热器或发射器结构。根据各种实施例，MEMS器件包括：衬底；电可移动加热元件，具有耦合到第一电压源的第一端子的第一节点和耦合到参考电压源的第二节点；将所述电可移动加热元件的第一节点锚定到所述衬底的第一锚定件和将所述电可移动加热元件的第二节点锚定到所述衬底的第二锚定件；以及在所述第一锚定件和所述第二锚定件之间且在所述电可移动加热元件和所述衬底之间的腔。
技术研发人员：C.格拉策
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2017.03.31
技术公布日：2017.10.20
再多了解一些
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