技术特征：
技术总结
本发明公开了一种微型加热器及其加工方法，所述微型加热器包括：衬底、支撑膜、加热件和封装壳。衬底具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，衬底上设有在厚度方向贯穿其的隔热通孔，且衬底上设有连通隔热通孔和外界的通气结构，支撑膜设在衬底的第一表面上且封盖隔热通孔的第一端，加热件设在支撑膜的远离隔热通孔的表面上，封装壳设在衬底的第二表面上且封盖隔热通孔的第二端。根据本发明的微型加热器，通过在衬底上设置连通隔热通孔和外界的通气结构，由此在微型加热器工作时，由隔热通孔、支撑膜和封装壳限定的腔室与外界连通，防止由于腔室的内外存在的压力差而导致器件易损坏的问题。
技术研发人员：罗彪
受保护的技术使用者：广东美的制冷设备有限公司
技术研发日：2017.04.24
技术公布日：2017.07.25
再多了解一些
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