用于垂直电极换能器的系统和方法与流程

2021-10-26 12:22:42 来源：中国专利 TAG：换能器电极垂直用于实施

技术特征：

技术总结
本发明涉及用于垂直电极换能器的系统和方法。根据实施例，一种操作具有薄膜的微机电系统(MEMS)换能器的方法包括：使用第一对静电驱动电极在薄膜的平面外偏转和第一对静电驱动电极上的电压之间转化。第一对静电驱动电极被形成在薄膜上，沿平面外方向延伸并且在第一对静电驱动电极之间形成可变电容。

技术研发人员：A.德赫;C.格拉策
受保护的技术使用者：英飞凌科技股份有限公司
技术研发日：2016.11.11
技术公布日：2017.07.14

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