技术特征：
技术总结
本发明涉及一种机械振荡器，所述机械振荡器具有条带(11)，其中所述条带(11)包括第一硅层(Cs1)、热补偿层(Co1)和第二硅层(Cs2)，所述第一硅层具有沿着一个平面的第一方向(Ds1)延伸的晶格，所述热补偿层由杨氏模量热系数的符号与硅的杨氏模量热系数的符号相反的材料制成，所述第二硅层具有在所述平面的第二方向(Ds2)上延伸的晶格，其中所述第一方向(Ds1)和所述第二方向(Ds2)在所述层的所述平面内偏移45°角，并且其中所述热补偿层(Co1)在所述第一硅层(Cs1)与所述第二硅层(Cs2)之间延伸。
技术研发人员：樊尚·加夫;皮埃尔-马里·维斯;吕卡·里贝托
受保护的技术使用者：特罗尼克斯微系统公司
技术研发日：2016.02.12
技术公布日：2017.09.26
再多了解一些
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