一种可快速制冷的线性斯特林-芯片级节流复合型制冷机的制作方法

技术特征：
1.一种可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，包括线性斯特林制冷单元、节流制冷单元和电控单元，所述电控单元用于控制所述线性斯特林制冷单元和节流制冷单元的运行，其特征在于：所述线性斯特林制冷单元包括直线压缩机、膨胀机以及与所述膨胀机直接耦合装配的封装杜瓦，所述节流制冷单元采用mems节流制冷器，所述mems节流制冷器贴装在所述封装杜瓦内的芯片基板上，所述mems节流制冷器配置有供气瓶。2.如权利要求1所述的可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，其特征在于：所述mems节流制冷器包括贴装在所述芯片基板上的制冷板，所述制冷板内形成有高压通道、低压通道和膨胀腔，所述高压通道与所述低压通道均呈平面螺旋形并且二者上下分层布置，所述高压通道的出口端通过节流单元与所述膨胀腔连通，所述低压通道的入口端与所述膨胀腔连通，于所述制冷板上开设有与高压通道入口端连通的工质入口以及与低压通道出口端连通的工质出口，所述工质入口与所述供气瓶连接。3.如权利要求2所述的可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，其特征在于：所述制冷板包括层叠设置的第一层板、第二层板和第三层板，所述第二层板的第一板面和第二板面分别朝向所述第一层板和所述第三层板；在所述第一层板的内侧板面上刻蚀形成有第一槽道，所述第一槽道由第二层板闭合以围设形成所述高压通道；或者，在所述第一板面上刻蚀形成有第二槽道，所述第二槽道与所述第一槽道上下拼合形成所述高压通道；在所述第二板面上刻蚀形成有第三槽道，所述第三槽道由第三层板闭合以围设形成所述低压通道；或者，在所述第三层板上刻蚀形成有第四槽道，所述第四槽道与所述第三槽道上下拼合形成所述低压通道。4.如权利要求2所述的可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，其特征在于：所述高压通道由蛇形流道布置成平面螺旋形。5.如权利要求2所述的可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，其特征在于：所述低压通道内布置有多个针肋。6.如权利要求2所述的可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，其特征在于：所述高压通道与所述低压通道上下正对设置，以便于低压通道对高压通道内的工质进行预冷。7.如权利要求2所述的可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，其特征在于：所述工质出口连接有排气管，所述排气管上设有单向阀。8.如权利要求1所述的可快速制冷的线性斯特林
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芯片级节流复合型制冷机，其特征在于：所述直线压缩机包括压缩机外壳、气缸组件和直线电机，所述气缸组件包括缸体、活塞和永磁体，所述缸体固定于所述压缩机外壳内，所述活塞具有滑设于所述缸体内的活塞主体以及连接于所述活塞主体上并且位于所述缸体外的驱动臂，所述永磁体固定于所述驱动臂上，所述直线电机包括外定子轭铁和内动子轭铁，所述外定子轭铁固定于所述压缩机外壳内，所述内动子轭铁收容于由所述驱动臂与所述缸体所围设形成的环形空间内；所述外定子轭铁的表面和/或所述内动子轭铁的表面设有用于截断轭铁涡流路径的割槽。

技术总结
本发明涉及一种可快速制冷的线性斯特林


技术研发人员：黄立 曾勇 王玲 徐涛 黄太和 潘奇 王赟
受保护的技术使用者：武汉高芯科技有限公司
技术研发日：2021.05.31
技术公布日：2021/10/8