蒸汽发生装置的制作方法

技术特征：

1.一种蒸汽发生装置，其特征在于，包括：

药液储罐，其用于容纳药液；

介质保温槽，其用于容纳具有设定温度的保温介质；所述药液储罐置于所述介质保温槽内，所述药液储罐通过接触所述保温介质使所述药液维持设定温度；

载气供给模块，其包括提供载气的载气源与载气供给管路；所述载气供给管路包括进气端和出气端，所述进气端连接所述载气源，所述出气端伸入所述药液中；所述载气供给模块还包括安装于所述载气供给管路的所述出气端的载气分布单元，所述载气分布单元用于使所述载气分布为气泡，且所述载气分布单元与所述药液的液面保持设定的距离；

蒸汽输出管路，其连接于所述药液储罐的上部，用于输出携带有所述药液的蒸汽的所述载气。

2.根据权利要求1所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述药液包括异丙醇，所述载气包括氮气。

3.根据权利要求1所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述蒸汽发生装置还包括药液供给模块，所述药液供给模块包括提供所述药液的药液源以及连接所述药液源和所述药液储罐的药液供给管路。

4.根据权利要求1所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述蒸汽发生装置还包括用于监控所述药液的液面位置的液位监控模块。

5.根据权利要求4所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述液位监控模块包括液位监控管路和液位传感器；所述液位监控管路包括连接所述药液储罐的接液端和接气端，所述接液端的海拔高度低于所述药液储罐中的所述药液的液面位置的海拔高度，所述接气端的海拔高度高于所述药液储罐中的所述药液的液面位置的海拔高度，所述液位传感器用于监控所述液位监控管路中的所述药液的液面位置。

6.根据权利要求1所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述介质保温槽包括维持所述保温介质的温度在设定范围内的温度控制单元。

7.根据权利要求1所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述载气通过所述载气分布单元所分布的所述气泡的尺寸为纳米级、微米级或毫米级。

8.根据权利要求1所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述载气分布单元包括纳米气盘石。

9.根据权利要求8所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述载气供给模块还包括连接所述纳米气盘石的浮漂，所述浮漂用于使所述纳米气盘石悬浮于所述药液中并使所述纳米气盘石与所述药液的液面保持设定的距离。

10.根据权利要求1所述的蒸汽发生装置，其特征在于，所述载气供给模块还包括用于使所述载气供给管路内的所述载气保持单向流动的单向阀和用于控制所述载气的供给流量的流量控制单元。

技术总结
本发明提供了一种蒸汽发生装置，包括：用于容纳药液的药液储罐；用于容纳具有设定温度的保温介质的介质保温槽；所述药液储罐置于所述介质保温槽内，药液储罐通过接触保温介质使药液维持设定温度；载气供给模块，包括载气源与载气供给管路；载气供给管路包括进气端和出气端，进气端连接载气源，出气端伸入药液中；载气供给模块还包括载气分布单元，其用于使载气分布为气泡，且与药液液面保持设定距离；连接于药液储罐上部的蒸汽输出管路，用于输出携带有药液蒸汽的载气。本发明通过水浴进行恒温控制，避免了直接加热造成的安全隐患，并结合稳定的载气供给，使其所供给的异丙醇蒸汽含量高且组分稳定，以确保异丙醇取干具有稳定的工艺效果。

技术研发人员：张少帅;王俊;吴均;王晖
受保护的技术使用者：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
技术研发日：2019.12.11
技术公布日：2021.06.11