一种多梯度的长晶实验装置的制作方法

技术特征：
1.一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：包括坩埚(1)、长晶料(2)、小晶片(3)、晶片托架(4)、加热器(5)和人字型支架(6)，坩埚(1)的下部装有长晶料(2)，坩埚(1)位于加热器(5)内侧，人字型支架(6)位于长晶料(2)上侧且人字型支架(6)与坩埚(1)连接，人字型支架(6)为阶梯型架，人字型支架(6)的阶梯与晶片托架(4)连接，晶片托架(4)的下部连接小晶片(3)。2.根据权利要求1所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：还包括旋钮(7)，人字型支架(6)的两端与坩埚(1)的侧壁轴承连接，人字型支架(6)的一端伸出坩埚(1)与旋钮(7)连接。3.根据权利要求2所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：所述人字型支架(6)包括平行设置的第一支架(61)和第二支架(62)，第一支架(61)和第二支架(62)的阶梯之间铰接安装座(41)，晶片托架(4)与安装座(41)连接，第一支架(61)或第二支架(62)的一端伸出坩埚(1)与旋钮(7)连接。4.根据权利要求3所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：所述旋钮(7)为隔热旋钮。5.根据权利要求1所述的一种多梯度的长晶实验装置，其特征在于：所述坩埚(1)为上部设置可开关的开口或者侧面设置可开关的开口。

技术总结
本实用新型涉及一种多梯度的长晶实验装置，属于晶体实验技术领域。解决的是单次实验无法验证多个不同位置的长晶情况，效率低，需多次重复实验的问题。包括坩埚、长晶料、小晶片、晶片托架、加热器和人字型支架，坩埚的下部装有长晶料，坩埚位于加热器内侧，人字型支架位于长晶料上侧且人字型支架与坩埚连接，人字型支架为阶梯型架，人字型支架的阶梯与晶片托架铰接，晶片托架的下部连接小晶片。在单次实验中就可得到几种梯度下的实验结果，根据结果可得到大量的实验数据，根据不同的结论，确定位置对晶体生长的影响，减少实验次数，提高实验效率，便于拆卸、清理，操作简单方便。操作简单方便。操作简单方便。


技术研发人员：ꢀ(74)专利代理机构
受保护的技术使用者：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
技术研发日：2021.02.24
技术公布日：2021/10/8