一种区熔石英管内壁气吹装置的制作方法

1.本实用新型涉及高纯半导体材料制备技术领域，尤其涉及一种区熔石英管内壁气吹装置。


背景技术：

2.高纯半导体材料，如高纯锗的生产需要经过区熔提纯，区熔过程中原料放置于石英管中。为避免石英管中的杂质污染材料，需要对石英管进行酸洗。酸洗完成后，内壁会附着很多水分，这些水分将会成为区熔过程中额外引入的杂质，因此需要用高纯气体吹干。
3.由于石英管经过酸洗后内部十分洁净，为避免气吹装置触碰到石英管内壁，不能将气吹喷嘴伸入石英管内部，只能在石英管口吹气。这种气吹方式耗时长，且十分浪费气体，增加生产成本。当石英管长度较长时，剩余在内壁深处的小水珠会吸附在管壁上，且该处的气体流速较小，难以彻底将水份吹干，在后续的区熔实验中，这些残留在石英管内的水分会与原料进行化学反应，形成新的杂质，使提纯效果难以达到预期。


技术实现要素：

4.本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种可实现良好气吹效果的区熔石英管内壁气吹装置。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下所述的技术方案：
6.一种区熔石英管内壁气吹装置，其包括有一气管、一固定套筒和一伸缩组件，所述气管的一端安装有气吹喷嘴，该气管带有气吹喷嘴的一端可伸入石英管内对石英管内壁进行气吹，所述气吹喷嘴为圆柱体结构，气吹喷嘴的外壁均匀分布有多个吹气孔；所述固定套筒包括有一支撑板、一卡箍以及多个用于连接所述支撑板、卡箍的固定棒，所述支撑板的中心位置开设有一可供所述气管通过的气管通孔；所述伸缩组件固定安装于所述支撑板上，用于驱动所述气管沿支撑板的法向来回运动。
7.优选地，所述区熔石英管内壁气吹装置包括有一用于对气管内的气体进行加热的加热组件。
8.优选地，所述区熔石英管内壁气吹装置包括有一控制端，该控制端分别与所述伸缩组件、加热组件连接以控制所述伸缩组件、加热组件工作。
9.优选地，所述卡箍采用直径可调的卡箍，以适配不同直径的石英管。
10.优选地，所述伸缩组件采用一伸缩气缸，该伸缩气缸驱动所述气管沿支撑板的法向来回运动。
11.优选地，所述固定套筒包括有至少3根固定棒。
12.优选地，所述加热组件采用一加热丝，该加热丝螺旋环绕在所述气管的外壁上。
13.本实用新型的有益技术效果在于：上述区熔石英管内壁气吹装置，由于气吹喷嘴为圆柱体结构，且气吹喷嘴的外壁均匀分布有多个吹气孔，气流从气管进入，再由气吹喷嘴的多个吹气孔喷出，可以保证各个方向均能对石英管内壁进行气吹；另外，伸缩组件可驱动
所述气管沿支撑板的法向来回运动，从而带动气吹喷嘴沿支撑板的法向来回运动，可保证石英管各个位置均能被吹到，综上所述，本实用新型的区熔石英管内壁气吹装置可实现对石英管内壁的良好气吹效果。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型的区熔石英管内壁气吹装置的整体结构示意图；
16.图2为本实用新型的固定套筒的结构示意图。
具体实施方式
17.为使本领域的普通技术人员更加清楚地理解本实用新型的目的、技术方案和优点，以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的阐述。下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。
18.如图1、2所示，在本实用新型一个实施例中，区熔石英管内壁气吹装置包括有一气管5、一固定套筒6和一伸缩组件3，所述气管5的一端安装有气吹喷嘴1，该气管5带有气吹喷嘴1的一端可伸入石英管内对石英管内壁进行气吹，所述气吹喷嘴1为圆柱体结构，气吹喷嘴的外壁均匀分布有多个吹气孔；所述固定套筒6包括有一支撑板10、一卡箍7以及多个用于连接所述支撑板10、卡箍7的固定棒8，所述支撑板10的中心位置开设有一可供所述气管5通过的气管通孔9，该气管通孔9的内径与气管5的外径一致；所述伸缩组件3固定安装于所述支撑板10上，用于驱动所述气管5沿支撑板10的法向来回运动。
19.使用时，先将固定套筒套6套接到石英管外壁上，调节卡箍7使卡箍7卡紧到石英管外壁上，卡箍7与石英管外径匹配，可确保整个区熔石英管内壁气吹装置与石英管同心，避免气管5伸入石英管时触碰到内壁而造成污染。当卡箍7与石英管外径匹配完成后，气流从气管5进入，再由气吹喷嘴1的多个吹气孔喷出，对石英管内壁进行气吹。
20.本实施例中的区熔石英管内壁气吹装置，由于气吹喷嘴1为圆柱体结构，且气吹喷嘴1的外壁均匀分布有多个吹气孔，气流从气管5进入，再由气吹喷嘴1的多个吹气孔喷出，可以保证各个方向均能对石英管内壁进行气吹；另外，伸缩组件3可驱动所述气管5沿支撑板10的法向来回运动，从而带动气吹喷嘴1沿支撑板10的法向来回运动，可保证石英管各个位置均能被吹到，综上所述，本实施例中的区熔石英管内壁气吹装置可实现对石英管内壁的良好气吹效果。
21.在本实用新型的一个优选实施例中，所述区熔石英管内壁气吹装置包括有一用于对气管5内的气体进行加热的加热组件2。本实施例中，所述加热组件2采用一加热丝，该加热丝螺旋环绕在所述气管5的外壁上。使用时，气流从气管5进入，经过加热组件2加热后，再由气吹喷嘴1的多个吹气孔喷出。所述区熔石英管内壁气吹装置，在对石英管内壁进行气吹
的基础上还能对石英管内壁进行加热烘干，可以更有效地吹干石英管内壁上的水分，提高去除水分的效率。
22.在本实用新型的一个优选实施例中，所述卡箍7采用一直径可调的卡箍，可以适配不同直径的石英管。根据石英管的尺寸调节卡箍7的松紧，从而匹配不同直径的石英管。
23.在本实用新型的一个优选实施例中，所述固定套筒6包括有至少3根固定棒8，所述卡箍7通过3根以上的固定棒8与所述支撑板10连接，可以保证所述固定套筒6的结构稳定性，进而确保整个区熔石英管内壁气吹装置与石英管同心。
24.在本实用新型的一个优选实施例中，所述伸缩组件3采用一伸缩气缸，该伸缩气缸驱动所述气管5沿支撑板10的法向来回运动。
25.在本实用新型的一个优选实施例中，所述区熔石英管内壁气吹装置还包括有一控制端4，该控制端4分别与所述伸缩组件3、加热组件2连接，以控制所述伸缩组件3、加热组件2工作。通过控制端4控制加热组件2的加热功率以及调节气吹喷嘴1在石英管内的位置，按照一定顺序反复多次气吹，直至石英管内部水分被完全吹干。
26.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，而非对本实用新型做任何形式上的限制。本领域的技术人员可在上述实施例的基础上施以各种等同的更改和改进，凡在权利要求范围内所做的等同变化或修饰，均应落入本实用新型的保护范围之内。


技术特征：
1.一种区熔石英管内壁气吹装置，其特征在于，所述区熔石英管内壁气吹装置包括有：一气管，其一端安装有气吹喷嘴，该气管带有气吹喷嘴的一端可伸入石英管内对石英管内壁进行气吹，所述气吹喷嘴为圆柱体结构，气吹喷嘴的外壁均匀分布有多个吹气孔；一固定套筒，其包括有一支撑板、一卡箍以及多个用于连接所述支撑板、卡箍的固定棒，所述支撑板的中心位置开设有一可供所述气管通过的气管通孔；一伸缩组件，其固定安装于所述支撑板上，用于驱动所述气管沿支撑板的法向来回运动。2.如权利要求1所述的区熔石英管内壁气吹装置，其特征在于，所述区熔石英管内壁气吹装置包括有一用于对气管内的气体进行加热的加热组件。3.如权利要求2所述的区熔石英管内壁气吹装置，其特征在于，所述区熔石英管内壁气吹装置包括有一控制端，该控制端分别与所述伸缩组件、加热组件连接以控制所述伸缩组件、加热组件工作。4.如权利要求1所述的区熔石英管内壁气吹装置，其特征在于，所述卡箍采用直径可调的卡箍。5.如权利要求1所述的区熔石英管内壁气吹装置，其特征在于，所述伸缩组件采用一伸缩气缸，该伸缩气缸驱动所述气管沿支撑板的法向来回运动。6.如权利要求1所述的区熔石英管内壁气吹装置，其特征在于，所述固定套筒包括有至少3根固定棒。7.如权利要求2所述的区熔石英管内壁气吹装置，其特征在于，所述加热组件采用一加热丝，该加热丝螺旋环绕在所述气管的外壁上。

技术总结
本实用新型公开了一种区熔石英管内壁气吹装置，其包括有一气管、一固定套筒和一伸缩组件，所述气管的一端安装有气吹喷嘴，该气管带有气吹喷嘴的一端可伸入石英管内对石英管内壁进行气吹，所述气吹喷嘴为圆柱体结构，气吹喷嘴的外壁均匀分布有多个吹气孔；所述固定套筒包括有一支撑板、一卡箍以及多个用于连接所述支撑板、卡箍的固定棒，所述支撑板的中心位置开设有一可供所述气管通过的气管通孔；所述伸缩组件固定安装于所述支撑板上，用于驱动所述气管沿支撑板的法向来回运动。与现有技术相比，本实用新型的区熔石英管内壁气吹装置可以保证各个方向均能对石英管内壁进行气吹，以及可保证石英管各个位置均能被吹到，因此，可实现良好气吹效果。实现良好气吹效果。实现良好气吹效果。


技术研发人员：甘林 孙慧斌 赵海歌 胡世鹏 郝昕 罗奇 钟健 吴正新
受保护的技术使用者：深圳大学
技术研发日：2020.12.30
技术公布日：2021/9/21