标记检测方法、装置及计算机可读存储介质与流程

技术特征：
1.一种标记检测方法，其特征在于，包括：获取待制作光掩膜板上标记的开关信息；将所述开关信息与预设开关信息进行比对，判断所述开关信息是否与所述预设开关信息一致；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息。2.根据权利要求1所述的标记检测方法，其特征在于，所述获取待制作光掩膜板上标记的开关信息，包括：获取待制作光掩膜板上n个标记的开关信息，其中，所述n个标记包含m种标记类型，n、m均为大于1的整数。3.根据权利要求2所述的标记检测方法，其特征在于，所述m种标记类型包括以下类型之一或其任意组合：套刻标记、对准标记、检测标记。4.根据权利要求2所述的标记检测方法，其特征在于，在将所述开关信息与预设开关信息进行比对之前，还包括：根据m种所述标记类型建立m个区块，其中，一个所述区块包含属于同一种标记类型的多个标记；将所述m个区块进行合并，并根据所述m个区块设置m个识别层，其中，一个区块对应一个识别层；所述将所述开关信息与预设开关信息进行比对，包括：根据所述识别层将合并后的所述区块中所述标记的所述开关信息与预设开关信息进行比对。5.根据权利要求4所述的标记检测方法，其特征在于，所述根据m种所述标记类型建立m个区块，包括：根据所述标记类型确定所述标记在所述待制作光掩膜板上的分布区域；根据所述分布区域生成所述区块。6.根据权利要求5所述的标记检测方法，其特征在于，所述分布区域包括多个标记条形区域。7.根据权利要求6所述的标记检测方法，其特征在于，同一所述区块中不同所述标记条形区域上包含的标记数目和标记种类均相同。8.根据权利要求4所述的标记检测方法，其特征在于，所述预设开关信息通过以下方式获取：获取每个标记的子预设开关信息；整合所述子预设开关信息，生成所述预设开关信息。9.根据权利要求8所述的标记检测方法，其特征在于，通过脚本对所述子预设开关信息进行整合，以及通过脚本进行合并后的所述区块中所述标记的所述开关信息与预设开关信息的比较。10.根据权利要求1至9任一项所述的标记检测方法，其特征在于，所述将所述开关信息与预设开关信息进行比对，包括：将所述开关信息和预设开关信息输入预设的检测程序；
根据所述检测程序比对所述开关信息和所述预设开关信息。11.根据权利要求1至9任一项所述的标记检测方法，其特征在于，在根据所述预设开关信息修正所述开关信息之后，还包括：再次判断所述开关信息是否与预设开关信息一致；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息，直至所述开关信息与所述预设开关信息一致。12.一种标记检测装置，其特征在于，包括：至少一个处理器；以及，与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行如权利要求1至11中任一项所述的标记检测方法。13.一种计算机可读存储介质，存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至11中任一项所述的标记检测方法。

技术总结
本发明实施例涉及半导体制造技术领域，公开了一种标记检测方法、装置及计算机可读存储介质，所述标记检测方法包括：获取待制作光掩膜板上标记的开关信息；将所述开关信息与预设开关信息进行比对，判断所述开关信息是否与预设开关信息一致；在判定不一致时，根据所述预设开关信息修正所述开关信息。本发明提供的标记检测方法、装置及计算机可读存储介质能够自动检测标记的开关是否准确，在提高检测准确率的同时，减少人力成本。减少人力成本。减少人力成本。


技术研发人员：章艳
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2020.03.31
技术公布日：2021/10/21