真空镀膜机用气管及真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及一种真空镀膜机用气管及真空镀膜机。


背景技术：

2.随着户外电子产品的普及，户外使用环境下对产品的防护要求也越来越高。有防尘防水、耐压绝缘、耐盐雾、耐酸碱、耐有机溶剂等严苛的测试。
3.派瑞林，英文名为parylene，即聚对二甲苯，是一种保护性高分子材料，该涂层具有极低的水、气渗透性和高屏障效果，能够达到极佳的防潮、防水、防锈、抗酸碱腐蚀的作用，而派瑞林真空镀膜作为可靠防水绝缘特殊涂层，已经广泛使用。
4.物理气相沉积(physical vapour deposition，pvd)技术表示在真空条件下，采用物理方法，将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。现有技术中，真空镀膜机的用于向真空腔室中输送的工作气体的气管，气管会开设有一列大小一致的气孔，但是真空腔室内的工作气体分布不均匀，导致镀膜效果不佳。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机用气管及真空镀膜机，采用该真空镀膜机用气管能够使得通入真空腔室内的工作气体更加均匀，从而提高镀膜效果。
6.本实用新型提供的技术方案如下：
7.一种真空镀膜机用气管，包括气管本体，所述气管本体为管状结构，所述气管本体上若干气孔，若干所述气孔沿着所述气管本体的轴线方向排布；所述气管本体的第一端通过板体封闭，所述气管本体的第二端为开口端，从所述气管本体的开口端到封闭端，所述气孔的截面积依次增加。
8.在实际工况下，真空镀膜机用气管安装于真空腔室内，材料源加热后变成气体从气管本体的第二端进入气管本体内，然后通过气孔进入真空腔室内，由于气体刚进入气管本体时，气体流速较大，而沿着气管本体向上流动时，气体流速会缓慢下降，由于气管本体的开口端到封闭端，气孔的孔径依次增加，所以，在高度方向上，气孔的截面积依次增大，而通过气孔进入真空腔室的单位时间内工作气体量为气孔截面积与气体流速的乘积，可以使得沿着气管本体的轴线方向上，工作气体通入真空腔室内的气体更加均匀。
9.优选地，所述板体为闷盖，所述闷盖包括盖板和设置在盖板在的限位凸台，当所述闷盖设置在所述气管本体的第一端时，所述限位凸台正好伸入所述气管本体的第一端内。
10.通过将气管本体的第一端设置成可以拆卸式的，当真空镀膜机用气管需要清洗时，只要将板体拆掉，清洗真空镀膜机用气管的内壁更加方便快捷。
11.优选地，所述板体为l型板，所述l型板包括圆板和垂直设置在所述圆板上的固定板，所述固定板上开设有第一固定孔；所述气管本体的第一端处开设有第二固定孔；当所述l型板设置于所述气管本体的第一端时，所述第一固定孔与第二固定孔通过固定螺丝连接。
12.优选地，所述气孔为圆形气孔，相邻所述气孔的直径相差0.4
‑
0.6mm。
13.优选地，相邻所述气孔的圆心之间的距离相等。
14.优选地，所述气管本体的第二端设有连接管，所述连接管为管状结构。
15.优选地，所述气管本体的外表面与连接管的外表面的连接处呈台阶状，所述气管本体的内表面的截面积与连接管的内表面的截面积相等。
16.优选地，所述连接管的外表面的截面形状呈多边形或者三角形。
17.一种真空镀膜机，包括前述的真空镀膜机用气管，还包括：真空腔室，所述真空腔室的底板的相对位置处开设有两个安装孔，所述真空镀膜机用气管的连接管与安装孔连接，两根所述真空镀膜机用气管的气孔的出气方向相反。
18.上述结构中，两根真空镀膜机用气管的气孔方向相反，能够使得工作气体从相反的方向通入真空腔室内，从而进一步保证整个真空腔室内的工作气体更加均匀。
19.优选地，所述镀膜机用气管的连接管插接在所述安装孔内，所述连接管与安装孔的形状匹配。或所述底板呈圆形，所述底板的圆心位于两个所述安装孔的圆心的连接线上。
20.本实用新型提供的一种真空镀膜机用气管及真空镀膜机，能够带来以下有益效果：
21.在实际工况下，真空镀膜机用气管内的工作气体通过气孔进入真空腔室内，由于气孔截面积依次增加，故可以使得在高度方向上，真空腔室内的工作气体更加均匀。同时由于真空腔室内设有两根出气方向相背设置的空镀膜机用气管，可进一步保证真空腔室内工作气体的均匀性。
附图说明
22.下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对真空镀膜机用气管及真空镀膜机的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
23.图1是真空镀膜机用气管的正面示意图；
24.图2是真空镀膜机用气管的立体示意图；
25.图3是真空腔室的立体示意图；
26.图4是真空镀膜机用气管安装在真空腔室内的立体示意图；
27.图5是另一种真空镀膜机用气管的立体示意图；
28.图6是闷盖的结构示意图；
29.图7是另一种真空镀膜机用气管的立体示意图；
30.图8是图7的侧视图；
31.图9是l型板处的局部放大图。
32.附图标号说明：
33.100
‑
真空腔室，101
‑
安装孔，102
‑
底板，200
‑
真空镀膜机用气管，201
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气管本体，202
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气管本体的第一端，203
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连接管，204
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气孔，205
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闷盖，206
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盖板，207
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限位凸台，208
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固定螺丝，209
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l型板，210
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圆板，211
‑
固定板。
具体实施方式
34.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图
说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
35.为使图面简洁，各图中的只示意性地表示出了与本实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。
36.【实施例1】
37.如图1～图4所示，实施例1公开了一种真空镀膜机用气管200的具体实施方式，包括：气管本体201，该气管本体201为圆形管状结构，气管本体201上10个气孔204，该气孔204呈圆形，相邻气孔204的圆心之间的距离相等，10个气孔204沿着气管本体201的轴线方向(图1的竖直方向)排布，相邻气孔204的直径相差0.5mm，最小气孔204的直径最小为10mm，最大气孔204的直径为14.5mm。气管本体的第一端202(图1中的气管本体201的上端)为封闭端，具体的，气管本体的第一端202是通过板体封闭的，该板体与气管本体的第一端202一体成型，气管本体201的第二端(图1中的气管本体201的下端)为开口端，从气管本体201的开口端到封闭端，气孔204的截面积依次增加。
38.具体的，气管本体201的内径为20mm，外径为27mm。
39.如图1～图2所示，气管本体201的第二端设有连接管203，连接管203为圆形管状结构，连接管203的外径为25.5mm，气管本体201的外表面与连接管203的外表面的连接处呈台阶状，气管本体201的内表面的截面积与连接管203的内表面的截面积相等，即保证工作气体依次流经连接管203与气管本体201的第二端时的流速不变。
40.如图3～4所示，本实施例还公开了一种真空镀膜机，包括有前述的真空镀膜机用气管200、真空腔室100，真空腔室100的底板102的相对位置处开设有两个安装孔101，如图4所示，底板102呈圆形，该底板102的圆心位于两个安装孔101的圆心的连接线上，真空镀膜机用气管200的连接管203插接在底板102的安装孔101内，本实施例中，安装孔101与连接管203的截面形状均呈圆形，两根真空镀膜机用气管200的气孔204的出气方向相反。真空镀膜机用气管200的开口端与真空镀膜机中的粉体气化炉连通。
41.在其他具体实施例中，气孔204的形状也可以是方形、椭圆形、长方形等等，此处不再赘述。
42.【实施例2】
43.实施例2公开了另一种真空镀膜机用气管的具体实施方式，实施例2的真空镀膜机用气管与实施例1的真空镀膜机用气管结构基本相同，实施例2与实施例1不同的是，实施例2的连接管的外表面的截面形状为四边形。
44.实施例2还公开了另一种真空镀膜机，实施例2的真空镀膜机与实施例1的真空镀膜机结构基本相同，实施例2与实施例1的不同之处在于，实施例2的安装孔的截面形状也为四边形，限制真空镀膜机用气管沿着周向方向旋转。当真空镀膜机用气管安装在真空腔室内时，连接管正好与安装孔适配。
45.【实施例3】
46.如图5～6所示，实施例3公开了另一种真空镀膜机用气管200的具体实施方式，实施例3的真空镀膜机用气管200与实施例1的真空镀膜机用气管200的结构基本相同，实施例3与实施例1的不同之处在于，实施例3的位于气管本体的第一端202的板体为闷盖205，该闷
盖205包括呈圆形的盖板206和设置在盖板206在的限位凸台207，该限位凸台207为圆形板，当闷盖205设置在气管本体的第一端202时，限位凸台207正好伸入气管本体的第一端202内，此时，限位凸台207的外圆周与气管本体的第一端202处的内表面紧配合。
47.本实施例3还公开了另一种真空镀膜机，包括有前述的真空镀膜机用气管200、真空腔室100，真空腔室100的底板102的相对位置处开设有两个安装孔101，底板102呈圆形，该底板102的圆心位于两个安装孔101的圆心的连接线上，真空镀膜机用气管200的连接管203插接在底板102的安装孔101内，本实施例中，安装孔101与连接管203的截面形状均呈圆形，两根真空镀膜机用气管200的气孔204的出气方向相反。
48.【实施例4】
49.如图7～9所示，实施例4公开了另一种真空镀膜机用气管200的具体实施方式，实施例4的真空镀膜机用气管200与实施例1的真空镀膜机用气管200的结构基本相同，实施例4与实施例1的不同之处在于，实施例4的位于气管本体的第一端202的板体为l型板209，该l型板209包括圆板210和垂直设置在该圆板210上的固定板211，固定板211为直板，且固定板211上开设有第一固定孔，气管本体的第一端202处开设有第二固定孔，该第二固定孔开设在气孔204的相对位置处。
50.如图8～9所示，当l型板209设置于气管本体的第一端202时，第一固定孔与第二固定孔通过固定螺丝208连接，且固定板211不会挡住真空镀膜机用气管200上的气孔204。
51.本实施例4还公开了另一种真空镀膜机，包括有前述的真空镀膜机用气管200、真空腔室100，真空腔室100的底板102的相对位置处开设有两个安装孔101，底板102呈圆形，该底板102的圆心位于两个安装孔101的圆心的连接线上，真空镀膜机用气管200的连接管203插接在底板102的安装孔101内，本实施例中，安装孔101与连接管203的截面形状均呈椭圆形，两根真空镀膜机用气管200的气孔204的出气方向相反。
52.应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。