一种尾气处理系统的制作方法

本申请涉及尾气处理，尤其涉及一种尾气处理系统。

背景技术：

1、在多晶硅生产工艺中，氯硅烷尾气提纯、物料精馏是核心生产工序，其中，尾气压缩输送及低温物料精馏提纯过程存在大量能源浪费问题。多晶硅生产系统中，经前端低温冷凝预处理后的尾气需通入压缩机进行升压输送，气体在压缩机压缩做功过程中会产生大量压缩热，使得压缩机排出的尾气温度可达100-115℃，形成大量高温余热尾气。

2、现有多晶硅生产工艺中，压缩机排出的高温尾气多采用直接降温冷却的处理方式，大量余热直接散失，造成能源严重浪费；并且，在多晶硅生产工序中低压区冷凝后的低温氯硅烷物料需送入精馏塔进行组分提纯，精馏塔底部再沸器需要消耗大量蒸汽热源对低温氯硅烷物料进行加热汽化，以满足精馏分离的工艺要求，导致多晶硅生产过程中能源损耗严重。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种多晶硅尾气压缩机物料余热回收系统，用以解决多晶硅生产过程中能源损耗严重的问题。

2、本申请实施例提供一种尾气处理系统，包括：

3、冷凝装置，具有尾气进口；

4、冷凝装置被构造为对从尾气进口进入的尾气进行冷凝，并使尾气中的组分分离形成气相物料和液相物料；

5、压缩装置，压缩装置的进气口与冷凝装置的气相出口相连通；

6、换热装置，具有第一通道和第二通道，第一通道的进口端与压缩装置的排气口相连通，第二通道的进口端与冷凝装置的液相出口相连通，以使液相物料进入第二通道后能够与第一通道内的气相物料热交换，以冷却气相物料；

7、吸收塔，吸收塔的第一进料口与第一通道的出口端相连通，吸收塔被构造为能够吸收气相物料中的第一组分，以使气相物料中的第二组分从吸收塔的排气口排出。

8、在一个可能的实施例中，还包括解析塔，解析塔的进口与第二通道的出口端相连通。

9、在一个可能的实施例中，热交换后的气相物料进入吸收塔内，在吸收塔内吸收第一组分形成混合液相，吸收塔的出料口用于排出混合液相；

10、解析塔的进口与吸收塔的出料口相连通；

11、解析塔被构造为能够对混合液相进行解析，以分离第一组分和液相物料；

12、解析塔的第一出口用于排出第一组分，解析塔的第二出口用于排出液相物料。

13、在一个可能的实施例中，还包括回流管，解析塔的第二出口通过回流管与吸收塔连通。

14、在一个可能的实施例中，换热装置被构造为能够使第一通道中的气相物料与第二通道中的液相物料呈逆向流动。

15、在一个可能的实施例中，换热装置具有相对设置的第一侧和第二侧，第一通道的进口端与第二通道的出口端位于换热装置的第一侧，第一通道的出口端与第二通道的进口端位于换热装置的所述第二侧。

16、在一个可能的实施例中，换热装置包括换热壳体和换热管；

17、换热管设置于换热壳体内，换热管与所述换热壳体之间形成气相物料输送的第一通道；

18、换热管内具有用于液相物料输送的第二通道。

19、在一个可能的实施例中，换热壳体的中心轴线与换热管的中心轴线重合。

20、在一个可能的实施例中，换热装置沿自身的长度方向上具有多个换热部，每一换热部均具有第一流道段和第二流道段，沿换热装置的长度方向上，各换热部的第一流道段依次连通形成第一通道，各换热部的第二流道段依次连通形成第二通道。

21、在一个可能的实施例中，尾气为多晶硅尾气，多晶硅尾气包括氢气、氯化氢和氯硅烷；

22、气相物料包括氢气和氯化氢，液相物料包括液相的氯硅烷。

23、本申请实施例提供的尾气处理系统，通过冷凝装置对尾气进行冷凝分离后得到气相物料和液相物料，气相物料经压缩装置压缩后与液相物料在换热装置内进行热交换，冷凝分离后的液相物料对压缩装置压缩升温后的气相物料进行冷却，并且，压缩升温后的气相物料对冷凝装置冷凝分离后的液相物料进行升温，进而满足吸收塔对进料状态的要求，并实现对气相物料中第一组分吸收分离以及第二组分的排出，提高尾气处理过程的余热利用率，降低多晶硅生产过程中的能源损耗。

1.一种尾气处理系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，还包括解析塔（500），所述解析塔（500）的进口与所述第二通道（340）的出口端相连通。

3.根据权利要求2所述的尾气处理系统，其特征在于，热交换后的所述气相物料进入所述吸收塔（400）内，在所述吸收塔（400）内吸收所述第一组分形成混合液相，所述吸收塔（400）的出料口用于排出所述混合液相；

4.根据权利要求3所述的尾气处理系统，其特征在于，还包括回流管（600），所述解析塔（500）的第二出口通过所述回流管（600）与所述吸收塔（400）连通。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的尾气处理系统，其特征在于，所述换热装置（300）被构造为能够使所述第一通道（330）中的所述气相物料与所述第二通道（340）中的所述液相物料呈逆向流动。

6.根据权利要求5所述的尾气处理系统，其特征在于，所述换热装置（300）具有相对设置的第一侧和第二侧，所述第一通道（330）的进口端与所述第二通道（340）的出口端位于所述换热装置（300）的所述第一侧，所述第一通道（330）的出口端与所述第二通道（340）的进口端位于所述换热装置（300）的所述第二侧。

7.根据权利要求1-4中任一项所述的尾气处理系统，其特征在于，所述换热装置（300）包括换热壳体（310）和换热管（320）；

8.根据权利要求7所述的尾气处理系统，其特征在于，所述换热壳体（310）的中心轴线与所述换热管（320）的中心轴线重合。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的尾气处理系统，其特征在于，所述换热装置（300）沿自身的长度方向上具有多个换热部（350），每一所述换热部（350）均具有第一流道段（351）和第二流道段（352），沿所述换热装置（300）的长度方向上，各所述换热部（350）的所述第一流道段（351）依次连通形成所述第一通道（330），各所述换热部（350）的所述第二流道段（352）依次连通形成所述第二通道（340）。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的尾气处理系统，其特征在于，所述尾气为多晶硅尾气，所述多晶硅尾气包括氢气、氯化氢和氯硅烷；