一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置的制作方法

摘要: 本技术涉及角度偏转装置,具体为一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置。背景技术:1、多晶硅还原炉是光伏和半导体产业链上游的核心设备,负责把气相硅源(主要是三...
一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置的制作方法

本技术涉及角度偏转装置,具体为一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置。

背景技术:

1、多晶硅还原炉是光伏和半导体产业链上游的核心设备,负责把气相硅源(主要是三氯氢硅sihcl3)在高温下与氢气h2发生还原反应,生成高纯度多晶硅棒。电极是多晶硅还原炉的核心部件,需要在其外表面喷涂一层涂层,涂层对电极外表面起到保护的作用。在电极喷涂中,需要使用定位结构对电极进行定位固定,方便喷涂工作的进行。

2、对于上述技术条件,还存在喷涂时需要对电极的多个角度进行喷涂,但是定位结构一般只能对电极进行定位,不能根据喷涂需求对电极进行角度变换的缺陷。

3、基于此,本实用新型设计了一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,以解决上述技术问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,包括定位结构,所述定位结构连接有偏转结构,所述偏转结构包括底座、齿轮、转动杆和半圆板,所述定位结构设置有转轴,所述转轴转动连接在所述底座上,所述半圆板固定设置在所述转轴上,所述半圆板的外侧壁上开设有多个齿形槽,所述齿轮设置在所述底座上,所述齿轮啮合设置在所述齿形槽上,所述底座上固定设置有减速器,所述底座上开设有固定孔,所述减速器的一个输出轴穿过所述固定孔并固定连接在所述齿轮上,所述转动杆固定连接在所述减速器另一个输出轴上,所述底座上固定连接有第一限位杆,所述半圆板上固定设置有限位板,所述第一限位杆在所述限位板的下方。

3、优选的,所述定位结构包括安装座、夹爪、紧固组件、卡盘和驱动组件,所述转轴固定设置在所述安装座上,所述卡盘设置在所述安装座上,所述夹爪设置在所述卡盘上,所述夹爪在所述卡盘上设置有多个,所述驱动组件设置在所述安装座上,所述驱动组件连接所述卡盘,所述紧固组件设置在所述卡盘上,所述紧固组件连接所述夹爪。

4、优选的,所述转动杆上固定连接有辅助环,所述辅助环上固定连接有辅助杆。

5、优选的,所述底座上固定连接有第二限位杆。

6、优选的,所述底座上固定设置有稳定杆,所述稳定杆在所述底座上镜像设置有两个。

7、优选的,所述底座的底部为实心的金属材料,所述底座的底部厚度大于5cm。

8、综上所述,本申请具有以下有益技术效果:使用时,把电极使用定位结构进行定位固定,通过手部握住并转动辅助杆,转动杆被转动,转动杆的转动动力通过减速器传递给齿轮,齿轮转动,齿轮再驱动半圆板转动,半圆板转动后带着定位结构转动,定位结构与底座之间的角度发生转变。当齿轮逆时针转动时,定位结构与第一限位杆之间的角度变小,当限位板抵触在第一限位杆上时,定位结构在该侧的转动角度最大;当齿轮顺时针转动时,定位结构与第二限位杆之间的角度变小,当驱动组件抵触在第二限位杆上时,定位结构在该侧的转动角度最大。通过对定位结构不同角度的变化,可以对电极进行多个角度的喷涂,提高对电极的喷涂效果,达到可以根据使用需求对电极进行角度变换的效果。

1.一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,包括定位结构,其特征在于:所述定位结构连接有偏转结构,所述偏转结构包括底座(5)、齿轮(17)、转动杆(8)和半圆板(12),所述定位结构设置有转轴,所述转轴转动连接在所述底座(5)上,所述半圆板(12)固定设置在所述转轴上,所述半圆板(12)的外侧壁上开设有多个齿形槽(11),所述齿轮(17)设置在所述底座(5)上,所述齿轮(17)啮合设置在所述齿形槽(11)上,所述底座(5)上固定设置有减速器(9),所述底座(5)上开设有固定孔,所述减速器(9)的一个输出轴穿过所述固定孔并固定连接在所述齿轮(17)上,所述转动杆(8)固定连接在所述减速器(9)另一个输出轴上,所述底座(5)上固定连接有第一限位杆(16),所述半圆板(12)上固定设置有限位板(13),所述第一限位杆(16)在所述限位板(13)的下方。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,其特征在于:所述定位结构包括安装座(14)、夹爪(1)、紧固组件(15)、卡盘(2)和驱动组件(3),所述转轴固定设置在所述安装座(14)上,所述卡盘(2)设置在所述安装座(14)上,所述夹爪(1)设置在所述卡盘(2)上,所述夹爪(1)在所述卡盘(2)上设置有多个,所述驱动组件(3)设置在所述安装座(14)上,所述驱动组件(3)连接所述卡盘(2),所述紧固组件(15)设置在所述卡盘(2)上,所述紧固组件(15)连接所述夹爪(1)。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,其特征在于:所述转动杆(8)上固定连接有辅助环(7),所述辅助环(7)上固定连接有辅助杆(6)。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,其特征在于:所述底座(5)上固定连接有第二限位杆(4)。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,其特征在于:所述底座(5)上固定设置有稳定杆(10),所述稳定杆(10)在所述底座(5)上镜像设置有两个。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极喷涂用手动角度偏转装置,其特征在于:所述底座(5)的底部为实心的金属材料,所述底座(5)的底部厚度大于5cm。