一种真空蒸镀机的工件旋转结构的制作方法

本技术涉及真空蒸镀机领域，具体涉及一种真空蒸镀机的工件旋转结构。

背景技术：

1、真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。

2、现有技术中，申请号为cn202510665907.8的实用新型专利公开了一种真空蒸镀机的旋转机构，旋转装置的下部连接支撑组件，支撑组件包括上支撑环和下支撑环，下支撑环用于承接待镀膜的载具，上支撑环与下支撑环之间设有多个便于拆卸的下挂连接件，下挂连接件包括与下挂装置以及承托装置。

3、上述旋转机构的下挂装置与承托装置连接时，依靠下挂装置上的顶针嵌入承托装置的凹型孔内实现导向与限位。然而，由于上支撑环与下支撑环之间设有多组下挂连接件，在对下挂装置与承托装置连接时，不便于将多组顶针与凹形孔同时对齐，从而导致下支撑环的安装十分不便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种真空蒸镀机的工件旋转结构，方便对下支撑环进行安装，以解决上述背景技术中提出的缺陷。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种真空蒸镀机的工件旋转结构，包括旋转轴，所述旋转轴上固定安装有上支撑环，所述上支撑环的下方可拆卸安装有下支撑环，所述下支撑环的顶部安装有用于承载带镀膜工件的锅盖板，所述上支撑环的底部安装有绕所述旋转轴的周向均匀间隔设置的多组连接组件，所述连接组件设有连接座，所述下支撑环位于多个所述连接座之间，所述连接座靠近所述旋转轴的一侧设有沿所述旋转轴的径向延伸的安装槽，所述安装槽内滑动安装有支撑块，所述安装槽内还设有用于推动所述支撑块的一端伸出所述安装槽外侧的弹簧，多个所述支撑块伸出所述安装槽外侧的一端共同将所述下支撑环位托住，所述下支撑环的边缘还设有供所述支撑块通过的缺口；所述支撑块伸出所述安装槽外侧的一端底部设有导向斜面。

4、作为进一步的改进，当所述下支撑环向上经多个所述支撑块之间通过时，所述下支撑环的边缘接触所述导向斜面并推动所述支撑块收进所述安装槽内。

5、作为进一步的改进，所述支撑块上固定安装有沿所述旋转轴的径向延伸的滑动柱，所述连接座远离所述旋转轴的一端设有供所述滑动柱穿出的通孔，所述弹簧套设在位于所述支撑块与所述安装槽的内壁之间的所述滑动柱上，所述滑动柱远离所述支撑块的一端固定安装有位于所述连接座的外侧的挡板。

6、作为进一步的改进，所述连接组件还包括固定安装在所述上支撑环的底部的连接臂，所述连接座的顶部固定安装有竖向延伸的导向柱，所述连接臂的下端设有与所述导向柱相匹配的导向孔，所述连接臂与所述连接座之间还设有用于调节所述连接座的高度的调节组件。

7、作为进一步的改进，所述调节组件包括固定安装在所述连接臂上的螺母，所述螺母内螺纹连接有调节螺杆，所述调节螺杆的下端同轴设有光轴，所述光轴的下端设有挡块，所述调节螺杆机所述挡块的直径均大于所述光轴的直径，所述连接座上固定安装有连接板，所述连接板上设有竖向贯穿设置的开口槽，所述开口槽呈一侧开口的u形，所述开口槽的宽度与所述光轴的直径相匹配，且所述开口槽封闭的一端呈与所述光轴的外壁向贴合的弧形。

8、作为进一步的改进，所述支撑块的顶部固定安装有定位柱，所述下支撑环上设有供所述定位柱插入的定位孔，所述安装槽的顶壁上设有供所述定位柱进入的让位槽。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

10、1、通过将下支撑环上的缺口与支撑块对齐或错位，从而方便对下支撑环及锅盖板进行拆装；

11、2、通过设置可弹性伸缩的支撑块，以及在支撑块的一端底部设置导向斜面，即使未将下支撑环边缘的缺口与支撑块对齐，也能顺利将下支撑环安装至支撑块的顶部，下支撑环的安装更加方便；

12、3、通过转动调节螺杆，以便对下支撑环及锅盖板的整体高度进行调节，同时也便于对下支撑环及锅盖板进行调平，使下支撑环及锅盖板跟随旋转轴及上支撑环平稳转动，提高蒸镀的均匀性。

1.一种真空蒸镀机的工件旋转结构，包括旋转轴，所述旋转轴上固定安装有上支撑环，所述上支撑环的下方可拆卸安装有下支撑环，所述下支撑环的顶部安装有用于承载带镀膜工件的锅盖板，其特征在于：所述上支撑环的底部安装有绕所述旋转轴的周向均匀间隔设置的多组连接组件，所述连接组件设有连接座，所述下支撑环位于多个所述连接座之间，所述连接座靠近所述旋转轴的一侧设有沿所述旋转轴的径向延伸的安装槽，所述安装槽内滑动安装有支撑块，所述安装槽内还设有用于推动所述支撑块的一端伸出所述安装槽外侧的弹簧，多个所述支撑块伸出所述安装槽外侧的一端共同将所述下支撑环位托住，所述下支撑环的边缘还设有供所述支撑块通过的缺口；所述支撑块伸出所述安装槽外侧的一端底部设有导向斜面。

2.如权利要求1所述的一种真空蒸镀机的工件旋转结构，其特征在于：当所述下支撑环向上经多个所述支撑块之间通过时，所述下支撑环的边缘接触所述导向斜面并推动所述支撑块收进所述安装槽内。

3.如权利要求1所述的一种真空蒸镀机的工件旋转结构，其特征在于：所述支撑块上固定安装有沿所述旋转轴的径向延伸的滑动柱，所述连接座远离所述旋转轴的一端设有供所述滑动柱穿出的通孔，所述弹簧套设在位于所述支撑块与所述安装槽的内壁之间的所述滑动柱上，所述滑动柱远离所述支撑块的一端固定安装有位于所述连接座的外侧的挡板。

4.如权利要求1所述的一种真空蒸镀机的工件旋转结构，其特征在于：所述连接组件还包括固定安装在所述上支撑环的底部的连接臂，所述连接座的顶部固定安装有竖向延伸的导向柱，所述连接臂的下端设有与所述导向柱相匹配的导向孔，所述连接臂与所述连接座之间还设有用于调节所述连接座的高度的调节组件。

5.如权利要求4所述的一种真空蒸镀机的工件旋转结构，其特征在于：所述调节组件包括固定安装在所述连接臂上的螺母，所述螺母内螺纹连接有调节螺杆，所述调节螺杆的下端同轴设有光轴，所述光轴的下端设有挡块，所述调节螺杆机所述挡块的直径均大于所述光轴的直径，所述连接座上固定安装有连接板，所述连接板上设有竖向贯穿设置的开口槽，所述开口槽呈一侧开口的u形，所述开口槽的宽度与所述光轴的直径相匹配，且所述开口槽封闭的一端呈与所述光轴的外壁向贴合的弧形。

6.如权利要求1所述的一种真空蒸镀机的工件旋转结构，其特征在于：所述支撑块的顶部固定安装有定位柱，所述下支撑环上设有供所述定位柱插入的定位孔，所述安装槽的顶壁上设有供所述定位柱进入的让位槽。