一种镀膜腔喷淋板调节组件的制作方法

本发明涉及一种镀膜腔喷淋板调节组件。

背景技术：

1、原子层沉积(atomic layer deposition，ald)是一种利用衬底表面上前驱体的表面饱和反应所产生的化学吸附和脱附而形成单原子层的沉积技术，这项技术是将物质以单原子层的形式一层一层地沉积在衬底表面，并且通过控制反应周期数简单、精确地控制薄厚，其结构参见中国专利cn202411118665。

2、现有技术存在的问题是：喷淋板固定于镀膜腔上盖的下侧，喷淋板装配后经常会有水平度不够需要重新调平，或者与基片距离有误需要重新校准喷淋板整体高度，这些都需要花费大量的工时，影响生产效率。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是提供一种镀膜腔喷淋板调节组件，其可以方便调整镀膜腔内喷淋板水平度和高度，调整过程操作简单，调整高度的同时保持密封性能，有效提高了生产效率和产品良率。

2、为解决上述技术问题，本发明提供了一种镀膜腔喷淋板调节组件，包括水平布置、形状为矩形且上侧敞口的镀膜腔本体，镀膜腔本体上侧敞口处铰接有一个与镀膜腔本体相匹配的上盖，上盖下方设有水平布置的矩形喷淋板；

3、上盖上侧设有四个调节机构，四个调节机构在上盖上侧呈方形布置；

4、每个调节机构均包括一个竖直布置、上下敞口的圆筒形外壳，每个外壳下部的周向外侧均设有沿外壳径向水平向外延伸的环形第一翻边，第一翻边下侧位置上靠近外壳内壁处周向设有第一环形槽，第一环形槽内设有与第一环形槽相匹配的第一密封圈，第一密封圈截面形状为圆形，第一翻边位置上靠近其外壁处周向均布有若干沿竖直向贯穿第一翻边的第一沉孔，上盖位置上对应每个第一沉孔处均设有与第一沉孔相匹配的第一螺纹孔，每个第一沉孔内均设有与第一沉孔、第一螺纹孔相匹配的第一螺栓，每个第一螺栓螺纹端均竖直向下穿过该第一沉孔并与对应位置的第一螺纹孔旋接固定，每个外壳上部的周向内侧均设有沿外壳径向水平向内延伸的环形第二翻边，第二翻边上侧位置上靠近其内壁处周向设有第二环形槽，第二环形槽内设有与第二环形槽相匹配的第二密封圈，第二密封圈截面形状为圆形；

5、每个外壳内均设有旋转轴套，所述的旋转轴套呈竖直布置的圆柱体，其轴芯处设有沿竖直向贯穿其的中心孔，旋转轴套外径与外壳内径相匹配，旋转轴套下侧与上盖相接，旋转轴套上侧高度低于第二翻边下侧边缘的高度，每个旋转轴套的下侧位置上靠近其中心孔处均设有与中心孔共轴线的第三环形槽和第四环形槽，第三环形槽与第四环形槽沿旋转轴套径向内外间隔布置，所述第三环形槽周向内侧与中心孔相连通，第三环形槽内设有与第三环形槽相匹配的第三密封圈，第三密封圈截面形状为星形，第四环形槽内设有与第四环形槽相匹配的第四密封圈，第四密封圈截面形状为圆形，每个旋转轴套上侧位置上靠近其中心孔处均设有与中心孔共轴线的第五环形槽，所述第五环形槽周向内侧与中心孔相连通，第五环形槽内设有与第五环形槽相匹配的第五密封圈，第五密封圈截面形状为星形，每个旋转轴套位置上靠近其外壁处周向均布有若干沿竖直向贯穿旋转轴套的第二沉孔，上盖位置上对应每个第二沉孔处均设有与第二沉孔相匹配的第二螺纹孔，每个第二沉孔内均设有与第二沉孔、第二螺纹孔相匹配的第二螺栓，每个第二螺栓螺纹端均竖直向下穿过该第二沉孔并与对应位置的第二螺纹孔旋接固定；

6、每个外壳内还设有调节螺母，所述的调节螺母呈竖直布置的圆柱体，调节螺母设置于旋转轴套上侧与旋转轴套同轴布置，调节螺母上侧高度低于第二翻边的上侧，调节螺母周向外壁的上部与第二翻边的周向内壁配合，调节螺母轴芯处设有沿竖直向贯穿调节螺母的中心螺纹孔，中心螺纹孔齿底圆直径与旋转轴套中心孔直径相匹配，调节螺母下侧位置上对应旋转轴套第五环形槽外侧处设有与中心螺纹孔共轴线的第六环形槽，第五环形槽与第六环形槽沿调节螺母径向内外间隔布置，第六环形槽内设有与第六环形槽相匹配的第六密封圈，第六密封圈截面形状为圆形，每个调节螺母位置上靠近其外壁处周向均布有若干沿竖直向贯穿调节螺母的第三沉孔，旋转轴套上侧面位置上对应每个第三沉孔处均设有与第三沉孔相匹配的第三螺纹孔，每个第三沉孔内均设有与第三沉孔、第三螺纹孔相匹配的第三螺栓，每个第三螺栓螺纹端均竖直向下穿过该第三沉孔并与对应位置的第三螺纹孔旋接固定；

7、每个调节机构还包括一个竖直布置的圆柱形拉杆，拉杆高度方向的中部与旋转轴套的中心孔配合，拉杆上部位于调节螺母的中心螺纹孔内，并且周向设有与中心螺纹孔相匹配的外螺纹段，拉杆通过其上的外螺纹段与中心螺纹孔螺纹配合，拉杆顶部超出中心螺纹孔并设有拧动方头，拉杆下端由上至下穿过上盖并继续向下延伸；

8、外壳上侧设有护罩，护罩呈竖直布置且上侧封口、下侧敞口的圆筒形，护罩下侧周向设有沿护罩径向水平向外延伸的第三翻边，护罩的中轴线与外壳的中轴线共一竖直线，护罩的内径与第二翻边的内径相匹配，第三翻边的外径与外壳的外径相匹配，第三翻边的下侧面与第二翻边的上侧紧密贴靠，拉杆的上端及拧动方头位于护罩内，第三翻边位置上靠近其外壁处周向均布有若干沿竖直向贯穿第三翻边的第四沉孔，第二翻边上侧位置上对应每个第四沉孔处均设有与第四沉孔相匹配的第四螺纹孔，每个第四沉孔内均设有与第四沉孔、第四螺纹孔相匹配的第四螺栓，每个第四螺栓螺纹端均竖直向下穿过该第四沉孔并与对应位置的第四螺纹孔旋接固定。

9、喷淋板位置上对应每个拉杆处均设有与拉杆相正对的容纳腔，每个容纳腔内均设有水平布置的圆盘，位置相对的圆盘与拉杆共轴线且圆盘直径大于拉杆直径，拉杆下端从喷淋板上侧穿入容纳腔并与对应圆盘上侧同轴连接，每个圆盘上侧还设有绕拉杆周向环绕拉杆并覆盖整个圆盘的环形垫片，每个圆盘均通过垫片与容纳腔的上侧壁紧密接触承托喷淋板。

10、为简单说明问题起见，以下对本发明所述的一种镀膜腔喷淋板调节组件均简称为本组件。

11、本组件的使用方法：当喷淋板完成装配后因水平度不够需要重新调平，或者喷淋板与基片距离有误需要重新校准喷淋板整体高度时，先拆卸四个调节机构的第四螺栓，然后取下护罩，根据先前计算得到的偏差量进行调节，具体为：采用专用工具旋拧对应调节机构的拧动方头，由于拉杆与调节螺母螺纹配合，拉杆旋转的同时高度也同步发生变化，从而通过连接于拉杆下侧的圆盘同步带动喷淋板对应位置的高度调整。

12、本组件的优点：可以方便调整镀膜腔本体内喷淋板水平度和高度，调整过程操作简单，有效提高了生产效率和产品良率，而且本组件中采用了两种形态的密封圈，一种是截面形状为星形的动密封圈，如第三密封圈和第五密封圈，其余是截面形状为圆形的静密封圈，第三密封圈和第五密封圈与拉杆直接接触，第三密封圈为首道密封，第五密封圈为二道密封，第四密封圈作为第三密封圈的补充，在第三密封圈发生漏气时第四密封圈可以防止气流从旋转轴套和上盖之间泄漏，第六密封圈作为第五密封圈的补充，第五密封圈发生漏气时，第六密封圈可以防止气流从旋转轴套和调节螺母之间泄漏，第一密封圈和第二密封圈为最后一道密封，第一密封圈可以防止外壳与上盖之间发生漏气，第二密封圈可以防止外壳与护罩之间发生漏气。这样本组件在方便调整高度的同时还可以保持密封性能。