一种用于太阳能电池片ALD沉积用铝舟的制作方法

本技术涉及铝舟，尤其是一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟。

背景技术：

1、ald是一种自限性、原子级别薄膜沉积技术，通过交替暴露前体，在基底表面逐层生长薄膜，具有极高的厚度控制精度和膜层均匀性，通常在太阳能电池片加工中广泛应用，铝舟是用于承载太阳能电池片的载件。

2、经检索，公告号为cn221988661u的中国专利公开了一种topcon晶硅太阳能电池片ald铝舟，包括两块相对设置的侧板，两块侧板之间设有上舟齿杆、下舟齿杆和支撑杆，上舟齿杆的两端分别与两块侧板的上部连接，下舟齿杆的两端分别与两块侧板的下部连接，上舟齿杆和下舟齿杆均为带齿的杆状体，两块侧板通过支撑杆相互连接，支撑杆的端部位于侧板两边相接的内角处，位于铝舟上方入口处的支撑杆与其相邻的上舟齿杆的横向距离d≥20mm，侧板的上方设有上舟齿孔，上舟齿杆的端部在上舟齿孔处与侧板固定，上舟齿孔的孔中心与侧板顶部边缘的距离h为12mm～18mm。

3、该专利实际使用时，存在以下缺陷：

4、该专利中，由于为了太阳能电池片设置稳定，一般舟齿杆上齿槽宽度与电池片厚度接近，因此在太阳能电池片放入舟齿杆内时容易导致电池片边缘刮擦受损，从而会导致太阳能电池片不良率增加。

技术实现思路

1、针对现有技术中，在太阳能电池片放入舟齿杆内时容易导致电池片边缘刮擦受损的技术问题，本实用新型提供一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟。

2、本实用新型所采用的技术方案是：一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟，包括：

3、两个基板，两个基板前后相对设置，所述基板上部分等距开设有上安装口，所述基板下部分等距开设有下安装口，所述下安装口位于相邻两上安装口之间中心位置下方；

4、多个托放杆，所述托放杆两端分别固定安装在两个基板的下安装口内；

5、多个舟齿杆，所述舟齿杆两端分别固定安装在两个基板的上安装口内，所述舟齿杆两侧均开设有齿槽，相邻两舟齿杆对应的两齿槽之间用于置放电池片，所述舟齿杆顶部设置有用于对电池片进行固定的点式联动固定组件。

6、进一步的是，所述点式联动固定组件包括控制片及等距安装在控制片两侧的多个固定片，所述舟齿杆顶部中心位置开设有容置槽，所述容置槽由舟齿杆一端贯穿至最后一个齿槽位置，所述齿槽的内壁一侧开设有与容置槽连通的卡槽，所述控制片卡设在容置槽内，所述固定片卡设在卡槽内。

7、进一步的是，所述容置槽的长度大于控制片的长度。

8、进一步的是，所述控制片底部安装有定位条，所述容置槽的内壁上开设有定位槽，所述定位条卡设在定位槽内。

9、进一步的是，所述定位条形状为上窄下宽。

10、进一步的是，位于控制片端部的基板顶部安装有安装折片，所述安装折片上开设有螺孔，所述螺孔内啮合安装有控制螺杆，所述控制螺杆端部通过轴承与控制片连接。

11、本实用新型的有益效果是：

12、本实用新型通过点式联动固定组件能同时对各个电池片两侧进行点式固定，因此能够保证沉积处理时稳定性好，将电池片放入至两侧的齿槽内时电池片两侧外壁不会与齿槽接触摩擦，防止电池片边缘刮擦受损。

1.一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟，其特征在于，所述点式联动固定组件（7）包括控制片（701）及等距安装在控制片（701）两侧的多个固定片（702），所述舟齿杆（5）顶部中心位置开设有容置槽（8），所述容置槽（8）由舟齿杆（5）一端贯穿至最后一个齿槽（6）位置，所述齿槽（6）的内壁一侧开设有与容置槽（8）连通的卡槽（9），所述控制片（701）卡设在容置槽（8）内。

3.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟，其特征在于，所述容置槽（8）的长度大于控制片（701）的长度。

4.根据权利要求2所述的一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟，其特征在于，所述控制片（701）底部安装有定位条（10），所述容置槽（8）的内壁上开设有定位槽（11），所述定位条（10）卡设在定位槽（11）内。

5.根据权利要求4所述的一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟，其特征在于，所述定位条（10）形状为上窄下宽。

6.根据权利要求4所述的一种用于太阳能电池片ald沉积用铝舟，其特征在于，位于控制片（701）端部的基板（1）顶部安装有安装折片（12），所述安装折片（12）上开设有螺孔，所述螺孔内啮合安装有控制螺杆（13），所述控制螺杆（13）端部通过轴承（14）与控制片（701）连接。