一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体为一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机。


背景技术：

2.磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，涂层材料一直保持固态，不形成熔池，在对玻璃进行镀膜时需要用到镀膜机。
3.现有的磁控溅射镀膜机在镀膜的过程中镀膜速度较慢，且在镀膜的过程中不方便对玻璃进行固定，从而不方便进行双面镀膜，工作效率较差。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机，具备可进行双面镀膜的优点，解决了现有的磁控溅射镀膜机在镀膜的过程中镀膜速度较慢，且在镀膜的过程中不方便对玻璃进行固定，从而不方便进行双面镀膜，工作效率较差的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机，包括底座，所述底座的顶部固定连接有密封筒体，所述密封筒体顶部的后侧活动连接有盖板，所述底座顶部中心处的前后两侧且位于密封筒体的内腔均固定连接有加热板，所述加热板顶部的左右两侧均固定连接有蒸发源隔板，所述底座内腔底部的中心处固定连接有电机，所述电机输出端的顶部固定连接有主动齿轮，所述底座顶部的四角且位于密封筒体的内腔均贯穿设置有蒸发源真空电极棒，所述蒸发源真空电极棒的底部贯穿底座的顶部并与底座内腔的底部活动连接，所述蒸发源真空电极棒表面的底部固定套设有与主动齿轮配合使用的从动齿轮，所述蒸发源真空电极棒表面的顶部均固定套设有真空电极连接器，所述底座顶部的中心处且位于蒸发源隔板的上方固定连接有支撑底圈，所述密封筒体内腔两侧的顶部均固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹套设有螺纹筒，所述螺纹筒远离密封筒体内壁的一端固定连接有夹持板，所述夹持板远离螺纹筒的一端固定连接有触点，所述底座的前侧分别固定安装有进气阀和出气阀，所述底座的前侧固定连接有控制面板。
6.优选的，所述盖板前侧的边缘处固定连接有密封胶圈，所述盖板的底部与密封筒体顶部的后侧之间通过转轴活动连接。
7.优选的，所述蒸发源真空电极棒的底部与底座内腔的底部之间通过轴承活动连接，所述底座的顶部且位于密封筒体的内腔开设有真空接口。
8.优选的，所述支撑底圈的顶部开设有放置槽，所述螺纹筒的表面固定套设有转柄，所述底座的后侧连通有真空泵进口。
9.优选的，所述盖板前侧的中心处固定连接有温度传感器，所述底座前侧的右上角固定连接有压力表，所述温度传感器的输出端与压力表的输入端单向电性连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
11.1、本实用新型通过加热板、蒸发源隔板、真空电极连接器、蒸发源真空电极棒、密
封筒体、支撑底圈、电机、主动齿轮、从动齿轮、螺纹筒、螺纹杆、夹持板和触点的配合使用，具备可进行双面镀膜的优点，解决了现有的磁控溅射镀膜机在镀膜的过程中镀膜速度较慢，且在镀膜的过程中不方便对玻璃进行固定，从而不方便进行双面镀膜，工作效率较差的问题。
12.2、本实用新型通过进气阀的使用，能够方便向底座内充气，通过排气阀的使用，能够方便将底座内部的气体排出，通过控制面板的使用，能够控制镀膜机工作，通过压力表的使用，能够对密封筒体内部的压力进行显示。
附图说明
13.图1为本实用新型立体结构图；
14.图2为本实用新型主动齿轮与从动齿轮配合立体结构图；
15.图3为本实用新型螺纹杆与螺纹筒配合立体结构图。
16.图中：1底座、2加热板、3进气阀、4出气阀、5控制面板、6压力表、7蒸发源隔板、8真空电极连接器、9蒸发源真空电极棒、10温度传感器、11盖板、12密封筒体、13支撑底圈、14电机、15主动齿轮、16从动齿轮、17螺纹筒、18螺纹杆、19转柄、20夹持板、21触点。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
19.在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
20.请参阅图1-3，一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机，包括底座1，底座1的顶部固定连接有密封筒体12，密封筒体12顶部的后侧活动连接有盖板11，底座1顶部中心处的前后两侧且位于密封筒体12的内腔均固定连接有加热板2，加热板2顶部的左右两侧均固定连接有蒸发源隔板7，底座1内腔底部的中心处固定连接有电机14，电机14输出端的顶部固定连接有主动齿轮15，底座1顶部的四角且位于密封筒体12的内腔均贯穿设置有蒸发源真空电极棒9，蒸发源真空电极棒9的底部贯穿底座1的顶部并与底座1内腔的底部活动连接，蒸发源真空电极棒9表面的底部固定套设有与主动齿轮15配合使用的从动齿轮16，蒸发源真空电极棒9表面的顶部均固定套设有真空电极连接器8，底座1顶部的中心处且位于蒸发源隔板7
的上方固定连接有支撑底圈13，密封筒体12内腔两侧的顶部均固定连接有螺纹杆18，螺纹杆18的表面螺纹套设有螺纹筒17，通过螺纹杆18和螺纹筒17的使用，能够方便带动夹持板20移动，从而能够使其夹持不同厚度的玻璃板，螺纹筒17远离密封筒体12内壁的一端固定连接有夹持板20，夹持板20远离螺纹筒17的一端固定连接有触点21，通过触点21的使用，能够方便使夹持板20对玻璃板进行夹持，且避免其对玻璃板进行遮挡，底座1的前侧分别固定安装有进气阀3和出气阀4，通过进气阀3的使用，能够方便向底座1内充气，通过排气阀4的使用，能够方便将底座1内部的气体排出，底座1的前侧固定连接有控制面板5，通过控制面板5的使用，能够控制镀膜机工作；
21.盖板11前侧的边缘处固定连接有密封胶圈，盖板11的底部与密封筒体12顶部的后侧之间通过转轴活动连接；
22.蒸发源真空电极棒9的底部与底座1内腔的底部之间通过轴承活动连接，底座1的顶部且位于密封筒体12的内腔开设有真空接口；
23.支撑底圈13的顶部开设有放置槽，螺纹筒17的表面固定套设有转柄19，通过转柄19的使用，能够方便转动螺纹筒17，底座1的后侧连通有真空泵进口；
24.盖板11前侧的中心处固定连接有温度传感器10，通过温度传感器10的使用，能够对密封筒体12内部的压力进行检测，底座1前侧的右上角固定连接有压力表6，通过压力表6的使用，能够对密封筒体12内部的压力进行显示，温度传感器10的输出端与压力表6的输入端单向电性连接。
25.使用时，将玻璃板放置于支撑底圈13顶部的放置槽内，然后转动转柄19，从而带动螺纹筒17转动，在螺纹杆18的作用下，使其带动夹持板20移动，直至夹持板20上的触点21与玻璃板接触，达到夹持效果，然后盖上盖板11，启动电机14，通过电机14输出端带动主动齿轮15转动，并通过其与从动齿轮16啮合而带动蒸发源真空电极棒9转动，从而带动真空电极连接器8转动，提高阴极溅射的效果，通过真空泵进口连接真空泵，将密封筒体12内部气体通过真空接口抽出，使其内部达到真空，通过连接进气阀3并充入带有氩离子的气体，将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材，产生阴极溅射，把靶材原子溅射到玻璃板上形成沉积层，通过加热板2进行加热，使其快速成膜，达到镀膜效果。
26.综上所述：该玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机，通过加热板2、蒸发源隔板7、真空电极连接器8、蒸发源真空电极棒9、密封筒体12、支撑底圈13、电机14、主动齿轮15、从动齿轮16、螺纹筒17、螺纹杆18、夹持板20和触点21的配合使用，解决了现有的磁控溅射镀膜机在镀膜的过程中镀膜速度较慢，且在镀膜的过程中不方便对玻璃进行固定，从而不方便进行双面镀膜，工作效率较差的问题。
27.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。