一种冷却水与切割液的温控系统及温控方法与流程

技术特征：
1.一种冷却水与切割液的温控系统，其特征在于，包括：冷却水单元，包括泵体（1）、冷却模块（2）和冷却水管路（3），所述泵体（1）与所述冷却模块（2）均设置于所述冷却水管路（3）上，所述冷却水管路（3）被配置为向减薄机的主轴（100）提供冷却水；切割液单元，包括切割液管路（7），所述切割液管路（7）被配置为向所述主轴（100）与晶圆的磨削位置提供切割液；换热单元，包括换热管路（10）、开关模块（11）和换热模块（12），所述换热管路（10）的两端能够与所述冷却水管路（3）连通，所述换热管路（10）的一端位于所述冷却模块（2）的下游位置且另一端位于所述泵体（1）的上游位置；所述开关模块（11）设置于所述换热管路（10）上，所述换热模块（12）设置于所述换热管路（10）与所述切割液管路（7）之间；当所述开关模块（11）打开时，所述冷却水管路（3）的部分冷却水能够进入所述换热管路（10）内并通过所述换热模块（12）冷却所述切割液管路（7）内的切割液。2.根据权利要求1所述的冷却水与切割液的温控系统，其特征在于，所述冷却模块（2）至少包括一级冷却器（21）和二级冷却器（22），所述一级冷却器（21）与所述二级冷却器（22）沿冷却水的流动方向依次设置于所述冷却水管路（3）中；当所述泵体（1）开启时，所述一级冷却器（21）同步开启，所述二级冷却器（22）可选择性地打开或关闭。3.根据权利要求1所述的冷却水与切割液的温控系统，其特征在于，所述冷却水单元还包括：第一加热器（4），设置于所述冷却水管路（3）中并位于所述冷却模块（2）的下游位置；所述第一加热器（4）被配置为打开时能够加热所述冷却水管路（3）内的冷却水。4.根据权利要求1所述的冷却水与切割液的温控系统，其特征在于，所述切割液单元还包括：第二加热器（9），设置于所述切割液管路（7）中并位于所述换热模块（12）的下游位置；所述第二加热器（9）被配置为打开时能够加热所述切割液管路（7）内的切割液。5.一种冷却水与切割液的温控方法，用于权利要求1～4中任一项所述冷却水与切割液的温控系统的冷却水与切割液的温度控制，其特征在于，所述冷却水与切割液的温控方法包括如下步骤：所述泵体（1）与所述冷却模块（2）开启，所述冷却水管路（3）向所述主轴（100）提供冷却水；所述切割液管路（7）向所述主轴（100）与晶圆的磨削位置提供切割液；当所述切割液管路（7）内的切割液的初始温度t4大于切割液的设定温度ts2时，所述开关模块（11）打开，所述冷却水管路（3）的部分冷却水进入所述换热管路（10）内并通过所述换热模块（12）冷却所述切割液管路（7）内的切割液；当t4小于等于ts2时，所述开关模块（11）关闭。6.根据权利要求5所述的冷却水与切割液的温控方法，其特征在于，所述切割液的温控精度为
±
t2，切割液经过所述换热模块（12）后的温度为t5；当t5＞ts2 t2时，增加所述泵体（1）的功率，以增加进入所述换热管路（10）内冷却水的流量；当t5＜ts2-t2时，降低所述泵体（1）的功率，以降低进入所述换热管路（10）内冷却水的
流量；当ts2-t2≤t5≤ts2 t2时，所述泵体（1）的功率保持不变。7.根据权利要求6所述的冷却水与切割液的温控方法，其特征在于，切割液经过所述切割液管路（7）中第二加热器（9）后的温度为t6；当t6≥ts2-t2时，所述第二加热器（9）保持关闭；当t6＜ts2-t2时，所述第二加热器（9）开启。8.根据权利要求5所述的冷却水与切割液的温控方法，其特征在于，冷却水的设定温度为ts1，冷却水的温控精度为
±
t1，所述冷却模块（2）中的一级冷却器（21）保持开启，冷却水经过所述一级冷却器（21）后的温度为t1；当t1＞ts1 t1时，所述冷却模块（2）中的二级冷却器（22）开启；当t1≤ts1 t1时，所述二级冷却器（22）保持关闭。9.根据权利要求8所述的冷却水与切割液的温控方法，其特征在于，当所述二级冷却器（22）开启后，冷却水经过所述二级冷却器（22）后的温度为t2；当t2＞ts1 t1时，增加所述二级冷却器（22）的功率；当t2＜ts1-t1时，降低所述二级冷却器（22）的功率；当ts1-t1≤t2≤ts1 t1时，所述二级冷却器（22）的功率保持不变。10.根据权利要求8所述的冷却水与切割液的温控方法，其特征在于，冷却水经过所述冷却水管路（3）中的第一加热器（4）后的温度为t3；当t3≥ts1-t1时，所述第一加热器（4）保持关闭；当t3＜ts1-t1时，所述第一加热器（4）开启。

技术总结
本发明涉及集成电路封装设备技术领域，尤其涉及一种冷却水与切割液的温控系统及温控方法。冷却水与切割液的温控系统采用冷却水与切割液的温控方法实现了冷却水与切割液的温度控制。泵体与冷却模块开启，冷却水管路向主轴提供冷却水；切割液管路向主轴与晶圆的磨削位置提供切割液。当切割液管路内的切割液的初始温度T4大于切割液的设定温度Ts2时，开关模块打开，冷却水管路的部分冷却水进入换热管路内并通过换热模块冷却切割液管路内的切割液。当T4小于等于Ts2时，开关模块关闭。通过冷却水对切割液进行冷却降温，实现了冷却水温度与切割液温度的协同控制，简化了冷却水与切割液的温控系统的结构，实现了节能降耗。实现了节能降耗。实现了节能降耗。


技术研发人员：孙志超 张天华 黄章璋 王强 葛凡
受保护的技术使用者：江苏京创先进电子科技有限公司
技术研发日：2022.07.26
技术公布日：2022/8/26