蒸发源的制作方法

蒸发源
【技术领域】
1.本技术涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸发源。


背景技术：

2.为了满足有机电致发光显示器(oled，organic electroluminescence display)的高分辨率显示及大尺寸设计等需求，需要更高质量的蒸发源对基材进行蒸镀；但是现有的蒸发源的蒸发源的蒸镀质量差，从而导致制备的oled良率低、产品质量差等问题；此外，现有的蒸发源设备维修成本高，增加了面板厂商的生产成本。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本技术实施例提供了一种蒸发源，用以解决现有技术中存在的现有蒸镀技术蒸镀出的基材质量无法满足oled高分辨率显示及大尺寸设计等需求的技术问题。
4.第一方面，本技术实施例提供了一种蒸发源，包括喷嘴、容器和固定装置，所述容器固定在所述固定装置中，所述容器用于容纳蒸镀材料，所述蒸镀材料沿第一方向自所述容器内升华至所述喷嘴；所述容器具有第一腔体和第二腔体，所述第一腔体与所述第二腔体在所述第一方向上互相连接且互相连通，所述第一腔体和所述第二腔体均沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸；沿与所述第一方向和所述第二方向均垂直的第三方向，所述第一腔体的最大内径小于所述第二腔体的最大内径。
5.通过本实施例提供的方案，蒸镀材料有更大的蒸发空间和蒸发面积，在蒸镀材料经过蒸发升华之后，第一腔体更小的体积就更利于将蒸气集聚至喷嘴从而喷射出去。
6.可选地，所述第一腔体的最大内径为所述第一腔体与所述第二腔体的连通处的内径；自所述第一腔体与所述第二腔体的连通处沿与所述第一方向相反的方向，所述第二腔体的内径逐渐增大至所述第二腔体的最大内径；自所述第二腔体远离所述第一腔体的底部沿所述第一方向，所述第二腔体的内径逐渐增大至所述第二腔体的最大内径。
7.通过本实施例提供的方案，能够增大蒸镀材料的蒸发面积，有效地避免蒸镀材料在蒸镀过程中出现孤岛效应，提高了蒸镀材料的升华面积，从而保证了蒸镀材料的蒸镀效率。
8.可选地，所述第一腔体为以垂直于所述第二方向的长方形截面沿所述第二方向延伸而成的长方体，所述第二腔体为以垂直于所述第二方向的圆形截面沿所述第二方向延伸而成的圆柱体。
9.通过本实施例提供的方案，使蒸镀材料的蒸发面积最大化，使蒸镀材料的蒸气的升华面积更大的同时进入喷嘴的效率更高，并能够更好地将容器固定在固定装置内。
10.可选地，所述第一腔体上布置有多个安装孔，所述多个安装孔沿所述第二方向排布，所述喷嘴安装在所述安装孔中。
11.通过本实施例提供的方案，方便喷嘴的安装和拆卸，也使喷嘴在安装在第一腔体上时不会受外界和工作环境的影响而发生移动。
12.可选地，所述固定装置包括底板、顶板、外壳和两个挡板，所述底板、所述顶板和所述外壳均沿所述第二方向延伸，所述顶板可拆卸地连接在所述外壳沿所述第一方向的顶部，所述底板可拆卸地连接在所述外壳沿所述第一方向的底部，所述两个挡板分别可拆卸地连接在所述外壳沿所述第二方向的两个侧部并将所述外壳的两个侧部封闭；所述顶板、所述外壳、所述底板以及两个所述挡板将所述容器包围在内。
13.通过本实施例提供的方案，能够根据实际工作环境的需求制作符合条件的形状的固定装置，且固定装置便于拆卸和更换，降低了生产成本，提高了容器的加热效率和温控的均匀性。
14.可选地，所述两个挡板与所述顶板之间和/或所述两个挡板与所述底板之间均通过螺栓连接或者卡扣连接。
15.通过本实施例提供的方案，从而使拆卸时操作更方便，组合时结构更牢固。
16.可选地，所述顶板上设有安装槽，所述安装槽沿所述第二方向延伸，所述第一腔体固定在所述安装槽中。
17.通过本实施例提供的方案，顶板和第一腔体在工作过程中的牢固性得到了保障，用户在拆卸过程中也能够快速、方便地将顶板和第一腔体分离，提高了用户的维护效率。
18.可选地，所述底板朝向所述容器的内表面上设有多个支撑台，多个所述支撑台沿所述第二方向排布于所述底板上；所述支撑台朝向所述容器的表面具有固定槽，所述固定槽沿所述第二方向延伸，在所述第二方向上，所述固定槽的截面形状与所述容器的截面形状相匹配。
19.通过本实施例提供的方案，在蒸镀过程中能使得容器能够完全卡在固定槽中，容器不会发生位移，保证了蒸镀过程工作环境的稳定。
20.可选地，所述固定槽中设有防滑纹，相邻的两个固定槽中的所述防滑纹的延伸方向不同。
21.通过本实施例提供的方案，能够在各个方向上为容器提供摩擦力，容器在各个方向上均不会发生位移，从而实现容器更好的固定效果。
22.可选地，所述外壳包括两个壳体，在所述第三方向上，所述两个壳体分别连接在所述顶板的两侧和所述底板的两侧并位于所述容器的两侧。
23.通过本实施例提供的方案，便于用户在维护过程中快速拆卸外壳。
24.可选地，所述壳体朝向所述容器的内壁安装有加热件，所述加热件沿所述第二方向延伸，所述加热件与所述容器之间具有间隙，在所述第三方向上所述间隙的最小宽度大于所述加热件的最大宽度。
25.通过本实施例提供的方案，从而实现对容器辐射加热，提高了容器的加热效率。
26.可选地，所述壳体背向所述容器的外壁安装有冷却管，所述冷却管沿所述第二方向分布。
27.通过本实施例提供的方案，提高容器的冷却效率，最终实现对容器内温度的均匀控制。
28.本技术实施例所公开的蒸发源，能够提高了蒸镀材料的蒸发面积，同时有效的避免了蒸镀过程中孤岛效应的出现，便于拆卸和维修，避免对部件进行整体更换，降低生产过程中的维修成本。
【附图说明】
29.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
30.图1是本技术实施例所公开的蒸发源的截面示意图；
31.图2是本技术实施例所公开的蒸发源中容器的截面示意图；
32.图3是本技术实施例所公开的蒸发源的顶面示意图；
33.图4是本技术实施例所公开的蒸发源中固定装置的侧面示意图；
34.图5是本技术实施例所公开的蒸发源中底板的侧面示意图；
35.图6是本技术实施例所公开的蒸发源中支撑台的截面示意图；
36.图7是本技术实施例所公开的蒸发源中底板的顶面示意图；
37.图8是本技术实施例所公开的蒸发源中外壳的截面示意图；
38.图9是本技术实施例所公开的蒸发源中加热件从图1中a方向的侧面示意图；
39.图10是本技术实施例所公开的蒸发源中冷却管从图1中b方向的侧面示意图。
40.附图标记：
41.1-喷嘴；2-容器；21-第一腔体；22-第二腔体；23-连通处；24-第二腔体的底部；25-安装孔；3-固定装置；31-顶板；32-底板；33-外壳；34-挡板；35-安装槽；36-支撑台；37-固定槽；38-防滑纹；39-壳体；4-蒸镀材料；5-加热件；6-冷却管；d1-第一方向；d2-第二方向；d3-第三方向；s1max-第一腔体的最大内径；s2max-第二腔体的最大内径。
【具体实施方式】
42.为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
43.应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
44.在本技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。在本技术实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。
45.应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，a和/或b，可以表示：单独存在a，同时存在a和b，单独存在b这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
46.应当理解，尽管在本技术实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述诸如方向，但这些方向不应限于这些术语。这些术语仅用来将各个反向彼此区分开。例如，在不脱离本技术实施例范围的情况下，第一方向也可以被称为第二方向，类似地，第二方向也可以被称为第一方向。
47.应当理解，本文所示出的附图中第一方向、第二方向和第三方向所指的方向即为纸面中箭头所指的方向，其中，
“×”
表示的方向为垂直于纸面朝远离主视视线射出的方向，“·”表示的方向为垂直于纸面朝正对主视视线射入的方向。
48.本技术实施例公开了一种蒸发源，用于通过增大加热面积和蒸发面积提高蒸发效率，并通过可拆卸的固定装置，便于对蒸发源的零部件进行维修和更换，降低生产成本。
49.参见图1，本实施例的蒸发源包括喷嘴1、容器2、固定装置3、加热件5和冷却管6，喷嘴1安装在容器2上，容器2固定在固定装置3内，加热件5和冷却管6安装在固定装置3上，加热件5位于固定装置3和容器2之间，冷却管6位于固定装置3外。
50.具体来说，该容器2为坩埚，蒸镀材料4为有机材料，固定装置3为可拆卸装置，容器2用于容纳蒸镀材料4，蒸镀材料4在容器2内蒸发后沿第一方向d1自容器2升华至喷嘴1，最终通过喷嘴1喷出。加热件5用于对容器2进行辐射加热，冷却管6用于对容器2进行冷却。
51.参见图2，该容器2具有第一腔体21和第二腔体22，第一腔体21与第二腔体22在第一方向d1上互相连接且互相连通，第一腔体21和第二腔体22均沿与第一方向d1垂直的第二方向d2延伸；沿与第一方向d1和第二方向d2均垂直的第三方向d3，第一腔体21的最大内径s1max小于第二腔体22的最大内径s2max。蒸镀材料4容纳在第二腔体22内，由于第二腔体22的体积大于第一腔体21，所以蒸镀材料4有更大的蒸发空间和蒸发面积，在蒸镀材料4经过蒸发升华之后，第一腔体21更小的体积就更利于将蒸气集聚至喷嘴1从而喷射出去。进一步地，第一腔体21的最大内径s1max为第一腔体21与第二腔体22的连通处23的内径，且自第一腔体21与第二腔体22的连通处23沿与第一方向d1相反的方向，第二腔体22的内径逐渐增大至第二腔体22的最大内径s2max，自第二腔体22远离第一腔体21的底部沿第一方向d1，第二腔体22的内径逐渐增大至第二腔体22的最大内径s2max。也就是说，在连通处23，蒸镀材料4蒸发升华后的蒸气进入第一腔体21，由于第一腔体21的最大内径s1max即在连通处23，所以蒸镀材料4的蒸气在进入第一腔体21后只会聚集而不会扩散，因此在蒸镀材料4的蒸气基本都能够从喷嘴1中喷出，不会滞留在第一腔体21内。而第二腔体22的结构，是呈两头小中间大的壶状，这样的壶状结构一方面能够增大蒸镀材料4的蒸发面积，有效地避免蒸镀材料4在蒸镀过程中出现孤岛效应，另一方面提高了蒸镀材料4的升华面积，从而保证了蒸镀材料4的蒸镀效率。从沿第一方向d1纵切的截面来看，第一腔体21为以垂直于第二方向d2的长方形截面沿第二方向d2延伸而成的长方体，第二腔体22为以垂直于第二方向d2的圆形截面沿第二方向d2延伸而成的圆柱体。将第一腔体21设计为长方体，一方面是为了使蒸镀材料4的蒸气的升华面积更大的同时进入喷嘴1的效率更高，另一方面是为了能够更好地将容器2固定在固定装置3内，将第二腔体22设计为圆形则是为了使蒸镀材料4的蒸发面积最大化。
52.参见图2和图3，第一腔体21上布置有多个安装孔25，多个安装孔25沿第二方向d2排布，喷嘴1安装在安装孔25中，方便喷嘴1的安装和拆卸，也使喷嘴1在安装在第一腔体21上时不会受外界和工作环境的影响而发生移动。
53.参见图1和图4，固定装置3包括底板32、顶板31、外壳33和两个挡板34，底板32、顶板31和外壳33均沿第二方向d2延伸，顶板31可拆卸地连接在外壳33沿第一方向d1的顶部，底板32可拆卸地连接在外壳33沿第一方向d1的底部，两个挡板34分别可拆卸地连接在外壳33沿第二方向d2的两个侧部并将外壳33的两个侧部封闭；顶板31、外壳33、底板32以及两个挡板34将容器2包围在内。将固定装置3设计成多个部件组成的可拆卸的结构，一方面能够根据实际工作环境的需求制作符合条件的形状的固定装置3，另一方面该固定装置3便于拆卸和更换，降低了生产成本，提高了容器2的加热效率和温控的均匀性。进一步地，两个挡板34与顶板31之间，两个挡板34与地板之间均可通过螺栓连接或者卡扣连接，从而使拆卸时
操作更方便，组合时结构更牢固。
54.参见图1和图3，顶板31上设有安装槽35，安装槽35沿第二方向d2延伸，第一腔体21固定在安装槽35中。顶板31和第一腔体21之间既可以通过螺丝、卡扣件、焊接件等固定在一起，也可以通过过盈配合直接将第一腔体21卡在安装槽35中。一方面，顶板31和第一腔体21在工作过程中的牢固性得到了保障，另一方面，用户在拆卸过程中也能够快速、方便地将顶板31和第一腔体21分离，提高了用户的维护效率。
55.参见图1、图5和图6，底板32朝向容器2的内表面上设有多个支撑台36，多个支撑台36沿第二方向d2排布于底板32上，支撑台36朝向容器2的表面具有固定槽37，固定槽37沿第二方向d2延伸，在第二方向d2上，固定槽37的截面形状与容器2的截面形状相匹配。由于容器2的外形通常为了提升蒸镀材料4的蒸镀效率会设计成各种形状，所以底板32上的多个支撑台36就是为了起到将容器2支撑和固定的作用，有了这些支撑台36，在蒸镀过程中，容器2就不会发生位移，保证了蒸镀过程工作环境的稳定。且为了保证容器2的各个部位受力均匀，支撑台36之间的间距也是相同的。固定槽37的形状与容器2中第二腔体22的底部24的形状基本完全匹配，能使得容器2能够完全卡在固定槽37中，例如，第二腔体22的底部24若为圆弧形，固定槽37的形状也为圆弧形，第二腔体22的底部24若为具有凹口的底面，则固定槽37的形状也相应地设置一个与凹口尺寸相当的凸起。
56.参见图7，在支撑台36的固定槽37中设有防滑纹38，相邻的两个固定槽37中的防滑纹38的延伸方向不同。为了能够在各个方向上为容器2提供摩擦力，故相邻两个支撑台36的固定槽37的防滑纹38设计成不同的花纹，其延伸方向各不相同，例如图7中朝不同方向延伸的斜纹、网格纹、横纹和竖纹等，这样容器2在各个方向上均不会发生位移，从而实现容器2更好的固定效果。
57.参见图8，外壳33包括两个壳体39，在第三方向d3上，两个壳体39分别连接在顶板31的两侧和底板32的两侧并位于容器2的两侧。本实施例中，外壳33的形状与容器2相似，从外形上看，容器2为下圆柱体上长方体的壶状，外壳33为套筒形状，外壳33套在容器2外，保护容器2的同时给容器2提供固定。该外壳33为分体式结构，即为两个圆弧形状的壳体39，便于用户在维护过程中快速拆卸外壳33。该两个壳体39大小相同，为瓦片状，在安装的过程中，壳体39沿第一方向d1的两侧固定连接在顶板31和底板32的两侧，同时壳体39沿第二方向d2的两端固定连接两个挡板34，从而顶板31、底板32、两个挡板34和两个壳体39共同形成一个封闭的用于固定容器2的内腔，保证蒸镀过程中的工作环境不受外界影响。
58.参见图1和图9，壳体39朝向容器2的内壁安装有加热件5，加热件5沿第二方向d2延伸，加热件5沿壳体39的内壁呈弧形，通过与加热件5的形状和结构相匹配的弧形槽或弧形件安装固定在壳体39的内壁。加热件5用于加热容器2，加热件5与容器2之间具有间隙，在第三方向d3上间隙的最小宽度大于加热件5的最大宽度，从而实现对容器2辐射加热，提高了容器2的加热效率。
59.参见图1和图10，壳体39背向容器2的外壁安装有冷却管6，冷却管6沿第二方向d2分布。从第二方向d2看，冷却管6的截面呈弧形，从第三方向d3看，冷却管6的排布形状呈弧形。冷却管6用于提高容器2的冷却效率，最终实现对容器2内温度的均匀控制。
60.本技术实施例所公开的蒸发源，能够提高了蒸镀材料的蒸发面积，同时有效的避免了蒸镀过程中孤岛效应的出现，便于拆卸和维修，避免对部件进行整体更换，降低生产过
程中的维修成本。
61.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。