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一种石英晶体谐振器真空镀膜装置的制作方法

2022-05-26 08:33:01 来源:中国专利 TAG:

技术特征:
1.一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,包括装置本体(2),其特征在于:所述装置本体(2)内部底端的两侧分别设置有滑槽(1),所述装置本体(2)内部的底端设置有活动台(3),所述活动台(3)的顶端设置有转盘(4),所述转盘(4)的顶端设置有放置盘(5),所述装置本体(2)的顶端设置有镀膜料扩散泵箱(6),所述装置本体(2)内部的顶端固定有镀膜料发射头(7),所述装置本体(2)的一侧固定有真空泵(9),所述装置本体(2)底端的四个拐角处分别固定有底脚(11),所述活动台(3)顶端的内部设置有内槽(14)。2.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,其特征在于:所述活动台(3)底部两侧的后端分别固定有滑块(12),所述活动台(3)一端底部的两侧分别固定有抽拉手(13),所述活动台(3)前端中间位置处的内部设置有预留槽(16),所述预留槽(16)内部的顶端固定有压缩弹簧(15),所述压缩弹簧(15)的底端固定有锁杆(19),所述装置本体(2)顶部前端的内部设置有锁槽(18),所述活动台(3)一端底部的中间位置处设置有手柄(17),所述手柄(17)的后端贯穿活动台(3)的前端并与锁杆(19)的前端之间固定连接。3.根据权利要求2所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,其特征在于:所述滑块(12)分别嵌在滑槽(1)的内部,所述锁杆(19)的底端贯穿活动台(3)的底端,所述锁杆(19)的外径小于锁槽(18)的内径。4.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,其特征在于:所述转盘(4)底端的中间位置处固定有承载座(20),所述转盘(4)的底端固定有环形齿圈(21),所述活动台(3)顶端一侧的内部固定有伺服电机(23),所述伺服电机(23)的输出轴固定有驱动齿轮(22),所述驱动齿轮(22)与环形齿圈(21)之间相互啮合,所述内槽(14)内部的底端和承载座(20)的底端之间活动连接。5.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,其特征在于:所述放置盘(5)的底端固定有卡条(8),所述放置盘(5)顶端的内部设置有多组插孔(24),所述转盘(4)的顶端的内部环形等间距设置有多组卡槽(10)。6.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,其特征在于:所述放置盘(5)的外部形状为扇形,所述放置盘(5)在转盘(4)的顶端环形等间距设置有多组。

技术总结
本实用新型公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜装置,包括装置本体,所述装置本体内部底端的两侧分别设置有滑槽,所述装置本体内部的底端设置有活动台,所述活动台的顶端设置有转盘。该石英晶体谐振器真空镀膜装置通过镀膜装置在使用的过程中可以通过在转盘的顶部分别将扇形的放置盘利用底端固定的卡条从转盘顶端内部的卡槽中进行滑出取下后,对放置盘上进行石英晶体谐振器的取放,同时设置的多组放置盘之间分别为单独个体,每组放置盘上可以分隔单独放置不同型号的石英晶体谐振器在安装至进入装置本体的内部进行镀膜加工,解决了不便于对不同型号的石英晶体谐振器在装置内部进行分隔放置的问题。进行分隔放置的问题。进行分隔放置的问题。


技术研发人员:杨道松
受保护的技术使用者:郴州慧虹科技有限公司
技术研发日:2021.12.28
技术公布日:2022/5/25
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