一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置的制作方法

1.本实用新型涉及电子束蒸发台技术领域，具体涉及一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置。


背景技术：

2.金属化是半导体芯片制造过程中在绝缘介质薄膜上沉积金属薄膜以及随后刻印图形以便形成金属互连金属线和集成电路的孔填充塞的过程，半导体制造设备电子束蒸发台是将待蒸发的材料放置进坩埚，在真空系统中用电子束加热并使其蒸发，撞击到硅片表面凝结形成金属薄膜，而观察窗的主要作用是在蒸发台做工艺产品时，用来观察工艺腔体内高压电子束打在坩埚内材料上的状态，金属源熔化的状态以及样片旋转的状态等。
3.现有技术存在以下不足：良好的观察窗设计，可以减少反射镜片的保养，使观察界面清晰，但是现有的观察窗大多为固定式结构，不管是安装还是拆卸都较为麻烦，而且用于观察窗的调节器大多操作麻烦，在使用时需要不断调整反射镜片的角度与位置，费时费力。
4.因此，提供一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置很有必要。


技术实现要素：

5.为此，本实用新型提供一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置，通过设置调节机构，以解决上述背景技术中提到的问题。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置，包括遮板，所述遮板中部表面开设有通槽，所述通槽内顶部设有上支架，所述通槽内底部设有下支架，所述遮板底部一侧固定嵌设有壳体，所述壳体内设有调节机构；
7.所述调节机构包括转杆与蜗杆，所述转杆贯穿壳体一端且与壳体转动连接，所述转杆位于壳体外的一端固定连接有调节钮，所述转杆位于壳体内的一端固定连接有第一锥齿轮，所述壳体内部两侧均固定连接有支撑板，两个所述支撑板一侧均固定嵌设有第一轴承，所述蜗杆两端分别与两个第一轴承内圈固定连接，所述蜗杆一端固定连接有连接杆，所述连接杆远离蜗杆一端固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接，所述蜗杆底部设有齿轮，所述齿轮与蜗杆啮合连接，所述齿轮一侧设有齿条，所述齿条与齿轮啮合连接。
8.优选的，所述遮板整体为圆形，所述通槽为矩形。
9.优选的，所述壳体一端固定嵌设有第二轴承，所述第二轴承内圈固定连接有支杆，所述支杆一端与齿轮中部固定连接。
10.优选的，所述壳体内部一端固定连接有导向块，所述导向块一侧表面开设有导向槽，所述导向槽内设有滑块，所述滑块通过导向槽与导向块滑动连接。
11.优选的，所述滑块与导向槽均为t字形，所述滑块一端与齿条一侧固定连接。
12.优选的，所述遮板顶部两侧均固定连接有支脚，两个所述支脚呈对称设置。
13.优选的，所述下支架两侧表面均开设有调整槽，两个所述调整槽内均设有活动销。
14.优选的，所述壳体一侧表面开设有活动槽，其中另一个所述活动销通过活动槽与壳体滑动连接。
15.优选的，所述齿条顶部一端表面开设有销孔，其中另一个所述活动销通过销孔与齿条插接。
16.本实用新型的有益效果是：
17.1、本实用新型通过设置调节机构，使用者可以旋转调节钮，带动转杆与第一锥齿轮旋转，从而带动第二锥齿轮与连接杆旋转，同时带动蜗杆旋转，蜗杆带动传动齿轮旋转，推动齿条上升，从而通过活动销带动下支架进行上升，进行高度调节，结构合理，操作快捷简单，有效解决了现有用于观察窗的调节器大多操作麻烦，在使用时需要不断调整反射镜片的角度与位置，费时费力的问题。
18.2、本实用新型通过设置两个螺栓与两个活动销，可以分别将上支架与下支架进行固定，同时通过设置调节槽与调整槽，为上支架与下支架提供了角度调整的空间，为有效解决了现有的观察窗大多为固定式结构，不管是安装还是拆卸都较为麻烦的问题。
附图说明
19.图1为本实用新型提供的整体结构示意图；
20.图2为本实用新型提供的壳体内部剖视图；
21.图3为本实用新型提供的调节机构的爆炸图；
22.图4为本实用新型提供的支撑块的结构示意图；
23.图中：1、遮板；2、通槽；3、上支架；4、下支架；5、壳体；6、转杆；7、蜗杆；8、调节钮；9、第一锥齿轮；10、支撑板；11、连接杆；12、第二锥齿轮；13、传动齿轮；14、齿条；15、支杆；16、导向块；17、滑块；18、支脚； 19、调节槽；20、螺栓；21、调整槽；22、活动销；23、支撑块；24、活动槽。
具体实施方式
24.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
25.参照附图1-4，本实用新型提供的一种电子束蒸发观察窗镜片支架装置，包括遮板1，所述遮板1中部表面开设有通槽2，所述通槽2内顶部设有上支架3，所述通槽2内底部设有下支架4，所述遮板1底部一侧固定嵌设有壳体5，所述壳体5内设有调节机构；
26.所述调节机构包括转杆6与蜗杆7，所述转杆6贯穿壳体5一端且与壳体5 转动连接，所述转杆6位于壳体5外的一端固定连接有调节钮8，所述转杆6位于壳体5内的一端固定连接有第一锥齿轮9，所述壳体5内部两侧均固定连接有支撑板10，两个所述支撑板10一侧均固定嵌设有第一轴承，所述蜗杆7两端分别与两个第一轴承内圈固定连接，所述蜗杆7一端固定连接有连接杆11，所述连接杆11远离蜗杆7一端固定连接有第二锥齿轮12，所述第二锥齿轮12与第一锥齿轮9啮合连接，所述蜗杆7底部设有传动齿轮13，所述传动齿轮13与蜗杆7啮合连接，所述传动齿轮13一侧设有齿条14，所述齿条14与传动齿轮13 啮合连接；
27.进一步地，所述遮板1整体为圆形，所述通槽2为矩形；
28.进一步地，所述壳体5一端固定嵌设有第二轴承，所述第二轴承内圈固定连接有支
杆15，所述支杆15一端与传动齿轮13中部固定连接，第二轴承与支杆15为传动齿轮13提供旋转支撑；
29.进一步地，所述壳体5内部一端固定连接有导向块16，所述导向块16一侧表面开设有导向槽，所述导向槽内设有滑块17，所述滑块17通过导向槽与导向块16滑动连接，通过滑块17与导向槽，可以使得齿条14的运动方向不会偏移，同时对齿条14起到一定的支撑作用；
30.进一步地，所述滑块17与导向槽均为t字形，所述滑块17一端与齿条14 一侧固定连接；
31.进一步地，所述遮板1顶部两侧均固定连接有支脚18，两个所述支脚18呈对称设置，通过支脚18可以方便遮板1的安装；
32.进一步地，所述上支架3两侧表面均开设有调节槽19，两个所述调节槽19 内均设有螺栓20，所述通槽2顶部两侧均设有螺孔，两个所述螺栓20分别通过两个螺孔与遮板1螺纹连接，通过两个螺栓20可以将上支架3固定，且方便拆卸；
33.进一步地，所述下支架4两侧表面均开设有调整槽21，两个所述调整槽21 内均设有活动销22，所述通槽2底部一侧设有配合槽，所述配合槽内设有支撑块23，所述支撑块23通过配合槽与下支架4滑动连接，其中一个所述活动销 22贯穿支撑块23且与支撑块23插接，通过支撑块23与配合槽，可以使下支架 4更加稳定；
34.进一步地，所述壳体5一侧表面开设有活动槽24，其中另一个所述活动销 22通过活动槽24与壳体5滑动连接；
35.进一步地，所述齿条14顶部一端表面开设有销孔，其中另一个所述活动销 22通过销孔与齿条14插接，通过销孔，可以将活动销22与齿条14固定在一起，同时将下支架4固定。
36.本实用新型的使用过程如下：在使用本实用新型时，使用者首先可以通过上支架3与下支架4分别安装相应的反射镜片，然后分别将两个螺栓20穿过两个调节槽19并拧进两个螺孔内，沿着调节槽19调整上支架3的位置与角度，最后再将两个螺栓20拧紧，从而将上支架3固定，然后使用者调整下支架4的位置与角度，将其中一个活动销22穿过下支架4一侧的调整槽21，插进支撑块 23内，然后将另一个活动销22分别穿过下支架4另一侧的调整槽21和活动槽 24，直到插进销孔内，与齿条14固定，在使用时，如果需要调节下支架4的高度，使用者可以旋转调节钮8，带动转杆6与第一锥齿轮9旋转，第一锥齿轮9 带动第二锥齿轮12与连接杆11旋转，连接杆11带动蜗杆7旋转，蜗杆7带动传动齿轮13旋转，传动齿轮13带动齿条14上升，同时通过t字形的滑块17 在导向槽内滑动，使得齿条14的上升方向不会偏移，从而通过活动销22带动下支架4进行上升，进行高度调节。
37.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。