矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置的制作方法

1.本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体是矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置。


背景技术：

2.现有的磁控溅射靶装置在工作时其内部会产生大量的热量，而现有的磁控溅射靶装置内部通常设置散热风扇来散热，但现有的散热风扇不能移动，从而导致了散热风扇的散热范围较小，散热效果较差。
3.因此，本实用新型提供了矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置，以解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置，包括底板，所述底板上端左右两侧对称固定连接有支撑板，所述支撑板上端固定连接有磁控溅射靶装置本体；所述磁控溅射靶装置本体内部设有用于驱散该装置工作时产生的热量用的散热机构，所述底板上端设有用于提升散热机构用的扩散机构。
6.作为本实用新型进一步的方案：所述扩散机构包括第一电机、往复丝杆、滑动块、第一伸缩杆、转动盘和连杆；通过扩散机构可以起到能够带动散热机构在磁控溅射靶装置本体内部不断的来回移动，从而可以起到能够有效的提升散热机构的散热范围。
7.作为本实用新型再进一步的方案：左右两侧所述支撑板表面设有滑槽，所述第一电机与右侧滑槽滑动连接且左侧滑槽内滑动连接有滑块，所述往复丝杆与第一电机输出轴固定连接且与滑块转动连接；所述转动盘分布与底板的左右两侧位置且左侧转动盘与往复丝杆固定连接，右侧所述转动盘与第一电机输出轴右端固定连接，所述连杆与转动盘表面边缘位置转动连接且连杆另一端与支撑板转动连接；所述往复丝杆与滑动块螺纹配合，所述滑动块与底板上端面滑动配合且滑块上端与第一伸缩杆转动连接；通过第一电机带动往复丝杆和右侧的转动盘转动时，往复丝杆同时带动左侧的转动盘转动，左右两侧的转动盘转动时通过连杆可以带动滑块和第一电机在滑槽内不断的前后滑动，电机和滑块通过往复丝杆带动滑动块在底板表面不断的前后滑动，同时往复丝杆转动时可以带动滑动块在底板表面不断的左右滑动。
8.作为本实用新型再进一步的方案：所述散热机构包括散热筒、第二电机、扇叶和第二伸缩杆；通过散热机构可以起到能够将磁控溅射靶装置本体在工作时产生的热量及时有效的驱散，从而可以有效的提升磁控溅射靶装置本体在工作时更加的流畅。
9.作为本实用新型再进一步的方案：所述散热筒位于滑动块上端位置且散热筒与第一伸缩杆转动连接；所述第二电机位于散热筒内部且第二电机与散热筒固定连接，所述第
二电机输出轴与扇叶固定连接；所述第二伸缩杆分布在散热筒左右两端位置且第二伸缩杆一端与散热筒转动连接，所述第二伸缩杆另一端与磁控溅射靶装置本体固定连接；通过滑动块在左右移动时可以通过第一伸缩杆带动散热筒在磁控溅射靶装置本体内不断的左右移动，当滑动块前后滑动时可以通过第一伸缩杆带动散热筒沿着第二伸缩杆不断的前后转动，通过启动第二电机带动扇叶转动，可以将磁控溅射靶装置内较大范围的热量散失掉。
10.有益效果
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.该装置通过第一电机带动往复丝杆和左右两侧的转动盘转动，左右两侧的转动盘通过连杆可以带动往复丝杆不断的前后移动，往复丝杆在转动时可以带动其表面的滑动块不断的左右移动，滑动块前后左右移动时可以通过第一伸缩杆带动散热筒左右移动以及前后转动，通过启动第二电机带动扇叶转动时即可对该装置内部较大范围进行散热；该装置操作简单，使用方便，通过一个散热风扇即可给装置内部较大的范围进行散热，有效的提升了散热范围和散热效果。
附图说明
13.图1为本实用新型整体的结构示意图；
14.图2为本实用新型中主视图的局部剖视图的结构示意图；
15.图3为本实用新型中散热筒的结构示意图。
16.图中：1-底板，2-支撑板，3-磁控溅射靶装置本体，4-第一电机，5-往复丝杆，6-滑动块，7-第一伸缩杆，8-转动盘，9-连杆，10-滑槽，11-滑块，12
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散热筒，13-第二电机，14-扇叶，15-第二伸缩杆。
具体实施方式
17.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
18.请参阅图1～3，本实用新型实施例中，矩形平面磁控溅射靶材及磁控溅射靶装置，包括底板1，底板1上端左右两侧对称固定连接有支撑板2，支撑板 2上端固定连接有磁控溅射靶装置本体3；磁控溅射靶装置本体3内部设有用于驱散该装置工作时产生的热量用的散热机构，底板1上端设有用于提升散热机构用的扩散机构。
19.本实施例中:扩散机构包括第一电机4、往复丝杆5、滑动块6、第一伸缩杆7、转动盘8和连杆9；通过扩散机构可以起到能够带动散热机构在磁控溅射靶装置本体3内部不断的来回移动，从而可以起到能够有效的提升散热机构的散热范围。
20.本实施例中:左右两侧支撑板2表面设有滑槽10，第一电机4与右侧滑槽 10滑动连接且左侧滑槽10内滑动连接有滑块11，往复丝杆5与第一电机4输出轴固定连接且与滑块11转动连接；转动盘8分布与底板1的左右两侧位置且左侧转动盘8与往复丝杆5固定连接，右侧转动盘8与第一电机4输出轴右端固定连接，连杆9与转动盘8表面边缘位置转动连接且连杆9另一端与支撑板 2转动连接；往复丝杆5与滑动块6螺纹配合，滑动块6与底板1上端面滑动配合且滑块11上端与第一伸缩杆7转动连接；通过第一电机4带动往复丝杆 5和右侧的转动盘8转动时，往复丝杆5同时带动左侧的转动盘8转动，左右两侧的转动盘8转动时通过连
杆9可以带动滑块11和第一电机4在滑槽10内不断的前后滑动，电机和滑块11通过往复丝杆5带动滑动块6在底板1表面不断的前后滑动，同时往复丝杆5转动时可以带动滑动块6在底板1表面不断的左右滑动。
21.本实施例中:散热机构包括散热筒12、第二电机13、扇叶14和第二伸缩杆 15；通过散热机构可以起到能够将磁控溅射靶装置本体3在工作时产生的热量及时有效的驱散，从而可以有效的提升磁控溅射靶装置本体3在工作时更加的流畅。
22.本实施例中:散热筒12位于滑动块6上端位置且散热筒12与第一伸缩杆 7转动连接；第二电机13位于散热筒12内部且第二电机13与散热筒12固定连接，第二电机13输出轴与扇叶14固定连接；第二伸缩杆15分布在散热筒 12左右两端位置且第二伸缩杆15一端与散热筒12转动连接，第二伸缩杆 15另一端与磁控溅射靶装置本体3固定连接；通过滑动块6在左右移动时可以通过第一伸缩杆7带动散热筒12在磁控溅射靶装置本体3内不断的左右移动，当滑动块6前后滑动时可以通过第一伸缩杆7带动散热筒12沿着第二伸缩杆 15不断的前后转动，通过启动第二电机13带动扇叶14转动，可以将磁控溅射靶装置内较大范围的热量散失掉。
23.本实用新型的工作原理是：
24.使用该装置时，先启动第二电机13使得第二电机13带动扇叶14转动开始通风散热，然后再启动第一电机4，通过第一电机4带动往复丝杆5和右侧的转动盘8转动时，往复丝杆5同时带动左侧的转动盘8转动，左右两侧的转动盘8转动时通过连杆9可以带动滑块11和第一电机4在滑槽10内不断的前后滑动，电机和滑块11通过往复丝杆5带动滑动块6在底板1表面不断的前后滑动，同时往复丝杆5转动时可以带动滑动块6在底板1表面不断的左右滑动，滑动块6在左右移动时可以通过第一伸缩杆7带动散热筒12在磁控溅射靶装置本体3内不断的左右移动，当滑动块6前后滑动时可以通过第一伸缩杆7带动散热筒12沿着第二伸缩杆15不断的前后转动，此时散热筒12即可将磁控溅射靶装置内较大范围的热量散失掉。