玻璃基板蒸镀装置的制作方法

1.本发明涉及蒸镀装置技术领域，尤其涉及一种玻璃基板蒸镀装置。


背景技术：

2.显示面板是显示设备上必不可少的部件，目前常用玻璃作为显示面板。在显示面板生产过程中，先利用蒸镀装置在玻璃基板背面形成一层金属膜，然后再切除玻璃基板的废料区域，形成显示面板，一个玻璃基板可切成若干个预设尺寸的显示面板。如图1所示，现有的用于玻璃基板3
′
的蒸镀装置，其蒸镀材料1
′
铺设于电极2
′
的顶面，并将玻璃基板3
′
直接放置在蒸镀材料1
′
上，蒸镀材料1
′
顶面设有多个凸起11
′
和凹槽12
′
，以利用凸起11
′
支撑玻璃基板3
′
。
3.现有技术存在以下缺陷：蒸镀材料1
′
的凸起11
′
与玻璃基板3
′
接触，蒸镀材料1
′
的凹槽12
′
与玻璃基板3
′
不接触，导致玻璃基板3
′
受热不均匀，具体表现为玻璃基板3
′
与蒸镀材料1
′
的凸起11
′
接触的部分温度较高，其余部分温度较低，进而导致制成的显示面板容易出现显示不良。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于：提供一种玻璃基板蒸镀装置，能够对玻璃基板进行蒸镀处理，并避免显示面板出现显示不良。
5.为达上述目的，本发明采用以下技术方案：
6.一种玻璃基板蒸镀装置，包括：
7.电极，位于玻璃基板的下方；所述玻璃基板设有多个成品区域和围绕在所述成品区域周围的废料区域；所述电极的顶面用于铺设蒸镀材料；
8.多个支撑组件，支撑于所述电极与所述玻璃基板之间，并使所述蒸镀材料的顶部与所述玻璃基板之间形成有间隙，所述间隙内通入有冷却气体，所述支撑组件抵接于所述玻璃基板的所述废料区域。
9.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述蒸镀材料的顶部开设有沿预设方向延伸的凹槽。
10.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述凹槽为螺旋状或迷宫式结构。
11.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述蒸镀材料的顶面设有多个凹坑。
12.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述支撑组件包括：
13.底座，所述底座设有安装孔；
14.支撑件，所述支撑件的第一端插设于所述安装孔内并能沿所述安装孔滑动，所述支撑件的第二端抵接于所述玻璃基板的所述废料区域；
15.锁紧件，用于将所述支撑件与所述底座锁定或解锁。
16.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述安装孔的内壁设有内螺纹，所述支撑件第一端的外侧设有与所述内螺纹相匹配的外螺纹。
17.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述支撑件的第二端设有支撑部，所述支撑部与所述玻璃基板的所述废料区域抵接，所述支撑部与所述玻璃基板的接触面积大于所述支撑件的横截面面积。
18.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，多个所述支撑组件中，部分所述支撑组件沿第一方向间隔布置，且部分所述支撑组件沿第二方向间隔布置，所述第一方向与所述第二方向垂直。
19.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述支撑组件为液压缸、气缸或电动推杆。
20.作为玻璃基板蒸镀装置的一种优选方案，所述电极的顶面开设有滑槽，所述支撑组件能沿对应的所述滑槽滑动。
21.本发明的有益效果为：通过支撑组件支撑玻璃基板，且支撑组件避开玻璃基板的成品区域，抵接于玻璃基板的废料区域，蒸镀后将玻璃基板的废料区域切除，成品区域制成显示面板，即使支撑组件与玻璃基板的接触位置因受热不均而出现显示不良的问题，由于显示不良仅存在于废料区域，最终会被切除，不会导致显示面板出现显示不良。
附图说明
22.下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
23.图1为现有的用于玻璃基板的蒸镀装置的结构示意图；
24.图2为本发明实施例的玻璃基板蒸镀装置的结构示意图；
25.图3为本发明实施例的多个支撑组件一种布置方式示意图；
26.图4为本发明实施例的多个支撑组件另一种布置方式示意图；
27.图5为本发明实施例的电极的结构示意图；
28.图6为本发明实施例的支撑组件的结构示意图。
29.图1中：
[0030]1′
、蒸镀材料；11
′
、凸起；12
′
、凹槽；2
′
、电极；3
′
、玻璃基板。
[0031]
图2至图6中：
[0032]
100、玻璃基板；101、成品区域；102、废料区域；200、冷却气体；1、电极；11、滑槽；2、蒸镀材料；21、凹坑；22、凹槽；3、支撑组件；31、底座；311、安装孔；32、支撑件；321、支撑部；33、锁紧件。
具体实施方式
[0033]
参考下面结合附图详细描述的实施例，本发明的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本发明不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本发明的公开并且使本领域技术人员充分地了解本发明的范围，并且本发明仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0034]
以下，参照附图来详细描述本发明。
[0035]
如图2-6示，本实施例提供了一种玻璃基板蒸镀装置，用于对玻璃基板100进行蒸镀操作。将蒸镀后的玻璃基板100切割，即可制成显示面板，一个玻璃基板100可切成若干个
预设尺寸的显示面板。具体地，玻璃基板100设有多个成品区域101和围绕在成品区域101周围的废料区域102，其中，被切除的即为玻璃基板100的废料区域102，显示面板即为玻璃基板100的成品区域101。
[0036]
如图2所示，玻璃基板蒸镀装置包括电极1和多个支撑组件3，电极1位于玻璃基板100的下方；电极1的顶面用于铺设蒸镀材料2，示例性地，蒸镀材料2为氧化铝(al2o3)；多个支撑组件3支撑于电极1与玻璃基板100之间，并使蒸镀材料2的顶部与玻璃基板100之间形成有间隙，间隙内通入有冷却气体200，示例性地，冷却气体200为氦气；多个支撑组件3均抵接于玻璃基板100的废料区域102且间隔分布，以能够稳定地支撑玻璃基板100。通过支撑组件3支撑玻璃基板100，且支撑组件3避开玻璃基板100的成品区域101，抵接于玻璃基板100的废料区域102，蒸镀后将玻璃基板100的废料区域102切除，成品区域101制成显示面板，即使支撑组件3与玻璃基板100的接触位置因受热不均而出现显示不良的问题，由于显示不良仅存在于废料区域102，最终会被切除，不会导致显示面板出现显示不良。
[0037]
为了增大蒸镀材料2顶面的面积，促进蒸镀材料2蒸发，蒸镀材料2的顶面设有多个凹坑21。具体地，多个凹坑21的大小和形状可以相同，也可以不同，可以规律排列，也可以随机不规律排列。
[0038]
本实施例中，蒸镀材料2的顶部开设有沿预设方向延伸的凹槽22，用于通入冷却气体200，利用冷却气体200对玻璃基板100进行降温，促进气化的蒸镀材料2凝聚在玻璃基板100的下表面形成金属膜。优选地，凹槽22为螺旋状或迷宫式结构，有利于使玻璃基板100温度均匀。当然，凹槽22还可以为s形等其他任何形状，在此不作限定。
[0039]
本实施例中，多个支撑组件3中，部分支撑组件3沿第一方向间隔布置，且部分支撑组件3沿第二方向间隔布置，第一方向与第二方向垂直。同一玻璃基板100上的多个成品区域101的大小可以相同也可以不同，除了多个成品区域101以外的部分即为废料区域102，由于废料区域102为不规则形状，因此，为了保证支撑组件3能稳定地支撑玻璃基板100，多个支撑组件3可分为多个支撑单元，多个支撑单元分别支撑于上述废料区域102的不同位置，且每个支撑单元均包括多个支撑组件3，同一支撑单元中的多个支撑组件3呈一字形间隔排布。具体地，多个支撑单元中，一部分支撑单元中的多个支撑组件3沿第一方向间隔布置，另一部分支撑单元中的多个支撑组件3沿第二方向间隔布置；当显示面板为矩形时，第一方向和第二方向分别为显示面板的长度方向和宽度方向。示例性地，玻璃基板100包括五个相同尺寸的成品区域101，五个成品区域101以节省材料的方式排布，多个支撑组件3的布置形式如图3所示。此外，玻璃基板100还可以包括两个相同尺寸的第一成品区域101和两个相同尺寸的第二成品区域101，两个第一成品区域101与两个第二成品区域101也以节省材料的方式排布，多个支撑组件3的布置形式如图4所示。
[0040]
进一步地，电极1的顶面开设有滑槽11，支撑组件3能沿对应的滑槽11滑动，一方面便于调节支撑组件3的支撑位置，另一方面可利用滑槽11对支撑组件3起到限位作用，保证支撑组件3稳定地支撑于电极1与玻璃基板100之间。具体地，如图5所示，滑槽11设有多个，且多个滑槽11与支撑单元一一对应设置，滑槽11为一字形结构。
[0041]
本实施例中，如图6所示，支撑组件3包括底座31、支撑件32和锁紧件33，底座31设有安装孔311；支撑件32的第一端插设于安装孔311内并能沿安装孔311滑动，支撑件32的第二端抵接于玻璃基板100的废料区域102；锁紧件33用于将支撑件32与底座31锁定或解锁。
具体地，锁紧件33为穿设于底座31并与底座31螺纹连接的螺栓，且螺栓的头部位于底座31的外侧，杆部的一端贯穿安装孔311的侧壁后位于安装孔311内并能抵接于支撑件32，上紧螺栓即可将支撑件32与底座31锁定，放松螺栓即可将支撑件32与底座31解锁。如此设置的支撑组件3具有结构简单，便于调节支撑组件3高度的优点。考虑到蒸镀时电极1温度较高，支撑组件3所包括的所有零部件均采用耐高温材料制成，具体可结合蒸镀材料2的气化温度选择。
[0042]
进一步地，为了更精确地调节支撑件32的伸出长度，安装孔311的内壁设有内螺纹，支撑件32第一端的外侧设有与内螺纹相匹配的外螺纹。通过改变内螺纹及外螺纹的螺距，可改变支撑件32旋转一圈上升的高度，便于更精细的调节支撑件32的伸缩长度。
[0043]
优选地，支撑件32的第二端设有支撑部321，支撑部321与玻璃基板100的废料区域102抵接，支撑部321与玻璃基板100的接触面积大于支撑件32的横截面面积，进而增大了支撑件32与玻璃基板100的接触面积，有利于提高支撑组件3的支撑稳定性。
[0044]
一实施例中，支撑组件3为液压缸、气缸或电动推杆，有利于实现自动化生产，还能更精确地控制多个支撑组件3的高度相同。
[0045]
尽管上面已经参考附图描述了本发明的实施例，但是本发明不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本发明的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本发明。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。