一种靶材邦定用管式加热器的制作方法

1.本实用新型涉及靶材加工技术领域，尤其涉及一种靶材邦定用管式加热器。


背景技术：

2.靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，在用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。
3.靶材在进行邦定时需要对背板和背靶进行加热处理，然而目前一些靶材邦定用的加热装置大多使用的是电加热板进行加热，且电热板都是固定安装在加工平台的某一处，因平台面积较大，在加热时会出现加热不均匀的现象，容易引起靶材(尤其是陶瓷靶材)的内部应力变化，造成靶材开裂；其次当发热源损坏时想要更换也较为不便。
4.因此，有必要提供一种靶材邦定用管式加热器解决上述技术问题。


技术实现要素：

5.本实用新型解决的技术问题是提供一种可使加工平台均匀受热、便于检修更换的靶材邦定用管式加热器。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供的靶材邦定用管式加热器包括：箱体；耐火内胆，所述耐火内胆固定安装在所述箱体内；密封盖，所述密封盖滑动安装在所述箱体的顶部；密封圈，所述密封圈套设在所述密封盖上；两个连接柱，两个所述连接柱均固定安装在所述密封盖的底部；安装板，所述安装板固定安装在两个所述连接柱的低端；三个石英加热管，三个所述石英加热管均固定安装在所述安装板上；两个通孔，两个所述通孔均开设在所述箱体和所述耐火内胆的同一侧；气流吹送机构，所述气流吹送机构设置在所述箱体上；固定结构，所述固定结构设置在所述箱体上。
7.优选的，所述气流吹送机构包括安装箱，两个转轴、两个扇叶、两个第一齿轮、第一电机和第二齿轮，所述安装箱固定安装在所述箱体的一侧，两个所述转轴均转动安装在所述安装箱的一侧，两个所述转轴的一端均延伸入所述安装箱内，两个所述扇叶分别固定安装在两个所述转轴的一端，两个所述第一齿轮分别固定安装在两个所述转轴远离所述扇叶的一端，所述第一电机固定安装在所述安装箱的一侧，所述第二齿轮固定安装在所述第一电机的输出轴上，所述第二齿轮与两个所述第一齿轮相互啮合。
8.优选的，所述固定结构包括固定板、螺纹杆、第二电机和导向杆，所述固定板设置在所述密封盖的顶部，所述螺纹杆螺纹安装在所述固定板的一端上，所述第二电机固定安装在所述箱体的一侧，所述第二电机的输出轴与所述螺纹杆的底端固定连接，所述导向杆滑动安装在所述固定板上，所述导向杆的底端与所述密封盖的顶端螺纹连接。
9.优选的，所述密封盖的顶部固定安装有握把，所述密封盖的顶部开设有螺纹槽，所述螺纹槽与所述导向杆相适配。
10.优选的，所述固定板上开设有通槽，所述通槽与所述握把相适配。
11.优选的，所述箱体的一侧固定安装有温度调节器，所述温度调节器与三个所述石英加热管电性连接。
12.与相关技术相比较，本实用新型提供的靶材邦定用管式加热器具有如下有益效果：
13.本实用新型提供一种靶材邦定用管式加热器：
14.1、通过密封盖配合连接柱、安装板和石英加热管组成了方便维护更换的加热器，通过第一电机配合第二齿轮和第一齿轮可带动转轴转动，转轴可带动带动扇叶转动，方便将高温热气吹出；
15.2、通过第二电机配合和螺纹杆和固定板方便对密封盖进行固定，使其气密性更好。
附图说明
16.图1为本实用新型提供的靶材邦定用管式加热器的一种较佳实施例的结构示意图；
17.图2为图1中所示a部分的放大结构示意图；
18.图3为图2中所示b部分的放大结构示意图；
19.图4为图2中所示c部分的放大结构示意图。
20.图中标号：1、箱体；2、耐火内胆；3、密封盖；4、密封圈；5、连接柱；6、安装板；7、石英加热管；8、通孔；9、安装箱；10、转轴；11、扇叶；12、第一齿轮；13、第一电机；14、第二齿轮；15、固定板；16、螺纹杆；17、第二电机；18、导向杆。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。
22.请结合参阅图1-图4，其中，图1为本实用新型提供的靶材邦定用管式加热器的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的a部分放大示意图；图2为图1中所示a部分的放大结构示意图；图3为图2中所示b部分的放大结构示意图；图4为图2中所示c部分的放大结构示意图。靶材邦定用管式加热器包括：箱体1；耐火内胆2，所述耐火内胆2固定安装在所述箱体1内；密封盖3，所述密封盖3滑动安装在所述箱体1的顶部；密封圈4，所述密封圈4套设在所述密封盖3上；两个连接柱5，两个所述连接柱5均固定安装在所述密封盖3的底部；安装板6，所述安装板6固定安装在两个所述连接柱5的低端；三个石英加热管7，三个所述石英加热管7均固定安装在所述安装板6上；两个通孔8，两个所述通孔8均开设在所述箱体1和所述耐火内胆2的同一侧；气流吹送机构，所述气流吹送机构设置在所述箱体1上；固定结构，所述固定结构设置在所述箱体1上，通过密封盖3配合连接柱5、安装板6和石英加热管7组成了方便维护更换的加热器。
23.所述气流吹送机构包括安装箱9，两个转轴10、两个扇叶11、两个第一齿轮12、第一电机13和第二齿轮14，所述安装箱9固定安装在所述箱体1的一侧，两个所述转轴10均转动安装在所述安装箱9的一侧，两个所述转轴10的一端均延伸入所述安装箱9内，两个所述扇叶11分别固定安装在两个所述转轴10的一端，两个所述第一齿轮12分别固定安装在两个所
述转轴10远离所述扇叶11的一端，所述第一电机13固定安装在所述安装箱9的一侧，所述第二齿轮14固定安装在所述第一电机13的输出轴上，所述第二齿轮14与两个所述第一齿轮12相互啮合，通过第一电机13配合第二齿轮14和第一齿轮12可带动转轴10转动，转轴10可带动带动扇叶11转动，方便将高温热气吹出。
24.所述固定结构包括固定板15、螺纹杆16、第二电机17和导向杆18，所述固定板15设置在所述密封盖3的顶部，所述螺纹杆16螺纹安装在所述固定板15的一端上，所述第二电机17固定安装在所述箱体1的一侧，所述第二电机17的输出轴与所述螺纹杆16的底端固定连接，所述导向杆18滑动安装在所述固定板15上，所述导向杆18的底端与所述密封盖3的顶端螺纹连接，通过第二电机17配合和螺纹杆16和固定板15方便对密封盖3进行固定，使其气密性更好。
25.所述密封盖3的顶部固定安装有握把，所述密封盖3的顶部开设有螺纹槽，所述螺纹槽与所述导向杆18相适配。
26.所述固定板15上开设有通槽，所述通槽与所述握把相适配。
27.所述箱体1的一侧固定安装有温度调节器，所述温度调节器与三个所述石英加热管7电性连接。
28.本实用新型提供的靶材邦定用管式加热器的工作原理如下：
29.使用时，先通过温度调节器设定好石英加热管7所要传输的温度然后为其通电，石英加热管7在通电后会迅速升温，当石英加热管7升温后开启第一电机13，第一电机13运转时输出轴会带动第二齿轮14转动，第二齿轮14转动时会带动两个第一齿轮12转动，两个第一齿轮12转动时两个转轴10也会同步转动，并带动两个扇叶11转动，扇叶11转动时会将石英加热管7散发出的高温热气吹送出箱体1顺着管道输送到加工平台上对背板进行均匀加温，在使用过程中，若三个石英加热管7中的一个损坏无法加热时，此时两外两个石英加热管7也可继续加热，不会影响邦定效率，而损坏的石英加热管7待邦定完成后进行更换，在更换石英加热管7时先开启第二电机17，第二电机17运行时输出轴会带动螺纹杆16转动，螺纹杆16转动时在导向杆18的配合下使固定板15向上运动，当固定板15上升到握把的上方时将第二电机17关闭，随后拧动导向杆18使其脱离螺纹槽，然后将固定板15转到一边，之后握住握把将密封盖3抽离出来，随后将损坏的石英加热管7更换掉，更换后将密封盖3连同石英加热管7插入箱体1内，之后再转回固定板15将导向杆18重新拧到螺纹槽内固定好，随后启动第二电机17使固定板15复位，固定板15复位后会压住密封盖3使其固定。
30.与相关技术相比较，本实用新型提供的靶材邦定用管式加热器具有如下有益效果：
31.本实用新型提供一种靶材邦定用管式加热器，通过密封盖3配合连接柱5、安装板6和石英加热管7组成了方便维护更换的加热器，通过第一电机13配合第二齿轮14和第一齿轮12可带动转轴10转动，转轴10可带动带动扇叶11转动，方便将高温热气吹出，通过第二电机17配合和螺纹杆16和固定板15方便对密封盖3进行固定，使其气密性更好。
32.需要说明的是，本实用新型的设备结构和附图主要对本实用新型的原理进行描述，在该设计原理的技术上，装置的动力机构、供电系统及控制系统等的设置并没有完全描述清楚，而在本领域技术人员理解上述实用新型的原理的前提下，可清楚获知其动力机构、供电系统及控制系统的具体。
33.以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。