一种靶材邦定用管式加热器的制作方法

技术特征：
1.一种靶材邦定用管式加热器，其特征在于，包括：箱体；耐火内胆，所述耐火内胆固定安装在所述箱体内；密封盖，所述密封盖滑动安装在所述箱体的顶部；密封圈，所述密封圈套设在所述密封盖上；两个连接柱，两个所述连接柱均固定安装在所述密封盖的底部；安装板，所述安装板固定安装在两个所述连接柱的低端；三个石英加热管，三个所述石英加热管均固定安装在所述安装板上；两个通孔，两个所述通孔均开设在所述箱体和所述耐火内胆的同一侧；气流吹送机构，所述气流吹送机构设置在所述箱体上；固定结构，所述固定结构设置在所述箱体上。2.根据权利要求1所述的靶材邦定用管式加热器，其特征在于，所述气流吹送机构包括安装箱，两个转轴、两个扇叶、两个第一齿轮、第一电机和第二齿轮，所述安装箱固定安装在所述箱体的一侧，两个所述转轴均转动安装在所述安装箱的一侧，两个所述转轴的一端均延伸入所述安装箱内，两个所述扇叶分别固定安装在两个所述转轴的一端，两个所述第一齿轮分别固定安装在两个所述转轴远离所述扇叶的一端，所述第一电机固定安装在所述安装箱的一侧，所述第二齿轮固定安装在所述第一电机的输出轴上，所述第二齿轮与两个所述第一齿轮相互啮合。3.根据权利要求1所述的靶材邦定用管式加热器，其特征在于，所述固定结构包括固定板、螺纹杆、第二电机和导向杆，所述固定板设置在所述密封盖的顶部，所述螺纹杆螺纹安装在所述固定板的一端上，所述第二电机固定安装在所述箱体的一侧，所述第二电机的输出轴与所述螺纹杆的底端固定连接，所述导向杆滑动安装在所述固定板上，所述导向杆的底端与所述密封盖的顶端螺纹连接。4.根据权利要求3所述的靶材邦定用管式加热器，其特征在于，所述密封盖的顶部固定安装有握把，所述密封盖的顶部开设有螺纹槽，所述螺纹槽与所述导向杆相适配。5.根据权利要求4所述的靶材邦定用管式加热器，其特征在于，所述固定板上开设有通槽，所述通槽与所述握把相适配。6.根据权利要求1所述的靶材邦定用管式加热器，其特征在于，所述箱体的一侧固定安装有温度调节器，所述温度调节器与三个所述石英加热管电性连接。

技术总结
本实用新型提供一种靶材邦定用管式加热器。所述靶材邦定用管式加热器包括箱体；耐火内胆，所述耐火内胆固定安装在所述箱体内；密封盖，所述密封盖滑动安装在所述箱体的顶部；密封圈，所述密封圈套设在所述密封盖上；两个连接柱，两个所述连接柱均固定安装在所述密封盖的底部；安装板，所述安装板固定安装在两个所述连接柱的低端；三个石英加热管，三个所述石英加热管均固定安装在所述安装板上。本实用新型提供的靶材邦定用管式加热器具有可使加工平台均匀受热、便于检修更换的优点。便于检修更换的优点。便于检修更换的优点。


技术研发人员：李文彬 李玉科
受保护的技术使用者：杭州阿凡达光电科技有限公司
技术研发日：2021.07.15
技术公布日：2022/2/22