承载片盒的制作方法

1.本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种承载片盒。


背景技术：

2.相关技术中指出，硅片切片后有污染、表面有损伤、光泽度不符合要求等情况出现，影响产品品质。需要对其进行腐蚀清洗，硅片放置在硅片盒中进行腐蚀清洗无法保证硅片的四周形貌均匀，厚度相同。


技术实现要素：

3.本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明在于提出一种承载片盒，所述承载片盒结构简单，有利于硅片腐蚀清洗时四周形貌均匀。
4.根据本发明的承载片盒，所述承载片盒包括：承载架，所述承载架包括夹持臂，所述夹持臂包括在水平方向上间隔布置的第一夹臂和第二夹臂，所述第一夹臂和所述第二夹臂之间限定出夹持空间，所述硅片适于放置于所述夹持空间内，且所述第一夹臂和所述第二夹臂抵接在所述硅片在厚度方向上的两侧表面。
5.根据本发明的承载片盒，通过设置在水平方向上间隔布置的第一夹臂和第二夹臂，并且第一夹臂和第二夹臂均与硅片在厚度方向上的两侧表面抵接，使得硅片的边缘不与承载架接触，保证了硅片能够竖直悬置于承载架内，清洗腐蚀硅片时，避免了硅片边缘腐蚀清洗程度不同，从而保证了硅片边缘四周形貌均匀，避免了硅片边缘与承载架接触导致的损伤。
6.在一些实施例中，所述第一夹臂包括第一固定部，所述第二夹臂包括与所述第一固定部相对布置的第二固定部，所述第一固定部和所述第二固定部之间限定出所述夹持空间，在从所述夹持臂的一端朝向另一端的方向上，所述第一固定部和所述第二固定部之间的距离先逐渐减小再逐渐增大。
7.在一些实施例中，所述第一固定部形成为朝向所述第二固定部所在的方向凹陷的弧形板状，所述第二固定部形成为朝向所述第一固定部所在的方向凹陷的弧形板状。
8.在一些实施例中，所述第一固定部朝向所述第二固定部的一侧表面形成有第一抵接面，所述第一抵接面为沿竖向延伸的平面，所述第二固定部朝向所述第一固定部的一侧表面形成有第二抵接面，所述第二抵接面为沿竖向延伸的平面，所述硅片在厚度方向上的两侧表面分别与所述第一抵接面和所述第二抵接面抵接。
9.在一些实施例中，所述第一抵接面和所述第二抵接面为圆形表面，所述第一抵接面和所述第二抵接面中任一个的直径在10mm-50mm的范围内。
10.在一些实施例中，所述第一夹臂包括第一固定部，所述第二夹臂包括与所述第一固定部相对布置的第二固定部，所述第一固定部上形成有朝向所述第二固定部凸起的第一凸筋，所述第二固定部上形成有朝向所述第一固定部凸起第二凸筋，所述第一凸筋和所述第二凸筋分别抵接在所述硅片的所述两侧表面，所述第一凸筋和所述第二凸筋中的至少一
个包括在所述夹持臂的长度方向间隔布置的至少两个。
11.在一些实施例中，所述第一凸筋和所述第二凸筋形成为环形，所述第一凸筋的直径在5
㎜‑
20
㎜
的范围内，所述第二凸筋的直径在5
㎜‑
20
㎜
的范围内。
12.在一些实施例中，所述夹持臂还包括：弹性件，所述弹性件连接在所述第一夹臂和所述第二夹臂之间，所述弹性件始终具有使所述第一夹臂与所述第二夹臂相互接近的力。
13.在一些实施例中，所述第一夹臂包括分别连接在所述第一固定部长度方向两端的两个第一连接段，所述第二夹臂包括分别连接在所述第二固定部长度方向两端的两个第二连接段，两个所述第一连接段和两个所述第二连接段一一对应且平行间隔设置。
14.在一些实施例中，所述承载架包括多个夹持臂，多个所述夹持臂在水平方向上平行且间隔布置。
15.在一些实施例中，相邻两个所述夹持臂之间的间距在10mm-30mm的范围内。
16.本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
17.图1是根据本发明实施例的承载片盒的示意图；
18.图2是图1中所示的承载片盒的左视图的示意图；
19.图3是图1中所示的夹持臂的示意图；
20.图4是根据本发明另一个实施例的夹持臂的示意图；
21.图5是根据本发明又一个实施例的承载片盒的左视图的示意图；
22.图6是根据本发明再一个实施例的夹持臂的示意图。
23.附图标记：
24.承载片盒100，
25.夹持臂1，
26.第一夹臂11，第一固定部111，第一连接段112，第一凸筋113，
27.第二夹臂12，第二固定部121，第二连接段122，第二凸筋123，
28.夹持空间13，
29.弹性件14，
30.盒本体2，浸液腔21，
31.防脱架3，第一杆体31，第二杆体32。
具体实施方式
32.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
33.下面参考图1-图3描述根据本发明第一方面实施例的承载片盒100。
34.如图1所示，根据本发明第一方面实施例的承载片盒100，包括承载架。
35.具体地，承载架包括夹持臂1，夹持臂1包括在水平方向上间隔布置的第一夹臂11和第二夹臂12，第一夹臂11和第二夹臂12之间限定出夹持空间13，硅片适于放置于夹持空
间13内，且第一夹臂11和第二夹臂12抵接在硅片在厚度方向上的两侧表面。
36.也就是说，夹持臂1包括第一夹臂11和第二夹臂12，第一夹臂11和第二夹臂12在水平方向上间隔布置，适于放置硅片的夹持空间13形成于第一夹臂11和第二夹臂12之间，且为了保证硅片悬置于承载片盒100内，硅片在厚度方向上的两侧表面分别与第一夹臂11和第二夹臂12相抵接。由此，硅片放置在承载架内，避免了硅片的边缘与承载架接触，对硅片进行清洗腐蚀时，保证了硅片边缘四周形貌均匀。
37.参照图1所示，在水平方向上，第一夹臂11和第二夹臂12在前后方向上间隔设置，夹持空间13形成于第一夹臂11和第二夹臂12之间，夹持空间13用于容纳和夹持硅片，第一夹臂11和第二夹臂12与硅片在厚度方向上的两侧表面相抵接，使硅片竖直悬置于承载架内。
38.根据本发明实施例的承载片盒100，通过设置在水平方向上间隔布置的第一夹臂11和第二夹臂12，并且第一夹臂11和第二夹臂12均与硅片在厚度方向上的两侧表面抵接，使得硅片的边缘不与承载架接触，保证了硅片能够竖直悬置于承载架内，清洗腐蚀硅片时，避免了硅片边缘腐蚀清洗程度不同，从而保证了硅片边缘四周形貌均匀，避免了硅片边缘与承载架接触导致的损伤。特别对边缘检测如滑移线检测、少子寿命检测具有良好的指导意义。
39.在本发明的一些实施例中，第一夹臂11包括第一固定部111，第二夹臂12包括与第一固定部111相对布置的第二固定部121，在从夹持臂1的一端朝向另一端的方向上，第一固定部111和第二固定部121之间的距离先逐渐减小再逐渐增大。参照图3所示，第一夹臂11具有第一固定部111，第二夹臂12具有第二固定部121，第一固定部111和第二固定部121在前后方向上相对布置，在从夹持臂1的左端朝向右端的方向上，第一固定部111和第二固定部121之间的距离先逐渐减小再逐渐增大，硅片夹持在第一固定部111和第二固定部121之间。由此，避免了硅片的边缘与承载架相接触，保证了硅片边缘腐蚀清洗的形貌均匀，从而保证了硅片的质量。
40.在本发明的一些实施例中，第一固定部111形成为朝向第二固定部121所在的方向凹陷的弧形板状，第二固定部121形成为朝向第一固定部111所在的方向凹陷的弧形板状。参照图3所示，第一夹臂11的第一固定部111朝向第二固定部121所在的方向(例如图1所示后方向)凹陷，且第一固定部111形成为弧形板状，第二夹臂12的第二固定部121朝向第一固定部111所在的方向(例如图1所示前方向)凹陷，且第二固定部121形成为弧形板状。由此，第一固定部111和第二固定部121形成为弧形板状，减小了夹持臂1与硅片之间的摩擦，第一固定部111和第二固定部121发生形变的弹性更大，增强了夹持臂1与硅片抵接的力。
41.在本发明的一些实施例中，第一固定部111朝向第二固定部121的一侧表面形成有第一抵接面，第一抵接面为沿竖向延伸的平面，第二固定部121朝向第一固定部111的一侧表面形成有第二抵接面，第二抵接面为沿竖向延伸的平面，硅片在厚度方向上的两侧表面分别与第一抵接面和第二抵接面抵接。也就是说，第一抵接面形成于第一固定部111朝向第二固定部121的一侧表面(例如图1所示第一固定部111的后侧表面)，第二抵接面形成于第二固定部121朝向第一固定部111的一侧表面(例如图1所示第二固定部121的前侧表面)，并且第一抵接面和第二抵接面均形成为沿竖向延伸的平面。由此，硅片在厚度方向的两侧表面分别与第一抵接面和第二抵接面相抵接，保证了硅片能够稳固的悬置于承载架内。
42.在本发明的一些实施例中，第一抵接面和第二抵接面为圆形表面，第一抵接面和第二抵接面中任一个的直径在10mm-50mm的范围内。众所周知的是，正方形的边长和圆形的直径相等的情况下，圆形的面积小，因此，第一抵接面和第二抵接面形成为圆形表面，尽可能的减小了夹持臂1与硅片的接触面积，保证了硅片腐蚀清洗程度大致相同，提高了硅片的产品品质。
43.进一步地，在一些实施例中，可以是第一抵接面的直径在10mm-50mm的范围内，也可以是第二抵接面的直径在10mm-50mm的范围内，还可以是第一抵接面和第二抵接面的直径均在10mm-50mm的范围内，第一抵接面和第二抵接面的直径大小可以一致，第一抵接面和第二抵接面的直径大小也可以不一致。也就是说，第一抵接面和第二抵接面的直径均在10mm-50mm的范围内，并且第一抵接面和第二抵接面的直径大小一致。由此，保证了硅片在厚度方向的两侧表面的腐蚀清洗程度相同，从而保证了硅片边缘腐蚀清洗的形貌均匀。
44.例如，第一抵接面和第二抵接面的直径大小一致，那么第一抵接面和第二抵接面的直径可以为：10mm、15mm、20mm、25mm、30mm、35mm、40mm、45mm、50mm等等。
45.在本发明的另一些实施例中，第一夹臂11包括第一固定部111，第二夹臂12包括与第一固定部111相对布置的第二固定部121，第一固定部111上形成有朝向第二固定部121凸起的第一凸筋113，第二固定部121上形成有朝向第一固定部111凸起第二凸筋123，第一凸筋113和第二凸筋123分别抵接在硅片的两侧表面，第一凸筋113和第二凸筋123中的至少一个包括在夹持臂1的长度方向间隔布置的至少两个。由此，提高了夹持臂1夹持硅片的稳定性，保证了硅片腐蚀清洗程度大致相同，从而提高了硅片的产品品质。
46.也就是说，第一固定部111上形成有第一凸筋113，第一凸筋113朝向第二固定部121凸起，第二固定部121上形成有第二凸筋123，第二凸筋123朝向第一固定部111凸起，第一凸筋113和第二凸筋123与硅片在厚度方向上的两侧表面相抵接，在夹持臂1的长度方向上，可以是第一固定部111上间隔布置两个第一凸筋113，第二固定部121上设置一个第二凸筋123，也可以是第一固定部111设置一个第一凸筋113，第二固定部121间隔布置两个第二凸筋123，还可以是第一固定部111上间隔布置两个第一凸筋113，第二固定部121上间隔布置两个第二凸筋123。
47.参照图4所示，第一固定部111上间隔布置两个第一凸筋113，第二固定部121上间隔布置两个第二凸筋123，硅片厚度方向上的两侧表面上分别形成有凸环，第一凸筋113与硅片的一侧表面上的凸环相接触，第二凸筋123与硅片的另一侧表面上的凸环相接触，这样，减少了夹持臂1与硅片的接触面积。
48.这里需要说明的是，夹持臂1的长度方向是指夹持臂1与承载片盒100的一侧壁相连的一端朝向夹持臂1与承载片盒100的另一侧壁相连的另一端的方向。
49.进一步地，第一凸筋113和第二凸筋123形成为环形，第一凸筋113的直径在5
㎜‑
20
㎜
的范围内，第二凸筋123的直径在5
㎜‑
20
㎜
的范围内。由此，能更好的夹持硅片，避免了硅片从夹持臂1中滑落的情况。
50.例如，第一凸筋113的直径可以为：5
㎜
、8
㎜
、11
㎜
、14
㎜
、17
㎜
、20
㎜
等等；第二凸筋123的直径可以为：5
㎜
、8
㎜
、11
㎜
、14
㎜
、17
㎜
、20
㎜
等等。
51.在本发明的又一些实施例中，夹持臂1还包括：弹性件14，弹性件14连接在第一夹臂11和第二夹臂12之间，弹性件14始终具有使第一夹臂11与第二夹臂12相互接近的力。参
照图6所示，第一夹臂11的一端和第二夹臂12的一端之间连接有弹性件14，第一夹臂11的另一端和第二夹臂12的另一端之间也连接有弹性件14，弹性件14始终使第一夹臂11和第二夹臂12相互靠近。由此，通过设置弹性件14提高了夹持臂1夹持硅片的稳定性，避免了硅片从夹持臂1上掉落。
52.可选地，弹性件14可以为弹簧、橡胶圈等等。
53.在本发明的一些实施例中，由于硅片的厚度为1mm-3mm之间，为了保证夹持臂1能够稳定夹持硅片，设置第一抵接面和第二抵接面之间的间距在0mm-0.5mm范围内。例如，第一抵接面和第二抵接面之间的间距可以为：0mm、0.05mm、0.1mm、0.15mm、0.2mm、0.25mm、0.3mm、0.35mm、0.4mm、0.45mm、0.5mm等等。
54.在本发明的一些实施例中，第一夹臂11包括分别连接在第一固定部111长度方向两端的两个第一连接段112，第二夹臂12包括分别连接在第二固定部121长度方向两端的两个第二连接段122，两个第一连接段112和两个第二连接段122一一对应且平行间隔设置。由此，第一夹臂11和第二夹臂12的结构简单，设计巧妙，避免了硅片与承载架接触，保证了硅片边缘腐蚀清洗的形貌均匀。
55.参照图3所示，第一夹臂11包括两个第一连接段112，两个第一连接段112分别连接在第一固定部111在长度方向的两端(例如图1所示第一固定部111的左右两端)，第二夹臂12包括两个第二连接段122，两个第二连接段122分别连接在第二固定部121在长度方向的两端(例如图1所示第二固定部121的左右两端)，连接在第一固定部111左端的第一连接段112与连接在第二固定部121左端的第二连接段122相对应且平行间隔设置，连接在第一固定部111右端的第一连接段112与连接在第二固定部121右端的第二连接段122相对应且平行间隔设置。
56.另一些实施例，参照图5所示，第一夹臂11包括三个第一连接段112，三个第一连接段112分别连接在第一固定部111的周向上，第二夹臂12包括三个第二连接段122，三个第二连接段122分别连接在第二固定部121的周向上，并且三个第一连接段112和三个第二连接段122一一对应且平行间隔设置。由此，在一个夹臂设置三个连接段，增强了夹持臂1的夹持力，夹持硅片更稳定。
57.在本发明的一些实施例中，由于硅片的厚度为1mm-3mm之间，为了保证硅片不与第一夹臂11和第二夹臂12接触，设置第一连接段112和第二连接段122之间的间距在10mm-30mm的范围内。例如，第一连接段112和第二连接段122之间的间距可以为：10mm、12mm、14mm、16mm、18mm、20mm、22mm、24mm、26mm、28mm、30mm等等。
58.在本发明的一些实施例中，承载架包括多个夹持臂1，多个夹持臂1在水平方向上平行且间隔布置。由此，能够同时对多个硅片进行腐蚀清洗，提高了生产效率，降低了生产成本。
59.在本发明的一些实施例中，相邻两个夹持臂1之间的间距在10mm-30mm的范围内。例如，第一连接段112和第二连接段122之间的间距可以为：10mm、12mm、14mm、16mm、18mm、20mm、22mm、24mm、26mm、28mm、30mm等等。
60.在本发明的一些实施例中，夹持臂1的数量在5个-50个的范围内。例如，夹持臂1的数量可以为：5个、10个、15个、20个、25个、30个、35个、40个、45个、50个等等。
61.在本发明的一些实施例中，承载片盒100还包括：盒本体2，盒本体2限定出浸液腔
21，承载架设于浸液腔21内，硅片通过承载架悬置于浸液腔21。参照图1所示，盒本体2的内部为浸液腔21，承载架位于浸液腔21内，浸液腔21的顶部敞开便于硅片放置在承载架上，硅片被承载架的夹持臂1夹持，从而悬置于浸液腔21内。由此，承载片盒100的整体结构简单，放置硅片的难度低，便于人员操作，提高了生产效率。
62.在本发明的一些实施例中，承载片盒100还包括：防脱架3，防脱架3设于浸液腔21内且位于夹持臂1的下侧，防脱架3包括沿硅片厚度方向延伸的第一杆体31和第二杆体32，第一杆体31和第二杆体32在第一夹臂11的长度方向平行且间隔布置，第一杆体31和第二杆体32之间的间距小于硅片的直径。由此，设置防脱架3避免了硅片从承载片盒100中脱落，从而保证了硅片的腐蚀清洗的质量，提升了硅片的生产效率。
63.参照图1所示，第一杆体31和第二杆体32在前后方向上延伸，第一杆体31和第二杆体32的前端均与盒本体2的前侧壁相连，第一杆体31和第二杆体32的后端均与盒本体2的后侧壁相连，第一杆体31和第二杆体32在左右方向上平行且间隔设置，并且硅片的直径大于等于第一杆体31和第二杆体32间隔的距离。
64.下面将参考图1-图3描述根据本发明一个具体实施例的承载片盒100。
65.参照图1所示，承载片盒100包括承载架、盒本体2和防脱架3，盒本体2内限定出浸液腔21，承载架设置于浸液腔21内，防脱架3也设置于浸液腔21内并且位于承载架的下侧，防脱架3包括平行且间隔设置的第一杆体31和第二杆体32。
66.承载架包括五个夹持臂1，五个夹持臂1在前后方向上均匀间隔布置，每个夹持臂1均包括第一夹臂11和第二夹臂12，每个第一夹臂11均包括第一固定部111和连接在第一固定部111两端的两个第一连接段112，每个第二夹臂12均包括第二固定部121和连接在第二固定部121两端的两个第二连接段122。第一固定部111和第二固定部121之间的距离先逐渐减小再逐渐增大，第一固定部111形成为朝向第二固定部121所在的方向凹陷的弧形板状，第二固定部121形成为朝向第一固定部111所在的方向凹陷的弧形板状，第一固定部111朝向第二固定部121的一侧表面形成有第一抵接面，第二固定部121朝向第一固定部111的一侧表面形成有第二抵接面，第一抵接面和第二抵接面均形成为圆形表面，第一抵接面和第二抵接面之间的距离小于硅片的厚度。
67.使用时，将硅片放置在承载架的夹持臂1上，使硅片在厚度方向上的两侧表面的中间部位分别与第一抵接面和第二抵接面相抵接即可。
68.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
69.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
70.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连
接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
71.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
72.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。