化学气相沉积设备进出水监控装置的制作方法

1.本实用新型涉及的是化学气相沉积设备进出水监控装置。


背景技术：

2.化学气相沉积设备是晶圆生产的重要设备之一，用于在晶圆表面进行化学反应生成薄膜，提高晶圆表面均匀度。其中冷却水监控装置是化学气相沉积设备的重要结构之一，用于控制化学气相沉积设备工艺腔冷却水进出水。
3.现有技术化学气相沉积设备化学气相沉积设备使用的冷却水监控装置(图1)，在使用过程中存在以下问题：1)仅设置机械式流量计，无法准确显示冷却水的压力、温度、流量等参数，导致在产品出现一些问题时，无法进行有效的数据采集和分析；2)进出水都分别只有一个总的开关阀，单独一个工艺腔需要进行保养或处理冷却水问题时，需要将三个工艺腔全部下线，下线后三个工艺腔都需要重新保养，费时费力。


技术实现要素：

4.本实用新型提出的是化学气相沉积设备进出水监控装置，其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷，实现单独控制各工艺腔的进水，并实现对各工艺腔出水的数据采集分析。
5.本实用新型的技术解决方案：化学气相沉积设备进出水监控装置，其结构包括底板，主进水管上端和主出水管上端分别由底板下方穿过底板延伸至底板上方，主进水管上端连通一根以上进水支管的一端，主出水管上端连通一根以上出水支管的一端，进水支管和出水支管外壁都固定在底板顶面上，进水支管的另一端和出水支管的另一端都延伸至底板边缘，靠近进水支管另一端的进水支管上设有球阀，靠近出水支管另一端的出水支管上设有smc流量控制装置，每个工艺腔对应连通一根进水支管和一根出水支管。
6.优选的，所述的进水支管共三根，所述的出水支管共三根，工艺腔共三个。
7.本实用新型的优点：结构设计合理，为每个工艺腔单独的出水管分别配备smc流量控制装置，实现了对每个工艺腔内冷却水出水的压力、温度、流量等的精密实时可视化监控，实现了针对产品工艺参数更好的数据采集和分析，有助于提高产品良率；为每个工艺腔单独的进水管分别配备球阀，实现了对每个工艺腔内冷却水进水的单独开闭，方便单独对对应工艺腔进行保养或处理冷却水问题，节约了耗时和人力。
附图说明
8.图1是现有技术化学气相沉积设备化学气相沉积设备冷却水监控装置的结构示意图。
9.图2是本实用新型化学气相沉积设备进出水监控装置的结构示意图。
10.图3是图2的仰视图.
11.图4是图3的侧视图。
12.图中的1是水车本体、2是主进水管、3是主出水管、4是球阀、5是机械式流量计、6是底板、7是进水支管、8是出水支管、9是smc流量控制装置。
具体实施方式
13.下面结合实施例和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
14.如图2-4所示，化学气相沉积设备进出水监控装置，其结构包括底板6，主进水管2上端和主出水管3上端分别由底板6下方穿过底板6延伸至底板6上方，主进水管2上端连通一根以上进水支管7的一端，主出水管3上端连通一根以上出水支管8的一端，进水支管7和出水支管8外壁都固定在底板6顶面上，进水支管7的另一端和出水支管8的另一端都延伸至底板6边缘，靠近进水支管7另一端的进水支管7上设有球阀4，靠近出水支管8另一端的出水支管8上设有smc流量控制装置9，每个工艺腔对应连通一根进水支管7和一根出水支管8。
15.所述的进水支管7共三根，所述的出水支管8共三根，工艺腔共三个。
16.所述的smc流量控制装置9为现有技术，型号优选为pf3w720，可显示和控制管道内液体压力、温度和流量等。
17.以上所述各部件均为现有技术，本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
18.以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。


技术特征：
1.化学气相沉积设备进出水监控装置，其特征包括底板(6)，主进水管(2)上端和主出水管(3)上端分别由底板(6)下方穿过底板(6)延伸至底板(6)上方，主进水管(2)上端连通一根以上进水支管(7)的一端，主出水管(3)上端连通一根以上出水支管(8)的一端，进水支管(7)和出水支管(8)外壁都固定在底板(6)顶面上，进水支管(7)的另一端和出水支管(8)的另一端都延伸至底板(6)边缘，靠近进水支管(7)另一端的进水支管(7)上设有球阀(4)，靠近出水支管(8)另一端的出水支管(8)上设有smc流量控制装置(9)，每个工艺腔对应连通一根进水支管(7)和一根出水支管(8)。2.如权利要求1所述的化学气相沉积设备进出水监控装置，其特征是所述的进水支管(7)共三根，所述的出水支管(8)共三根，工艺腔共三个。

技术总结
本实用新型是化学气相沉积设备进出水监控装置，其结构是主进水管和主出水管上端分别由底板下方穿过底板延伸至上方，主进水管上端连通进水支管的一端，主出水管上端连通出水支管的一端，靠近进水支管另一端的进水支管上设有球阀，靠近出水支管另一端的出水支管上设有SMC流量控制装置。本实用新型的优点：为每个工艺腔单独的出水管分别配备SMC流量控制装置，实现了对每个工艺腔内冷却水出水的压力、温度、流量等的精密实时可视化监控，实现更好的数据采集和分析，提高产品良率；为每个工艺腔单独的进水管分别配备球阀，实现了对每个工艺腔内冷却水进水的单独开闭，方便单独保养工艺腔或处理冷却水问题，节约了耗时和人力。节约了耗时和人力。节约了耗时和人力。


技术研发人员：孔凡涛 贾云霄 孙海兵
受保护的技术使用者：无锡吉易特半导体科技有限公司
技术研发日：2021.08.05
技术公布日：2022/1/11