低热容量微辐射热计及相关制造方法与流程

技术特征：
1.一种红外成像微辐射热计(10a
‑
10c)，其集成有通过支撑臂(14a
‑
14h)以在基底(30)上方悬架的方式组装的膜(11a
‑
11c)，所述膜(11a
‑
11c)包括：
·
能够捕获红外辐射的吸收材料(13a
‑
13c)；
·
连接到所述吸收材料(13a
‑
13c)的测温材料(12)，所述测温材料(12)能够对由所述吸收材料(13a
‑
13c)捕获的所述红外辐射进行转换；和
·
至少一个中央介电层(18)，其配置在所述吸收材料(13a
‑
13c)和所述测温材料(12)之间；其特征在于：
·
所述测温材料(12)的表面积小于所述膜(11a
‑
11c)的表面积的0.4倍，并且
·
在所述膜(11a
‑
11c)的没有所述测温材料(12)的区域中，在所述吸收材料(13a
‑
13c)中和在所述至少一个中央介电层(18)中形成有凹部(20)。2.根据权利要求1所述的红外成像微辐射热计，其特征在于，所述测温材料(12)沉积在所述吸收材料上方。3.根据权利要求2所述的红外成像微辐射热计，其特征在于，设置有凹部的第二吸收材料(26)配置在所述测温材料(12)上方。4.根据权利要求1和2中任一项所述的红外成像微辐射热计，其特征在于，在所述吸收材料(13b
‑
13c)中，包括在所述膜(11b
‑
11c)的存在有所述测温材料(12)的区域中，有限地形成额外的凹部(29)。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的红外成像微辐射热计，其特征在于，所述测温材料(12)由氧化钒或氧化钛制成。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的红外成像微辐射热计，其特征在于，所述膜(11)还包括布置在所述测温材料(12)上并在所述中央介电层(18)的表面上方延伸的上介电层(19)，所述凹部(20)与所述上介电层(19)交叉。7.根据权利要求1至6中的任一项所述的红外成像微辐射热计，其特征在于，所述膜(11a
‑
11c)还包括配置在所述吸收材料(13)下方并在所述吸收材料(13)的整个表面上延伸的下介电层(17)；所述凹部(20)与所述下介电层(17)交叉。8.根据权利要求1至7中的任一项所述的红外成像微辐射热计，其特征在于，所述膜在所述基底(30)上方的悬架借助于一方面联接到所述膜(11a
‑
11c)并且另一方面联接到刚性地附接到所述基底(30)的四个锚钉(15a
‑
15d)的四个支撑臂(14a
‑
14h)来进行。9.根据权利要求1至8中的任一项所述的成像微辐射热计，其特征在于，所述测温材料(12)的表面积大于所述膜(11a
‑
11c)的表面积的0.1倍。10.一种形成红外成像微辐射热计(10)的方法，包括以下步骤：
·
在基底上结构化至少两个锚钉；
·
在所述基底上沉积牺牲层(31)；
·
在所述牺牲层(31)上沉积(50)下介电层(17)；
·
在所述下介电层(17)上沉积(51)吸收材料(13a
‑
13c)，使得所述吸收材料(13a
‑
13c)电连接到所述锚钉；
·
在所述吸收材料(13a
‑
13c)上沉积(52)中央介电层(18)；
·
局部沉积(53)测温材料(12)，使得所述测温材料(12)的表面积小于所述膜(13a
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13c)的表面积的0.4倍；
·
在不位于所述测温材料(12)之前或竖直地与所述测温材料(12)对齐的部分中形成(55)穿过所述介电层(17
‑
19)和所述吸收材料(13a
‑
13c)的凹部(20)；
·
结构化(55)所述支撑臂(14a
‑
14h)并且界定所述成像微辐射热计(10a
‑
10c)；和
·
清除(56)所述牺牲层(31)。11.根据权利要求10所述的形成红外成像微辐射热计(10a
‑
10c)的方法，其特征在于，形成所述凹部(20)的步骤、结构化所述支撑臂(14a
‑
14h)并且界定所述成像微辐射热计(10a
‑
10c)的步骤通过蚀刻步骤(55)同时进行。12.根据权利要求10或11所述的形成红外成像微辐射热计(10a
‑
10c)的方法，其特征在于，所述方法还包括在所述测温材料(12)和所述中央介电层(18)上沉积(54)上介电层(19)的步骤。

技术总结
本发明涉及一种红外成像微辐射热计(10a)，其集成有通过支撑臂(14a


技术研发人员：N
受保护的技术使用者：丽瑞德公司
技术研发日：2020.05.11
技术公布日：2022/1/3