一种真空镀膜机的分体式镀锅的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空镀膜机的分体式镀锅。


背景技术：

2.真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
3.在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜，为了镀膜的均匀性，具有单个镀锅的真空镀膜机，镀锅会沿着垂直线进行旋转，镀锅的上方与电机等提供驱动力的部件连接，为镀锅的旋转提供动能，镀膜完成后将整个镀锅取下。但是，取下整个镀锅需要拆除镀锅与电机的连接部件，由于镀锅设置在真空镀膜机的腔室的顶部，因此不易取下，另一方面整个镀锅加上固定的被镀膜工件，其重量很大，并且人手不能触碰到被镀膜工件，因此取下镀锅很困难。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种真空镀膜机的分体式镀锅，能够很容易的放置及取下被镀膜工件，并且降低成本。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种真空镀膜机的分体式镀锅，能够很容易的放置及取下被镀膜工件，并且降低成本。
6.本技术的真空镀膜机的分体式镀锅，适用于具有单个镀锅的真空镀膜机，本技术的分体式镀锅的伞面件有多个，准备蒸镀时直接将伞面件放置在骨架上即可进行镀膜，所述分体式镀锅旋转时，由于旋转速度不大及伞面件自身的重力影响，伞面件能够不脱离骨架，镀膜完成后，直接取下伞面件即可。与现有技术相比，一方面不用取下整个镀锅，只需要取下伞面件，并且伞面件没有连接部件，放置和取下都很方便；另一方面伞面件的重量比整个镀锅的重量轻了至少一半，很容易的就能放置和取下伞面件和伞面件上固定的被镀膜工件；并且本技术的分体式镀锅方便运输。本技术人在此基础上完成了本技术。
7.一种真空镀膜机的分体式镀锅，所述分体式镀锅位于真空镀膜机的腔室的顶部，所述分体式镀锅包括骨架1、伞面件2和固定件3，所述骨架1分别与伞面件2和固定件3连接，所述固定件3与骨架1固定并与驱动部件连接，所述驱动部件为所述分体式镀锅提供旋转的动能，所述骨架1包括中心圆环部11、边沿圆环部12和伞骨13，所述中心圆环部11位于边沿圆环部12的上方且中心处，伞骨13的一端连接中心圆环部11另一端连接边沿圆环部12，伞
骨13有多个且均匀分布，中心圆环部11和边沿圆环部12之间被伞骨13形成多个均匀的伞面室14，伞骨13、伞面件2和伞面室14的数量相同，中心圆环部11的外边沿、伞骨13的内边沿和伞骨13的两个侧边沿均为梯形，伞面件2的形状和大小与伞面室14相对应，伞面件2能够放置在伞面室14上，伞面件2包括通孔21，通孔21上能够放置被镀膜工件。
8.在一些实施方式中，所述骨架1具有2
‑
12个伞骨13和伞面室14。优选的，所述骨架1具有2
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6个伞骨13和伞面室14。
9.进一步的，所述中心圆环部11由中心圆环主体部111和中心圆环外边沿部112组成，中心圆环外边沿部112设置在中心圆环主体部111的外边沿，中心圆环外边沿部112的底面与中心圆环主体部111的底面持平，中心圆环外边沿部112的高度小于中心圆环主体部111的高度。
10.进一步的，边沿圆环部12由边沿圆环主体部121和边沿圆环内边沿部122组成，边沿圆环内边沿部122设置在边沿圆环主体部121的内边沿，边沿圆环内边沿部122的底面与边沿圆环主体部121的底面持平，边沿圆环内边沿部122的高度小于边沿圆环主体部121的高度。
11.进一步的，伞骨13由伞骨主体部131和设置在伞骨主体部131的两个侧边沿的伞骨边沿部132组成，伞骨边沿部132的底面与伞骨主体部131的底面持平，伞骨边沿部132的高度小于伞骨主体部131的高度。
12.在一些实施方式中，所述伞面件2还包括把手22，一个伞面件2有两个把手22，两个把手22分别位于伞面件2的两个侧边。
13.进一步的，伞面件2上的通孔21有多个，通孔21均匀分布在伞面件2上。
14.进一步的，伞面件2还包括托盘23、压盖24、和压条25，托盘23为中空的薄片，将被镀膜工件放置在托盘23上，压盖24盖在被镀膜工件上，压条25压住压盖24，使得托盘23、被镀膜工件及压盖24与伞面件2固定。
15.进一步的，托盘23的内直径大于等于通孔21的直径，托盘23的内直径小于被镀膜工件的直径，被镀膜工件的直径大于托盘23的内直径并且小于等于托盘23的外直径，托盘23与伞面件2固定或者分离、或者托盘23为伞面件2的一部分。
16.进一步的，通孔21、托盘23、压盖24的形状与被镀膜工件的形状相对应。
17.进一步的，一个压盖24设置有一个或者多个压条25，压条25的一端通过螺丝与伞面件2连接，压条25能够进行旋转，压条25螺丝固定的这端的水平面高于压条25的另一端，因此压条25的另一端放在压盖24上时，能够对压盖24产生压力，使得托盘23、被镀膜工件及压盖24与伞面件2固定。
18.在一些实施方式中，所述固定件3通过螺丝或螺钉与骨架1的中心圆环部11固定。
19.进一步的，所述固定件3包括外圆环部31、电机连接部32和连接件33，外圆环部31的尺寸与骨架1的中心圆环部11相同，电机连接部32与所述驱动部件连接，电机连接部32位于外圆环部31的中心，连接件33有多个并将外圆环部31与电机连接部32连接固定。
附图说明
20.结合以下附图一起阅读时，将会更加充分地描述本技术内容的上述和其他特征。可以理解，这些附图仅描绘了本技术内容的若干实施方式，因此不应认为是对本技术内容
范围的限定。通过采用附图，本技术内容将会得到更加明确和详细地说明。
21.图1为本技术的真空镀膜机的分体式镀锅的一种结构示意图。
22.图2为本技术的真空镀膜机的分体式镀锅的固定件的结构示意图。
23.图3为本技术实施例1的真空镀膜机的分体式镀锅的骨架的结构示意图。
24.图4为本技术实施例1的真空镀膜机的分体式镀锅的伞面件的结构示意图。
25.图5为本技术的真空镀膜机的分体式镀锅的伞面件的通孔、托盘、压盖和压条的结构示意图。
26.主要元件符号说明：
27.骨架1、伞面件2、固定件3、中心圆环部11、边沿圆环部12、伞骨13、伞面室14、中心圆环主体部111、中心圆环外边沿部112、边沿圆环主体部121、边沿圆环内边沿部122、伞骨主体部131、伞骨边沿部132、通孔21、把手22、托盘23、压盖24、压条25、外圆环部31、电机连接部32、连接件33。
具体实施方式
28.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
29.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
30.同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
31.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
32.实施例1：
33.一种真空镀膜机的分体式镀锅，如图1
‑
图5所示，所述分体式镀锅位于真空镀膜机的腔室的顶部，所述分体式镀锅包括骨架1、伞面件2和固定件3，所述骨架1分别与伞面件2和固定件3连接，所述固定件3与骨架1固定并与驱动部件连接，所述驱动部件为所述分体式镀锅提供旋转的动能，所述骨架1包括中心圆环部11、边沿圆环部12和伞骨13，所述中心圆环部11位于边沿圆环部12的上方且中心处，伞骨13的一端连接中心圆环部11另一端连接边沿圆环部12，伞骨13有多个且均匀分布，中心圆环部11和边沿圆环部12之间被伞骨13形成多个均匀的伞面室14，伞骨13、伞面件2和伞面室14的数量相同，中心圆环部11的外边沿、伞骨13的内边沿和伞骨13的两个侧边沿均为梯形，伞面件2的形状和大小与伞面室14相对应，
伞面件2能够放置在伞面室14上，伞面件2包括通孔21，通孔21上能够放置被镀膜工件。
34.骨架1具有3个伞骨13和伞面室14，伞面件2为120度的扇形结构。所述中心圆环部11由中心圆环主体部111和中心圆环外边沿部112组成，中心圆环外边沿部112设置在中心圆环主体部111的外边沿，中心圆环外边沿部112的底面与中心圆环主体部111的底面持平，中心圆环外边沿部112的高度小于中心圆环主体部111的高度。边沿圆环部12由边沿圆环主体部121和边沿圆环内边沿部122组成，边沿圆环内边沿部122设置在边沿圆环主体部121的内边沿，边沿圆环内边沿部122的底面与边沿圆环主体部121的底面持平，边沿圆环内边沿部122的高度小于边沿圆环主体部121的高度。伞骨13由伞骨主体部131和设置在伞骨主体部131的两个侧边沿的伞骨边沿部132组成，伞骨边沿部132的底面与伞骨主体部131的底面持平，伞骨边沿部132的高度小于伞骨主体部131的高度。
35.所述伞面件2还包括把手22，一个伞面件2有两个把手22，两个把手22分别位于伞面件2的两个侧边。伞面件2上的通孔21有多个，通孔21均匀分布在伞面件2上。伞面件2还包括托盘23、压盖24、和压条25，托盘23为中空的薄片，将被镀膜工件放置在托盘23上，压盖24盖在被镀膜工件上，压条25压住压盖24，使得托盘23、被镀膜工件及压盖24与伞面件2固定。托盘23的内直径大于等于通孔21的直径，托盘23的内直径小于被镀膜工件的直径，被镀膜工件的直径大于托盘23的内直径并且小于等于托盘23的外直径，托盘23与伞面件2固定或者分离、或者托盘23为伞面件2的一部分。通孔21、托盘23、压盖24的形状与被镀膜工件的形状相对应。一个压盖24设置有3个压条25，压条25的一端通过螺丝与伞面件2连接，压条25能够进行旋转，压条25螺丝固定的这端的水平面高于压条25的另一端，因此压条25的另一端放在压盖24上时，能够对压盖24产生压力，使得托盘23、被镀膜工件及压盖24与伞面件2固定。所述固定件3通过螺丝或螺钉与骨架1的中心圆环部11固定。所述固定件3包括外圆环部31、电机连接部32和连接件33，外圆环部31的尺寸与骨架1的中心圆环部11相同，电机连接部32与所述驱动部件连接，电机连接部32位于外圆环部31的中心，连接件33有多个并将外圆环部31与电机连接部32连接固定。
36.实施例2：
37.一种真空镀膜机的分体式镀锅，如图1
‑
2、5所示，所述分体式镀锅位于真空镀膜机的腔室的顶部，所述分体式镀锅包括骨架1、伞面件2和固定件3，所述骨架1分别与伞面件2和固定件3连接，所述固定件3与骨架1固定并与驱动部件连接，所述驱动部件为所述分体式镀锅提供旋转的动能，所述骨架1包括中心圆环部11、边沿圆环部12和伞骨13，所述中心圆环部11位于边沿圆环部12的上方且中心处，伞骨13的一端连接中心圆环部11另一端连接边沿圆环部12，伞骨13有多个且均匀分布，中心圆环部11和边沿圆环部12之间被伞骨13形成多个均匀的伞面室14，伞骨13、伞面件2和伞面室14的数量相同，中心圆环部11的外边沿、伞骨13的内边沿和伞骨13的两个侧边沿均为梯形，伞面件2的形状和大小与伞面室14相对应，伞面件2能够放置在伞面室14上，伞面件2包括通孔21，通孔21上能够放置被镀膜工件。
38.所述骨架1具有4个伞骨13和伞面室14，伞面件2为90度的扇形结构。所述中心圆环部11由中心圆环主体部111和中心圆环外边沿部112组成，中心圆环外边沿部112设置在中心圆环主体部111的外边沿，中心圆环外边沿部112的底面与中心圆环主体部111的底面持平，中心圆环外边沿部112的高度小于中心圆环主体部111的高度。边沿圆环部12由边沿圆环主体部121和边沿圆环内边沿部122组成，边沿圆环内边沿部122设置在边沿圆环主体部
121的内边沿，边沿圆环内边沿部122的底面与边沿圆环主体部121的底面持平，边沿圆环内边沿部122的高度小于边沿圆环主体部121的高度。伞骨13由伞骨主体部131和设置在伞骨主体部131的两个侧边沿的伞骨边沿部132组成，伞骨边沿部132的底面与伞骨主体部131的底面持平，伞骨边沿部132的高度小于伞骨主体部131的高度。
39.所述伞面件2还包括把手22，一个伞面件2有两个把手22，两个把手22分别位于伞面件2的两个侧边。伞面件2上的通孔21有多个，通孔21均匀分布在伞面件2上。伞面件2还包括托盘23、压盖24、和压条25，托盘23为中空的薄片，将被镀膜工件放置在托盘23上，压盖24盖在被镀膜工件上，压条25压住压盖24，使得托盘23、被镀膜工件及压盖24与伞面件2固定。托盘23的内直径大于等于通孔21的直径，托盘23的内直径小于被镀膜工件的直径，被镀膜工件的直径大于托盘23的内直径并且小于等于托盘23的外直径，托盘23与伞面件2固定或者分离、或者托盘23为伞面件2的一部分。通孔21、托盘23、压盖24的形状与被镀膜工件的形状相对应。一个压盖24设置有3个压条25，压条25的一端通过螺丝与伞面件2连接，压条25能够进行旋转，压条25螺丝固定的这端的水平面高于压条25的另一端，因此压条25的另一端放在压盖24上时，能够对压盖24产生压力，使得托盘23、被镀膜工件及压盖24与伞面件2固定。所述固定件3通过螺丝或螺钉与骨架1的中心圆环部11固定。所述固定件3包括外圆环部31、电机连接部32和连接件33，外圆环部31的尺寸与骨架1的中心圆环部11相同，电机连接部32与所述驱动部件连接，电机连接部32位于外圆环部31的中心，连接件33有多个并将外圆环部31与电机连接部32连接固定。
40.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。