一种真空蒸镀机的闷板密封结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的闷板密封结构。


背景技术：

2.真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
3.在真空蒸镀的加工工艺中，先采用粗抽泵和精抽泵对真空镀膜机的腔室内抽真空，然后在真空条件下，采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜的过程中，需要先对真空蒸镀机的主腔室内抽真空，主腔室与主阀连接，主阀内设置有抽真空泵，抽真空泵用于将主腔室和主阀内的空气抽真空，主阀下端的法兰与冷泵连接，冷泵用于制冷和抽气，主阀的下端具有一个很大的通孔，通孔上设置有闷板，闷板与连接杆连接固定，连接杆与气缸连接，气缸运动带动连接杆和闷板上下运动，使得闷板打开通孔或者关闭通孔。由于经常打开或者关系闷板，使得闷板的密封圈在使用一段时间后，该密封圈的一部分的部位容易凸出来，影响密封性能。
4.有鉴于此，本实用新型提供一种真空蒸镀机的闷板密封结构，使得闷板的密封性能好，并且成本低。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于，提供一种真空蒸镀机的闷板密封结构，使得闷板的密封性能好，并且成本低。
6.本技术的真空蒸镀机的闷板密封结构，将密封槽设置在闷板的下表面内，并且密封槽位于在闷板靠近边沿处，在主阀底部的通孔上方设置了中空圆环形的连接桥，闷板密封时密封圈与连接桥的上表面接触起到密封的作用，结构简单并且密封方便成本低；并且密封槽和密封圈设置了两个，起到了双重密封的作用；同时密封槽的横截面为梯形，增大了密封圈与密封槽的上底之间的阻力系数，密封槽对密封圈的卡合力增大，并增大了密封圈与密封槽之间的间隙的空间，密封圈受到挤压时密封圈与密封槽之间的间隙能够容纳密封圈的形变量增大，提高密封性。本技术人在此基础上完成了本技术。
7.一种真空蒸镀机的闷板密封结构，闷板设置在真空蒸镀机的主阀内，闷板位于主阀底部通孔的上方，所述闷板为圆形薄板，闷板的上表面固定有连接杆，连接杆的上端凸出于主阀的顶板并且与气缸连接，气缸运动带动连接杆和闷板上下运动，其特征在于，所述闷
板密封结构包括密封槽1和密封圈2，密封槽1设置在闷板的下表面内，密封槽1为圆环形，密封圈2设置在密封槽1内，密封圈2的横截面为圆形，主阀底部的通孔上方设置有中空圆环形的连接桥3，连接桥3的内直径与主阀底部的通孔的直径相同，密封槽1设置在闷板下表面的相对应于连接桥3的位置，密封槽1和密封圈2均有两个，两个密封槽1之间具有间距，闷板密封时两个密封圈2与连接桥3的上表面接触，所述密封槽1的横截面为梯形，密封槽1的上底11的所在面为闷板的下表面，密封槽1的下底12在闷板内部，密封槽1的高度小于闷板的厚度。
8.在一些实施方式中，所述密封槽1的高度为闷板厚度的1/5
‑
4/5，密封槽1的上底11和下底12的长度均小于连接桥3的宽度。
9.进一步的，密封槽1的高度大于等于密封圈2的直径的2/3且小于密封圈2的直径，密封圈2的一部分在密封槽1内另一部分凸出于密封槽1外。
10.进一步的，闷板密封时，密封圈2的上表面与密封槽1的下底12接触，密封圈2的下表面与连接桥3的上表面接触，打开闷板时，密封圈2的上表面与密封槽1的下底12之间具有间隙。
11.进一步的，密封圈2为天然橡胶、硅橡胶、乙丙橡胶、丁腈橡胶或氟化橡胶中的一种。
12.在一些实施方式中，两个密封槽1之间的间距为5mm
‑
100mm，两个密封槽1的尺寸相同或者不相同。
13.进一步优选的，两个密封槽1之间的间距为10mm
‑
50mm，两个密封槽1的尺寸相同。
14.在一些实施方式中，所述密封槽1的横截面的形状为普通梯形、等腰梯形或直角梯形中的一种，两个密封槽1的横截面的形状相同或者不相同。
15.进一步优选的，密封槽1的横截面为等腰梯形或普通梯形，两个密封槽1的横截面的形状相同。
16.进一步的，密封槽1的上底11的长度为10
‑
14mm，密封槽1的高为8
‑
10mm，密封槽1的下底12的长度为13
‑
16mm，密封槽1的两个腰与下底12之间的夹角为20
°‑
60
°
。
17.在一些实施方式中，所述连接桥3的宽度大于两个密封圈2之间的间距，连接桥3的外直径与闷板的直径相同，连接桥3的高度为5mm
‑
20mm。
附图说明
18.图1为本技术的真空蒸镀机的闷板密封结构及主阀的结构示意图。
19.图2为本技术的真空蒸镀机的闷板密封结构及主阀的剖视图。
20.图3为本技术的图2的a处的局部放大图。
21.主要元件符号说明：
22.密封槽1、密封圈2、上底11、下底12、连接桥3。
具体实施方式
23.描述以下实施例以辅助对本技术的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本技术的保护范围。
24.在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单
独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
25.同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
26.在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
27.实施例1：
28.一种真空蒸镀机的闷板密封结构，如图1
‑
图3所示，闷板设置在真空蒸镀机的主阀内，闷板位于主阀底部通孔的上方，所述闷板为圆形薄板，闷板的上表面固定有连接杆，连接杆的上端凸出于主阀的顶板并且与气缸连接，气缸运动带动连接杆和闷板上下运动，所述闷板密封结构包括密封槽1和密封圈2，密封槽1设置在闷板的下表面内，密封槽1为圆环形，密封圈2设置在密封槽1内，密封圈2的横截面为圆形，主阀底部的通孔上方设置有中空圆环形的连接桥3，连接桥3的内直径与主阀底部的通孔的直径相同，密封槽1设置在闷板下表面的相对应于连接桥3的位置，密封槽1和密封圈2均有两个，两个密封槽1之间具有间距，闷板密封时两个密封圈2与连接桥3的上表面接触，所述密封槽1的横截面为梯形，密封槽1的上底11的所在面为闷板的下表面，密封槽1的下底12在闷板内部，密封槽1的高度小于闷板的厚度。
29.所述密封槽1的高度为闷板厚度的1/5
‑
4/5，密封槽1的上底11和下底12的长度均小于连接桥3的宽度。密封槽1的高度大于等于密封圈2的直径的2/3且小于密封圈2的直径，密封圈2的一部分在密封槽1内另一部分凸出于密封槽1外。闷板密封时，密封圈2的上表面与密封槽1的下底12接触，密封圈2的下表面与连接桥3的上表面接触，打开闷板时，密封圈2的上表面与密封槽1的下底12之间具有间隙，密封圈2为丁腈橡胶。两个密封槽1之间的间距为30mm，两个密封槽1的尺寸相同。密封槽1的横截面为等腰梯形，两个密封槽1的横截面的形状相同。密封槽1的上底11的长度为12mm，密封槽1的高为9mm，密封槽1的下底12的长度为15mm，密封槽1的两个腰与下底12之间的夹角为45
°
。所述连接桥3的宽度大于两个密封圈2之间的间距，连接桥3的外直径与闷板的直径相同，连接桥3的高度为10mm。
30.尽管本技术已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本技术公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本技术，本技术的实际保护范围以权利要求为准。