带隔板的密闭腔体的制作方法

1.本实用新型涉及激光退火设备技术领域，尤其涉及一种带隔板的密闭腔体。


背景技术：

2.激光退火是一种利用激光对材料进行退火处理的加工方法。激光退火一般是在激光退火装置内进行，激光退火装置的装置主体内设置有密闭的腔体，激光退火则在该密闭的腔体内进行。为了保护工件不被氧化，需要在腔体内充入氮气，通过氮气对工件进行保护。而现有技术中，用于激光退火的腔体较大，氮气使用量较大，且要满足腔体内氧气浓度达到小于1ppm的指标的所需的时间较长，也就是充氮气的时间较长。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种带隔板的密闭腔体，以解决现有技术中进行激光退火时氮气使用量较大，且充氮气的时间较长的问题。
4.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.一种带隔板的密闭腔体，其中，包括：
6.装置主体，所述装置主体内设置有腔体，所述腔体用于填充氮气，以进行激光退火；所述装置主体包括相对设置的两个侧板，其中一个所述侧板上设置有进气口，另一个所述侧板上设置有排气口；
7.隔板，设于所述腔体中，所述隔板将所述腔体分成上下两个腔体，所述进气口用于向上腔体中注入氮气，所述排气口用于将所述上腔体中的氮气排出。
8.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述密闭腔体还包括：
9.匀流腔，设于所述进气口与所述上腔体之间，以及设于所述上腔体与所述排气口之间；所述匀流腔为多个，多个所述匀流腔沿着氮气流的流动方向依次设置。
10.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，相邻的所述匀流腔之间通过隔离板隔开，所述隔离板上设置有气孔，且每一所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量不一致，由外到内的方向上，所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量逐渐增加。
11.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述匀流腔为三个，分别为由外到内依次设置的第一匀流腔、第二匀流腔及第三匀流腔。
12.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第一匀流腔与所述第二匀流腔之间设置第一隔离板，所述第二匀流腔与所述第三匀流腔之间设置第二隔离板，所述第三匀流腔与所述上腔体之间设置第三隔离板；
13.所述第一隔离板上的所述气孔数量为15
‑
25个，所述第二隔离板上的所述气孔数量为35
‑
45个，所述第三隔离板上的所述气孔数量为300
‑
380个。
14.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第一隔离板上的所述气孔数量为20个，所述第二隔离板上的所述气孔数量为40个，所述第三隔离板上的所述气孔数量为340个。
15.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述隔离板与所述侧板一体成型,以使所述第一匀流腔、所述第二匀流腔及所述第三匀流腔形成在所述侧板内。
16.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第一匀流腔位于所述第二匀流腔和所述第三匀流腔的下方。
17.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述第二匀流腔与所述第三匀流腔沿所述侧板的厚度方向叠设。
18.作为上述带隔板的密闭腔体的一种可选方案，所述进气口和所述排气口均为两个，两个进气口和两个排气口均沿所述侧板的长度方向间隔分布。
19.本实用新型的有益之处在于：在装置主体的腔体中设置了隔板，将腔体分成上下两个腔体，激光退火操作在上腔体中进行，下腔体则用于进行其它操作，设置了隔板使得进行激光退火操作的空间缩小，减少了氮气的使用量，同时使上腔体内达到氧气浓度小于1ppm的指标的时间较短，缩短了充氮气所需的时间。
附图说明
20.图1是本实用新型中密闭腔体实施例的结构示意图；
21.图2是本实用新型中密闭腔体实施例的侧视结构示意图；
22.图3是本实用新型中侧板的截面结构示意图。
23.图中：
24.100、密闭腔体；110、装置主体；111、腔体；1111、隔板；112、侧板；1121、进气口；1123、气孔；113、匀流腔；1131、第一匀流腔；1132、第二匀流腔；1133、第三匀流腔；114、第一隔离板；115、第二隔离板；116、第三隔离板。
具体实施方式
25.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
26.请参考图1和图2，本实用新型提供了一种带隔板的密闭腔体，如图1及图2所示，密闭腔体100包括装置主体110，装置主体110内设置有腔体111，腔体111为密闭腔体，用于填充氮气，以进行激光退火。需要说明的是，腔体111内也可以进行除了激光退火以外的其它工艺操作。腔体111中设置有隔板1111，隔板1111将腔体111分成上下两个腔体，激光退火操作可在上腔体中进行，下腔体则用于进行其它工艺操作，这样就缩小了用于进行激光退火操作的腔体的空间，减少了氮气的使用量，同时使上腔体内达到氧气浓度小于1ppm的指标的时间较短，缩短了充氮气所需的时间，提升了激光退火的效率。
27.如图1所示，装置主体110包括相对设置的两个侧板112，其中一个侧板112上设置有进气口1121，另一个侧板112上设置有排气口，进气口1121用于向上腔体中注入氮气，排气口用于将上腔体中的氮气排出。将进气口1121和排气口分别设置在两个相对的侧板112上有利于整体结构的布置和气管的布置。
28.另外，本实用新型的密闭腔体100还包括匀流腔113，匀流腔113设置在进气口1121与上腔体之间，以及设置在上腔体与排气口之间。进气时，氮气从进气口1121进入，经过进
气侧的匀流腔113后进入上腔体；排气时，上腔体中的氮气经过排气侧的匀流腔113后从排气口排出。设置匀流腔113使得氮气可以较均匀平缓的流入和流出上腔体，使上腔体内的氮气浓度较均匀，也可以降低氮气的使用量，同时还可以缩短充氮气所需的时间。
29.于一实施例中，匀流腔113为多个，多个匀流腔113沿着氮气流的流动方向依次设置。设置多个匀流腔113使氮气依次流过各个匀流腔113可提升匀流效果。
30.相邻的匀流腔113之间通过隔离板隔开，隔离板上设置有气孔1123，每块隔离板上的气孔1123的数量不一致，在由外到内的方向上，隔离板上的气孔1123的数量逐渐增加。具体的，参考图3，于一实施例中，匀流腔113为三个，分别为由外到内依次设置的第一匀流腔1131、第二匀流腔1132及第三匀流腔1133。如图3所示，这里所说的由外到内是以进气侧为例，沿着氮气的流动方向由远离上腔体的方向到靠近上腔体的方向。排气侧的匀流腔113和隔离板结构与进气侧对称设置。如图3所示，第一匀流腔1131与第二匀流腔1132之间设置第一隔离板114，第二匀流腔1132与第三匀流腔1133之间设置第二隔离板115，第三匀流腔1133与上腔体之间设置第三隔离板116。第一隔离板114上的气孔1123数量为15
‑
25个，第二隔离板115上的气孔1123数量为35
‑
45个，第三隔离板116上的气孔1123数量为300
‑
380个。从第一隔离板114到第二隔离板115再到第三隔离板116，气孔1123数量依次增加，形成静压腔，第三隔离板116上的气孔1123数量最多，可使气孔1123布满第三隔离板116上，使氮气从上腔体的各处均匀输入，提升充气效率，减少氮气用量。设置三个匀流腔113可以在保证匀流效果的同时，使匀流腔113的数量不会太多，缩小整体的体积，简化结构，控制成本。
31.于一实施例中,第一隔离板114上的气孔1123数量为20个，第二隔离板115上的气孔1123数量为40个，第三隔离板116上的气孔1123数量为340个。
32.请参考图3，隔离板与侧板112一体成型,使得第一匀流腔1131、第二匀流腔1132及第三匀流腔1133形成在侧板112内。也就是说在侧板112内加工出第一隔离板114、第二隔离板115及第三隔离板116，从而在侧板112中就形成了第一匀流腔1131、第二匀流腔1132及第三匀流腔1133。将隔离板集成在侧板112中可缩小整个装置的体积，减轻重量。
33.进一步的，如图3所示，第一匀流腔1131位于第二匀流腔1132和第三匀流腔1133的下方。进气口1121与第一匀流腔1131连通，如图3所示，氮气从进气口1121进入第一匀流腔1131后向上走流入第二匀流腔1132再流入第三匀流腔1133后，进入上腔体。将第一匀流腔1131设置在第二匀流腔1132和第三匀流腔1133的下方，可充分利用侧板112高度方向的空间，减小侧板112的厚度。
34.请继续参考图3，第二匀流腔1132与第三匀流腔1133沿侧板112的厚度方向叠设，这样就使得在不用增加侧板112原有厚度的情况下完成第一匀流腔1131、第二匀流腔1132和第三匀流腔1133的布置，使整体结构的布置达到最优。
35.如图3所示，进气口1121和排气口均为两个，两个进气口1121和两个排气口均沿侧板112的长度方向间隔设置。设置两个进气口1121和两个排气口可分别增加进气量和排气量，提升效率。
36.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理
解上述术语在本实用新型中的具体含义。
37.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。
38.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
39.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。