带隔板的密闭腔体的制作方法

技术特征：
1.一种带隔板的密闭腔体，其特征在于，包括：装置主体(110)，所述装置主体(110)内设置有腔体(111)，所述腔体(111)用于填充氮气，以进行激光退火；所述装置主体(110)包括相对设置的两个侧板(112)，其中一个所述侧板(112)上设置有进气口(1121)，另一个所述侧板(112)上设置有排气口；隔板(1111)，设于所述腔体(111)中，所述隔板(1111)将所述腔体(111)分成上下两个腔体，所述进气口(1121)用于向上腔体中注入氮气，所述排气口用于将所述上腔体中的氮气排出。2.根据权利要求1所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，还包括：匀流腔(113)，设于所述进气口(1121)与所述上腔体之间，以及设于所述上腔体与所述排气口之间；所述匀流腔(113)为多个，多个所述匀流腔(113)沿着氮气流的流动方向依次设置。3.根据权利要求2所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，相邻的所述匀流腔(113)之间通过隔离板隔开，每一所述隔离板上均设置有气孔(1123)，且每一所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量不一致，由外到内的方向上，所述隔离板上的所述气孔(1123)的数量逐渐增加。4.根据权利要求3所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述匀流腔(113)为三个，分别为由外到内依次设置的第一匀流腔(1131)、第二匀流腔(1132)及第三匀流腔(1133)。5.根据权利要求4所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述第一匀流腔(1131)与所述第二匀流腔(1132)之间设置第一隔离板(114)，所述第二匀流腔(1132)与所述第三匀流腔(1133)之间设置第二隔离板(115)，所述第三匀流腔(1133)与所述上腔体之间设置第三隔离板(116)；所述第一隔离板(114)上的所述气孔(1123)数量为15
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25个，所述第二隔离板(115)上的所述气孔(1123)数量为35
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45个，所述第三隔离板(116)上的所述气孔(1123)数量为300
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380个。6.根据权利要求5所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述第一隔离板(114)上的所述气孔(1123)数量为20个，所述第二隔离板(115)上的所述气孔(1123)数量为40个，所述第三隔离板(116)上的所述气孔(1123)数量为340个。7.根据权利要求4所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述隔离板与所述侧板(112)一体成型,以使所述第一匀流腔(1131)、所述第二匀流腔(1132)及所述第三匀流腔(1133)形成在所述侧板(112)内。8.根据权利要求7所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述第一匀流腔(1131)位于所述第二匀流腔(1132)和所述第三匀流腔(1133)的下方。9.根据权利要求8所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述第二匀流腔(1132)与所述第三匀流腔(1133)沿所述侧板(112)的厚度方向叠设。10.根据权利要求1至9任一项所述的带隔板的密闭腔体，其特征在于，所述进气口(1121)和所述排气口均为两个，两个所述进气口(1121)和两个所述排气口均沿所述侧板(112)的长度方向间隔设置。

技术总结
本申请公开了一种带隔板的密闭腔体。密闭腔体包括：装置主体，装置主体内设置有腔体，腔体用于填充氮气，以进行激光退火；装置主体包括相对设置的两个侧板，其中一个侧板上设置有进气口，另一个侧板上设置有排气口；隔板，设于腔体中，隔板将腔体分成上下两个腔体，进气口用于向上腔体中注入氮气，排气口用于将上腔体中的氮气排出。本申请能快速的向进行激光退火的腔体中注满氮气，且能降低氮气的使用量、确保氮气均匀平稳的向腔体内输送。保氮气均匀平稳的向腔体内输送。保氮气均匀平稳的向腔体内输送。


技术研发人员：王飞 罗兵
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：2021.06.30
技术公布日：2021/12/11