可在线清洁的载板的制作方法

1.本实用新型涉及一种可在线清洁的载板。


背景技术：

2.载板承载着硅片进入pecvd腔室进行非晶硅薄膜沉积，载板的表面清洁程度影响着硅片的镀膜质量，因此当pecvd腔室和载板表面镀膜材料沉积到一定厚度时，必须进行清洁处理。
3.现有载板，要么需要在pecvd腔室以外的地方用机械打磨或化学腐蚀的方式进行清洁，导致生产节奏受到严重影响或需多配置替换载板减少生产节奏的影响；要么容易弯曲变形，导致载板传动困难或硅片平整度不佳造成镀膜质量不佳等缺陷。
4.因此为了解决上述存在的技术问题，需要设计一种可在线清洁不易变形的太阳能电池镀膜载板，


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种可在线清洁的载板，既能在腔室进行在线清洁，延长生产时间，提高设备利用率，且保证载板长期运行不容易变形，又能在保养后快速恢复膜层质量。
6.本实用新型的目的通过如下技术方案实现：
7.一种可在线清洁的载板，它包括主载板和嵌设于主载板上的子载板；所述主载板上设有若干个用于容置子载板的子载板凹槽；所述子载板设有一个以上用于承载基片的基片凹槽，所述基片凹槽底面的中部镂空；所述主载板包括主要由碳纤维复合材料制成的主体以及包覆在主体外且主要由类金刚石膜或复合陶瓷膜制成的保护膜；所述子载板主要由铝合金制成。
8.较之现有技术而言，本实用新型的优点在于：
9.(1)主载板的主体为碳纤维复合材质，子载板为铝制材质，两种材质都可耐含氟气体刻蚀，可以在腔室内进行在线清洁；
10.(2)主载板主体表面附有一层保护膜，可以进一步增强耐含氟气体的刻蚀，同时防止碳纤维复合材质高温溢气，影响镀膜效果。
11.(3)碳纤维主载板不易变形，铝材质子载板因面积小，在冷热循环中可以充分释放应力，也不易变形，两者组合可以避免载板变形导致的膜层异常；
12.(4)主载板为实心结构，可以避免镀膜时产生背面绕镀。
附图说明
13.图1是本实用新型一种可在线清洁的载板的实施例的结构剖视简图。
14.图2是图1中主载板的平面图。
15.图3是图1中子载板的平面图。
16.图4是图1的平面图。
具体实施方式
17.下面结合说明书附图和实施例对本

技术实现要素：
进行详细说明：
18.如图1至图4所示为本实用新型提供的一种可在线清洁的载板的实施例示意图。
19.一种可在线清洁的载板，它包括主载板11和嵌设于主载板11上的子载板13；所述主载板11上设有若干个用于容置子载板的子载板凹槽12；所述子载板设有一个以上用于承载基片的基片凹槽14，所述基片凹槽14底面的中部镂空；所述主载板包括主要由碳纤维复合材料制成的主体以及包覆在主体外且主要由类金刚石膜或复合陶瓷膜制成的保护膜；所述子载板主要由铝合金制成。
20.所述子载板凹槽12的边缘尺寸不小于子载板13的外周尺寸，方便子载板内嵌在子载板凹槽中以及自由的取出更换。
21.所述子载板13与基片15无接触的区域表面进行粗糙处理，以增强膜层结合力，可以减少因膜层累积造成的载板脱膜现象。


技术特征：
1.一种可在线清洁的载板，其特征在于：它包括主载板和嵌设于主载板上的子载板；所述主载板上设有若干个用于容置子载板的子载板凹槽；所述子载板设有一个以上用于承载基片的基片凹槽，所述基片凹槽底面的中部镂空；所述主载板包括主要由碳纤维复合材料制成的主体以及包覆在主体外且主要由类金刚石膜或复合陶瓷膜制成的保护膜；所述子载板主要由铝合金制成。2.根据权利要求1所述的可在线清洁的载板，其特征在于：所述子载板凹槽的边缘尺寸不小于子载板的外周尺寸。3.根据权利要求1或2所述的可在线清洁的载板，其特征在于：所述子载板与基片无接触的区域表面进行粗糙处理。

技术总结
本实用新型涉及一种可在线清洁的载板，它包括主载板和嵌设于主载板上的子载板；所述主载板上设有若干个用于容置子载板的子载板凹槽；所述子载板设有一个以上用于承载基片的基片凹槽，所述基片凹槽底面的中部镂空；所述主载板包括主要由碳纤维复合材料制成的主体以及包覆在主体外且主要由类金刚石膜或复合陶瓷膜制成的保护膜；所述子载板主要由铝合金制成。本实用新型的目的在于提供一种可在线清洁的载板，既能在腔室进行在线清洁，延长生产时间，提高设备利用率，且保证载板长期运行不容易变形，又能在保养后快速恢复膜层质量。又能在保养后快速恢复膜层质量。又能在保养后快速恢复膜层质量。


技术研发人员：林锦山 谢志刚 王树林 廖培灿 黄天福
受保护的技术使用者：福建金石能源有限公司
技术研发日：2021.04.30
技术公布日：2021/12/7