一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置的制作方法

1.本技术涉及真空镀膜设备技术领域，特别是涉及一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置。


背景技术：

2.针对两种不同镀膜材料的静态阵列式镀膜连续设备通常配备多个相邻工艺腔体，两个相邻腔体之间由具有方向性的翻板阀进行真空隔离或气氛隔离，当设备出现故障时，则需要单独对某一腔室进行检修或保养，第一道工序是对该腔体进行破真空处理，现有镀膜设备中无法控制单一腔体的破空，且破空后相邻腔体间存在压差，大气压的反作用有可能导致翻板阀受损，导致无法继续起到真空隔离或气氛隔离的作用。


技术实现要素：

3.针对现有技术问题，本技术提供了一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置，能够实现单个工艺腔体破空，减少维护时间，降低维护成本。
4.本技术提供的一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置，包括至少两个经翻板阀连通的腔室，所述翻板阀包括：
5.壳体，所述壳体的两相对侧分别开设有连通口，各连通口与相应的腔室相通，在所述壳体内带有处于两个连通口之间的隔离门洞；
6.两阀板，转动安装于所述壳体内、且分别处在所述隔离门洞的两侧，所述两阀板在工作状态下分别密封贴靠在所述隔离门洞的两侧；
7.驱动机构，安装于所述壳体的外部，且与所述两阀板联动。
8.以下还提供了若干可选方式，但并不作为对上述总体方案的额外限定，仅仅是进一步的增补或优选，在没有技术或逻辑矛盾的前提下，各可选方式可单独针对上述总体方案进行组合，还可以是多个可选方式之间进行组合。
9.可选的，所述壳体的内部被所述隔离门洞分隔为两个阀板室，所述壳体还开设有与各阀板室相连通的检修口。
10.可选的，所述壳体整体上为立方结构，具有相对布置的两个第一侧壁，以及两相对布置的两个第二侧壁，各连通口开设于相应的第一侧壁，各检修口开设于相应的第二侧壁。
11.可选的，所述第一侧壁带有凸设的外边缘，所述外边缘形成用于与腔室室壁相连的法兰结构。
12.可选的，各阀板通过立置的枢轴转动安装于所述壳体内，所述枢轴的顶端穿过所述壳体的顶壁，穿过部分与所述驱动机构联动。
13.可选的，所述枢轴与所述驱动机构之间采用相互啮合的齿轮、齿条传动配合。
14.可选的，所述驱动机构为两套，独立控制对应的一根枢轴。
15.可选的，两阀板的枢轴布置在隔离门洞的宽度方向上的两侧或同侧。
16.可选的，所述驱动机构采用气缸或直线电机。
17.本技术真空装置具有可独立控制的两阀板，便于单个腔室的破真空，操作简单，有效降低维护和检修的成本。
附图说明
18.图1为本技术一实施例中真空装置的结构示意图；
19.图2为两阀板的工作状态示意图；
20.图3为翻板阀的立体结构示意图；
21.图4为打开第一阀板时翻板阀的结构示意图；
22.图5为关闭第一阀板使翻板阀的结构示意图；
23.图6为图1的俯视图；
24.图7为现有的真空装置的结构简图。
25.图中附图标记说明如下：
26.10、第一腔室；
27.20、第二腔室；
28.30、翻板阀；31、壳体；311、第一侧壁；3111、第一连通口；3112、第二连通口；3113、法兰结构；312、第二侧壁；3121、第一检修口；3122、第二检修口；313、隔离门洞；32、第一阀室；33、第二阀室；34、第一阀板；341、第一枢轴；35、第二阀板；351、第二枢轴；36、驱动机构；37、齿条；38、轮齿；39、连接板。
具体实施方式
29.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
30.需要说明的是，当组件被称为与另一个组件“连接”时，它可以直接与另一个组件连接或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
31.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是在于限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
32.现有的静态阵列式镀膜设备包含多个相邻的隔离腔室，相邻腔室之间设有隔离门洞，并由单个翻板阀隔离，翻板阀具有方向性，只能在单侧进行旋转，其中一腔室破空后，两相邻腔室产生压差，翻板阀受大气压的反作用容易损坏，影响后续的正常工作。如图7所示，第一腔室10与第二腔室20相邻设置，翻板阀30位于第一腔室10一侧，图中箭头表示阀板的旋转方向；当第二腔室20出现故障时，需对第二腔室10进行破空，为了保持第一腔室10的真空度，可关闭翻板阀30；破空后，两腔室之间存在的压差对翻板阀30产生反作用力，影响密封效果，甚至导致翻板阀30的损坏。同理，若将翻板阀30安装在第二腔室20一侧，则很难实现第一腔室10的单独破空。
33.为解决上述技术问题，本技术一实施例中提供的适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置，它包括至少两个经翻板阀30连通的腔室，其中，翻板阀30包括壳体31、两阀板和驱动机构36。
34.壳体31的两相对侧分别开设有连通口，各连通口与相应的腔室相通，在壳体31内带有处于两个连通口之间的隔离门洞313；阀板转动安装于壳体31内、且分别处在隔离门洞313的两侧，两阀板在工作状态下分别密封贴靠在隔离门洞313的两侧；驱动机构36安装于壳体31的外部，且与两阀板联动。
35.工作状态下，各腔室为真空状态，待镀膜的基材从快速进出各腔室，当某一腔室出现故障，需破真空进行检修时，关闭待检修腔室所在的翻板阀即可解决翻板阀容易损坏的问题，具体阐述如下：
36.参见图1～3，以其中两个相邻腔室为例，壳体31上设有四个连通口，水平方向上，壳体31一侧的第一连通口3111与第一腔室10连通，另一侧的第二连通口3112与第二腔室20连通，隔离门洞313的两阀板分别为第一阀板34和第二阀板35，两阀板的打开和关闭受驱动机构36的控制。
37.正常工作状态下，两阀板均为打开状态，假设第一腔室10发生出现故障时，若要对其进行单独开腔维护，而第二腔室20仍保持真空状态，只需关闭第一阀板34，与隔离门洞313形成真空隔绝，第一腔室10破真空后处于大气压状态，且大气压垂直作用于第一阀板34，压紧第一阀板34，进一步提升密封效果。当检修完成后，对第一腔室10进行再次抽空，直至第一腔室10的真空度与第二腔室20的真空度在同一数量级时，打开第一阀板34。同理，检修第二腔室20时，可关闭第二阀板35来实现单独破真空的操作。图2中两箭头分别表示第一阀板和第一阀板关闭隔离门洞时的旋转方向，反之，即可实现两阀板的打开。
38.一实施例中，壳体31的内部被隔离门洞313分隔为两个阀板室，壳体31还开设有与各阀板室相连通的检修口。参见图2，第一阀室32设有第一检修口3121，第二阀室33设有第二检修口3122，工作状态下，两检修口处于关闭密封状态；若要对翻板阀30进行检修或维护，则可打开检修口，方便快捷。
39.一实施例中，壳体31整体上为立方结构，具有相对布置的两个第一侧壁311，以及两相对布置的两个第二侧壁312，各连通口开设于相应的第一侧壁311，各检修口开设于相应的第二侧壁312，参见图2。
40.参见图3～5，一实施例中，第一侧壁311带有凸设的外边缘，外边缘形成用于与腔室室壁相连的法兰结构3113；壳体31与腔室室壁之间采用法兰结构3113焊接，防止真空泄露。
41.驱动机构36通常安装在壳体31的顶部，为了实现两阀板与驱动机构36的联动，一实施例中，各阀板通过立置的枢轴(第一枢轴341、第二枢轴351)转动安装于壳体31内，枢轴的顶端穿过壳体31的顶壁，穿过部分与驱动机构36联动。
42.翻板阀30内至少有一套驱动机构36用于与两阀板联动，考虑设备占用面积问题，一套驱动机构36可通过电磁离合器同时控制两阀板，但存在驱动机构36发生故障导致两阀板都不能工作的风险；为了便于单独控制，一实施例中，驱动机构36为两套，独立控制对应的一根枢轴。
43.为了避免两套驱动机构36的安装或工作干涉，一实施例中，两套驱动机构36处在
壳体31的两相对侧，参见图6。
44.一实施例中，两阀板的枢轴布置在隔离门洞313的宽度方向上的两侧或同侧，有利于快速打开或封闭隔离门洞313一侧。
45.参见图3、图6，一实施例中，枢轴与驱动机构36之间采用相互啮合的齿轮、齿条37传动配合。
46.齿条37的长度方向一端与驱动机构36的输出轴连接，另一端朝向齿轮一侧设有与齿轮相啮合的轮齿38，轮齿38的顶部固定有联动件，联动件为具有一定长度的连接板39，枢轴的顶部与联动件的另一端固定连接。工作状态下，齿条37受驱动机构36驱动作直线运动，啮合传动轮齿38旋转，轮齿38则通过连接板39控制枢轴的转动，从而实现阀板的摆动，达到隔离门洞313一侧的开启或封闭的目的。这种齿轮、齿条37传动具有传递距离长、传递动力大等优点。
47.一实施例中，驱动机构36采用气缸或直线电机；两者均能驱动齿条37作往复的直线运动，实现稳定的速度控制，操作简单，维护成本低。
48.本技术的真空装置具有可独立控制的两阀板，可实现单个腔室的破真空，便于检修和日常保养，降低维护成本。
49.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。不同实施例中的技术特征体现在同一附图中时，可视为该附图也同时披露了所涉及的各个实施例的组合例。
50.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术的保护范围应以所附权利要求为准。