一种智能抛光液桶的制作方法

1.本实用新型属于cmp抛光技术领域，具体涉及一种智能抛光液桶。


背景技术：

2.抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂，抛光液具有良好的去油污，防锈，清洗和增光性能，并能使金属制品显露出真实的金属光泽。性能稳定、无毒，对环境无污染等优点，传统cmp抛光机配备的抛光液桶，功能往往相对单一或不是很完善，在使用过程中常常需要人为进行干预，容易造成产品品质不稳定、或去除率变化、或缺液爆盘等问题，抛光液在使用过程中会有损耗，会造成液减少，减少到一定程度需补液，有水抛时，水液分离不恰当，过多的水进入抛光桶，会造成ph值发生变化和液过多，刚配比好的也温度较低，化学反应的活性较低，抛光效率低；加工一段时间后，抛光液和抛盘温度会上升，超过一定范围后，抛光液容易结晶，抛盘会因热膨胀发生变形；液桶及管路时间久了，会有结晶现象，所以必须经常清洗避免结晶。这些问题在普通抛光液桶都会出现，由于液桶智能化不够，常常需要人工去检查或操作。
3.现有的抛光液桶技术存在以下问题：现有的cmp抛光机配备的抛光液桶，功能往往相对单一或不是很完善，在使用过程中常常需要人为进行干预，容易造成产品品质不稳定、或去除率变化、或缺液爆盘等问题，并且抛光液在使用过程中会有损耗，会造成液减少，减少到一定程度需补液，有水抛时，水液分离不恰当，过多的水进入抛光桶，会造成ph值发生变化和液过多，刚配比好的也温度较低，化学反应的活性较低，抛光效率低的问题，以及加工一段时间后，抛光液和抛盘温度会上升，超过一定范围后，抛光液容易结晶，抛盘会因热膨胀发生变形，液桶及管路时间久了，会有结晶现象，所以必须经常清洗避免结晶的问题。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种智能抛光液桶，以解决上述背景技术中提出的现有的cmp抛光机配备的抛光液桶，功能往往相对单一或不是很完善，在使用过程中常常需要人为进行干预，容易造成产品品质不稳定、或去除率变化、或缺液爆盘等问题和抛光液体的ph值发生变化导致化学反应的活性较低，抛光效率低的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种智能抛光液桶，包括底座、温度控制装置、ph平衡装置、搅拌装置、清洗装置和支撑装置，所述底座的上端设置温度控制装置，所述温度控制装置的右端设置有ph平衡装置，所述支撑装置的右端设置有搅拌装置，所述支撑装置的上端设置有清洗装置，所述温度控制装置包括液桶、加热盘管、第一冷却盘管、第二冷却盘管、温度传感器和冷却电磁阀，所述液桶的内部设置有第一冷却盘管，所述第一冷却盘管的右端设置有加热盘管，所述加热盘管的右端设置有第二冷却盘管，所述第一冷却盘管的左端下方设置有温度传感器，所述第二冷却盘管的右端设置有冷却电磁阀。
6.优选的，所述ph平衡装置包括ph值监测仪、蠕动泵、液位传感器、补水阀、过滤器、
加液口和供液泵，所述液桶的上端中央设置有ph值监测仪，液桶的外壁设置有液位传感器，所述供液泵的正面右端设置有补水阀，所述蠕动泵的后面设置与过滤器，所述蠕动泵的右端设置有加液口。
7.优选的，所述搅拌装置包括搅拌软管、磁力泵和固定头，所述搅拌软管的一侧贯穿固定头与磁力泵传动连接。
8.优选的，所述清洗装置包括水枪、固定片、固定栓、支撑板、连接片、桶盖和冲洗阀，所述支撑板的下端设置有固定片，所述水枪的上端通过固定栓与支撑板固定连接，所述桶盖的左端设置有连接片。
9.优选的，所述支撑装置包括伸缩腿、垫脚和水平调节轮，所述伸缩腿的下端固定连接有垫脚，所述底座的下端固定连接有水平调节轮。
10.优选的，所述底座的右端设置有排液口，所述排液口的上端设置有控制阀。
11.优选的，所述液桶的背面设置有电控箱体。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种智能抛光液桶，具备以下有益效果：
13.1、本实用新型通过设置加热盘管、第一冷却盘管、第二冷却盘管、温度传感器和冷却电磁阀，使抛光液桶能够调节温度，既能加热又有冷却，能更好的进行温度控制，较好的保持抛光液温度在一定范围内，对加工产品的稳定性起到很好的作用。
14.2、本实用新型通过设置ph检测仪、蠕动泵、液位传感器、补水阀、加热口和供液泵，使抛光液桶可以自动实现抛光液ph值的调节，保证抛光液ph值稳定在一定区间，保证了产品的稳定性，同时具有自动补液补水功能，以及液位检测功能，可避免液过多溢出或液过烧停机的问题的出现。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：
16.图1为本实用新型提出的一种智能抛光液桶的结构示意图；
17.图2为本实用新型提出的智能抛光液桶的俯视结构示意图；
18.图中：1、液桶；2、搅拌装置；3、蠕动泵；4、冷却电磁阀；5、过滤器； 6、加液口；7、第一冷却盘管；8、第二冷却盘管；9、温度传感器；10、加热盘管；11、ph值监测仪；12、液位传感器；13、供液泵；14、清洗装置； 15、冲洗阀；16、补水阀；17、电控箱体；18、底座；19、支撑装置；20、排液口；21、ph平衡装置；22、控制阀；23、温度控制装置；141、水枪；142、固定片；143、固定栓；144、支撑板；145、连接片；146、桶盖；191、伸缩腿；192、垫脚；193、水平调节轮；201、搅拌软管；202、磁力泵；203、固定头。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
20.请参阅图1
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2，本实用新型提供一种智能抛光液桶，包括底座18、温度控制装置23、
ph平衡装置21、搅拌装置2、清洗装置14和支撑装置19，底座18的上端设置温度控制装置23，温度控制装置23的右端设置有ph平衡装置21，支撑装置19的右端设置有搅拌装置2，支撑装置19的上端设置有清洗装置14，温度控制装置23包括液桶1、加热盘管10、第一冷却盘管7、第二冷却盘管8、温度传感器9和冷却电磁阀4，液桶1采用耐腐蚀的洁净透明pvc制作，液桶1的内部设置有第一冷却盘管7，第一冷却盘管7的右端设置有加热盘管10，设置加热盘管10，用于抛光液的加热，加热盘管10的右端设置有第二冷却盘管8，第一冷却盘7和第二冷却盘8用于冷却抛光液，第一冷却盘管7的左端下方设置有温度传感器9，装有温度传感器9，用于在线实时检测抛光液温度，第二冷却盘管8的右端设置有冷却电磁阀4，冷却电磁阀 4用于控制第一冷却盘管7和第二冷却盘管8冷却水的通断。
21.ph平衡装置21包括ph值监测仪11、蠕动泵3、液位传感器12、补水阀 16、过滤器5、加液口6和供液泵13，液桶1的上端中央设置有ph值监测仪 11，设置ph传感器11，用于在线实时检测抛光液的ph值，液桶1的外壁设置有液位传感器12，装有液位传感器12，用于抛光液高低液位报警，供液泵13的正面右端设置有补水阀16，蠕动泵3的后面设置与过滤器5，过滤器5，用于过滤抛光液里面杂质，磁力泵202的上方装有蠕动泵3，蠕动泵3配有软管，软管一段接抛光液原液，一端接加液口6，用于调节抛光液的ph值，蠕动泵3的右端设置有加液口6，设有加液口6，用于补充抛光液原液接口。
22.参阅图2，搅拌装置2包括搅拌软管201、磁力泵202和固定头203，搅拌软管201的一侧贯穿固定头203与磁力泵202传动连接，磁力泵202与液桶之间采用软管连接，用于抛光液的搅拌。
23.清洗装置14包括水枪141、固定片142、固定栓143、支撑板144、连接片145、桶盖146和冲洗阀15，支撑板144的下端设置有固定片142，水枪 141的上端通过固定栓143与支撑板144固定连接，桶盖146的左端设置有连接片145，设置水枪14，用于冲洗桶体及其内部管路。
24.具体的，支撑装置19包括伸缩腿191、垫脚192和水平调节轮193，伸缩腿191的下端固定连接有垫脚192，底座18的下端固定连接有水平调节轮 193，底座18的右端设置有排液口20，排液口20的上端设置有控制阀22，液桶1的背面设置有电控箱体17，设有电控箱体17，其内装有本装置的控制底板及操作面板。
25.本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，由于抛光液起始温度较低，需要加热，这时加热管启动，等加热到一定温度后，停止加热，加工一段时间后，当抛光液温度超过设定的温度后，冷却电磁阀4打开冷却水进入冷却盘管，对抛光液进行冷却，降到一定温度后冷水断开，通过加热和冷却，实现了抛光液的温度控制，抛光加工过程中，有一部分水进入抛光液以及化学反应都会造成抛光液的ph值发生变化，ph值监测仪11会实时检测抛光液ph值的变化，并反馈给控制器，蠕动泵3的一端接有抛光液原液，蠕动泵3启动将原液通过加液口6注入抛光桶内，直至抛光液ph值达到设定值。在抛光桶的桶壁外侧设有高低液位监测，当液桶1补液或补水时，液体高度达到高液位，检测开关报警，蠕动泵3或补水电磁阀关闭，停止补液；当液位到达低液位时，低液位监测开关报警，此时需进行补液，蠕动泵3 和补水电磁阀打开补液，如低液位长时间报警，则液泵停止工作，主机停止加工，此时加热功能也不能启用，液出口端设有两处过滤器5，二者不同时开启，正常只开一路，当一路需要更换滤芯或清洗滤芯时，则开启另一路，当管路和泵头需要清洗时，清洗阀打开可对管路及泵头进行清洗。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。