一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置的制作方法

技术特征：
1.一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置，包括至少两个经翻板阀连通的腔室，其特征在于，所述翻板阀包括：壳体，所述壳体的两相对侧分别开设有连通口，各连通口与相应的腔室相通，在所述壳体内带有处于两个连通口之间的隔离门洞；两阀板，转动安装于所述壳体内、且分别处在所述隔离门洞的两侧，所述两阀板在工作状态下分别密封贴靠在所述隔离门洞的两侧；驱动机构，安装于所述壳体的外部，且与所述两阀板联动。2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述壳体的内部被所述隔离门洞分隔为两个阀板室，所述壳体还开设有与各阀板室相连通的检修口。3.根据权利要求2所述的真空装置，其特征在于，所述壳体整体上为立方结构，具有相对布置的两个第一侧壁，以及两相对布置的两个第二侧壁，各连通口开设于相应的第一侧壁，各检修口开设于相应的第二侧壁。4.根据权利要求3所述的真空装置，其特征在于，所述第一侧壁带有凸设的外边缘，所述外边缘形成用于与腔室室壁相连的法兰结构。5.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，各阀板通过立置的枢轴转动安装于所述壳体内，所述枢轴的顶端穿过所述壳体的顶壁，穿过部分与所述驱动机构联动。6.根据权利要求5所述的真空装置，其特征在于，所述枢轴与所述驱动机构之间采用相互啮合的齿轮、齿条传动配合。7.根据权利要求5所述的真空装置，其特征在于，所述驱动机构为两套，独立控制对应的一根枢轴。8.根据权利要求7所述的真空装置，其特征在于，两套驱动机构处在所述壳体的两相对侧。9.根据权利要求5所述的真空装置，其特征在于，两阀板的枢轴布置在隔离门洞的宽度方向上的两侧或同侧。10.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，所述驱动机构采用气缸或直线电机。

技术总结
本申请提供了一种适用于面板静态阵列式镀膜的真空装置，包括至少两个经翻板阀连通的腔室，所述翻板阀包括：壳体，所述壳体的两相对侧分别开设有连通口，各连通口与相应的腔室相通，在所述壳体内带有处于两个连通口之间的隔离门洞；两阀板，转动安装于所述壳体内、且分别处在所述隔离门洞的两侧，所述两阀板在工作状态下分别密封贴靠在所述隔离门洞的两侧；驱动机构，安装于所述壳体的外部，且与所述两阀板联动。本申请真空装置能够实现单个工艺腔室的破空，减少维护时间，降低维护成本。降低维护成本。降低维护成本。


技术研发人员：来华杭 娄国明 俞峰 周海龙
受保护的技术使用者：浙江上方电子装备有限公司
技术研发日：2021.02.04
技术公布日：2021/12/7